因產(chǎn)品配置不同, 價格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實際成交合同為準(zhǔn)
伯東公司日本原裝設(shè)計制造離子蝕刻機(jī) IBE. 提供微米級刻蝕, 均勻性: ≤±5%, 滿足所有材料的刻蝕, 即使對磁性材料, 黃金 Au, 鉑 Pt, 合金等金屬及復(fù)合半導(dǎo)體材料, 這些難刻蝕的材料也能提供蝕刻. 可用于反應(yīng)離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料. 自 1970年至今, 伯東公司已累計交付約 500套離子刻蝕機(jī).
伯東公司超過 50年的刻蝕 IBE 市場經(jīng)驗, 擁有龐大的安裝基礎(chǔ)和經(jīng)過市場驗證的刻蝕技術(shù)!
離子刻蝕機(jī) 4IBE 離子刻蝕機(jī) 20IBE 全自動蝕刻機(jī) MEL 3100
離子蝕刻機(jī) IBE 主要型號
伯東提供用于研究分析的小尺寸離子刻蝕機(jī), 用于生產(chǎn)制造的大尺寸離子蝕刻機(jī)以及全自動蝕刻機(jī).
配置美國 KRI 考夫曼離子源和德國 Pfeiffer 分子泵.
| 型號 | 4 IBE | 7.5 IBE | 16 IBE | 20 IBE-C | MEL 3100 |
| 樣品數(shù)量尺寸 | 4”φ, 1片 | 4”φ, 1片 | 6”φ, 1片 | 4”φ, 6片 6”φ, 4片 | 3”φ-6”φ,1片 |
| 離子束入射角度 | 0～± 90 | 0～± 90 | 0～± 90 | 0～± 90 | - |
| 考夫曼離子源 | KDC 40 | KDC 75 | KDC 160 | 考夫曼型 | - |
| 極限真空度 Pa | ≦1x10-4 | ≦1x10-4 | ≦1x10-4 | ≦1x10-4 | ≦8x10-5 |
| Pfeiffer 分子泵抽速 l/s | 350 | 350 | 1250 | 1250 | - |
| 均勻性 | ≤±5% | ≤±5% | ≤±5% | ≤±5% | ≤±5% |
離子蝕刻機(jī)特性:
1. 采用美國 KRI 考夫曼型離子源, 保障蝕刻速率和均勻性
2. 干式制程, 物理蝕刻的特性
3. 蝕刻可以根據(jù)需要做垂直, 斜面等等加工形狀.
4. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上, 所以可以在低溫環(huán)境下蝕刻.
5. 配置公轉(zhuǎn)自轉(zhuǎn)傳輸機(jī)構(gòu) ”Dry Chuck Planet ”, 使得樣品可以得到比較均勻平滑的表面.
通 Ar 時, 對各種材料的刻蝕速率
離子蝕刻機(jī)應(yīng)用
薄膜磁頭 Thin film Magnetic Head, 自旋電子學(xué) Spintronics, MR Sencer
微電子機(jī)械系統(tǒng) MEMS Micro-electromechanical Systems
射頻設(shè)備 RF Devices, 光學(xué)組件 Optical Component, 超導(dǎo)電性 Super Conductivity
Hakuto 日本原裝設(shè)計制造離子刻蝕機(jī) IBE, 提供微米級刻蝕, 滿足所有材料的刻蝕, 即使對磁性材料,黃金 Au, 鉑 Pt, 合金等金屬及復(fù)合半導(dǎo)體材料, 這些難刻蝕的材料也能提供蝕刻. 可用于反應(yīng)離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯東已累計交付約 500套離子蝕刻機(jī). 蝕刻機(jī)可配置德國 Pfeiffer 渦輪分子泵和美國 KRI 考夫曼離子源!
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