Aston 質(zhì)譜分析儀搭配 Scrubber 半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備進(jìn)行氣體檢測(cè)

半導(dǎo)體工藝一般會(huì)產(chǎn)生各種工藝氣體和顆粒材料副產(chǎn)品, 有害氣體需要以受控方式進(jìn)行處理. 上海伯東日本 Atonarp Aston 質(zhì)譜分析儀與Scrubber半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備聯(lián)用, 對(duì)處理完的氣體在線監(jiān)測(cè)分析, 并對(duì)分析數(shù)據(jù)進(jìn)行監(jiān)控和記錄, 使其符合環(huán)境法規(guī).

上海伯東Aston? 質(zhì)譜分析儀半導(dǎo)體尾氣檢測(cè)解決方案
Aston 質(zhì)譜儀與半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備排氣端相連, 半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備 Scrubber排出的氣體先經(jīng)過水洗塔內(nèi)進(jìn)行噴淋水洗溶解, 帶走一些毒性腐蝕性排放物, 然后在使用 Aston 進(jìn)行剩余氣體檢測(cè)和分析, 主要檢測(cè) N2O 濃度等, 使其符合國(guó)際減排指標(biāo).

使用Aston? 質(zhì)譜分析儀優(yōu)勢(shì)
體積小, 便于攜帶, 整機(jī)重量?jī)H 13.7 KG
與 GCMS 測(cè)試對(duì)比, 時(shí)時(shí)檢測(cè), 不用特別取樣, 實(shí)現(xiàn)快速地減排氣體監(jiān)測(cè)
可以根據(jù)進(jìn)入的廢氣濃度和測(cè)量的排放氣體數(shù)據(jù), 記錄日志
能夠承受嚴(yán)酷的 PFC 和酸性 (如 HF 和 HCl ）氣體
低至 PPB 水平的靈敏度

Aston質(zhì)譜儀技術(shù)參數(shù)

	質(zhì)量分辨率	0.8 u
	質(zhì)量穩(wěn)定性	0.1 u
	靈敏度(FC / SEM)	5x10-6/ 5x10-4A/Torr
	檢測(cè)極限	10 ppb
	最大工作壓力	1X10-3torr
	每單位停留時(shí)間	40 ms
	每單位掃描更新率	37 ms
	發(fā)射電流	0.4 mA
	發(fā)射電流精度	0.05%
	啟動(dòng)時(shí)間	5 mins
	離子電流穩(wěn)定性	< ±1%
	濃度的準(zhǔn)確性	< 1%
	濃度穩(wěn)定性	±0.5%
	電力消耗	350W
	重量	13.7 Kg
	尺寸	400 x 297 x 341 mm

Aston? 是一款全新設(shè)計(jì)堅(jiān)固耐用的緊湊型在線質(zhì)譜儀, 適用于半導(dǎo)體制造和工業(yè)過程控制應(yīng)用中氣體監(jiān)測(cè)和控制, 高定量精度和實(shí)時(shí)性與生產(chǎn)穩(wěn)健性和可靠性相結(jié)合, 例如半導(dǎo)體 dry pump 尾氣偵測(cè)分析, 實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)控, 診斷.

若您需要進(jìn)一步的了解Atonarp Aston?在線質(zhì)譜儀詳細(xì)信息或討論,
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