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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項(xiàng)革命性的新技術(shù),廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),是一項(xiàng)關(guān)系到國(guó)家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國(guó)防安全的關(guān)鍵技術(shù)。
MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工,涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。
常見的產(chǎn)品包括MEMS加速度計(jì)、MEMS麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。
ADXL345 3 軸數(shù)字加速計(jì): 小型、薄片式、低功耗移動(dòng)設(shè)備應(yīng)用的理想選擇
具有 13 位分辨率的 ADXL345 3 軸數(shù)字加速計(jì) Analog Devices 的小型、薄片式、低功耗 ADXL345 加速計(jì)是移動(dòng)設(shè)備應(yīng)用的理...
微機(jī)電系統(tǒng)(Micro Electro-Mechanical Systems,簡(jiǎn)稱MEMS)壓力傳感器在汽車工業(yè)中有著極為廣泛的應(yīng)用。它們小巧高效,能夠...
2024-12-17 標(biāo)簽:mems壓力傳感器微機(jī)電系統(tǒng) 197 0
適用于MEMS傳感器的先進(jìn)ML:提高精度、性能和功耗
*附件:適用于MEMS傳感器的先進(jìn)ML:提高精度、性能和功耗.pdf 當(dāng)前一代傳感器現(xiàn)在可以通過在邊緣利用機(jī)器學(xué)習(xí)(ML)技術(shù)來收集、分析和發(fā)送重要數(shù)據(jù)...
LSM6DSV16X基于MLC智能筆動(dòng)作識(shí)別(3)----MEMS Studio訓(xùn)練數(shù)據(jù)
MEMS-Studio是一套完整的桌面軟件解決方案,專為開發(fā)嵌入式AI功能、評(píng)估嵌入式庫(kù)、分析數(shù)據(jù),以及為整個(gè)MEMS傳感器產(chǎn)品組合設(shè)計(jì)無代碼算法而設(shè)計(jì)...
STHS34PF80高靈敏度紅外感應(yīng)器(2)----InfraredPD存在感應(yīng)檢測(cè)
InfraredPD 主要作用是通過與 STHS34PF80 紅外傳感器配合,提供對(duì)存在感應(yīng)和運(yùn)動(dòng)檢測(cè)的支持,同時(shí)對(duì)傳感器獲取的物體溫度數(shù)據(jù)進(jìn)行環(huán)境溫度...
2024-10-14 標(biāo)簽:mems紅外感應(yīng)器 978 0
陀螺儀LSM6DSOW開發(fā)(10)----陀螺儀校準(zhǔn)
在現(xiàn)代電子設(shè)備中,陀螺儀傳感器被廣泛用于測(cè)量設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。然而,由于各種環(huán)境因素和制造工藝的影響,陀螺儀通常會(huì)存在零速率偏移(Zero-rate Of...
陀螺儀LSM6DSOW開發(fā)(6)----獲取磁力計(jì)數(shù)據(jù)
本文將介紹如何使用 LIS2MDL 傳感器來讀取數(shù)據(jù)。主要步驟包括初始化傳感器接口、驗(yàn)證設(shè)備ID、配置傳感器的數(shù)據(jù)輸出率和濾波器,以及通過輪詢方式持續(xù)讀...
京瓷雙軸位移壓電元件的特征優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用案例
京瓷小課堂又開課啦!本期將為大家介紹KCIP創(chuàng)新廣場(chǎng)十大核心產(chǎn)品&技術(shù)之一的“雙軸位移壓電元件”。小體積大能耐的“雙軸位移壓電元件”都有哪些特征...
陀螺儀LSM6DSOW開發(fā)(5)----MotionFX庫(kù)解析空間坐標(biāo)
本文將探討如何使用MotionFX庫(kù)解析空間坐標(biāo)。MotionFX庫(kù)是一種用于傳感器融合的強(qiáng)大工具,可以將加速度計(jì)、陀螺儀和磁力計(jì)的數(shù)據(jù)融合在一起,實(shí)現(xiàn)...
高精度六軸MEMS運(yùn)動(dòng)跟蹤TM器件ICM-42688-P 數(shù)據(jù)表立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-08-12 標(biāo)簽:mems速度計(jì)
ADIS16470微型MEMS慣性測(cè)量單元(IMU)英文手冊(cè)立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-07-22 標(biāo)簽:memsIMU
ADI公司突破性的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)立即下載
類別:電子資料 2023-11-27 標(biāo)簽:adimems微機(jī)電系統(tǒng)
光學(xué)超構(gòu)表面+MEMS:可切換渦旋激光器
圖:渦旋光的(a)光場(chǎng)強(qiáng)度和(b)傳輸軌跡 近日,Science子刊《Science Advances》發(fā)表題目為“MEMS-metasurface?e...
ER-MNS-05MINI全新發(fā)布:探索無界,尋北無憂
今日,陜西艾瑞科慣性技術(shù)有限公司自豪地宣布推出最新研發(fā)結(jié)果——MEMS尋北儀ER-MNS-05 MINI版本,這款新品在精度提升一倍的情況下,體積縮減為...
ICM-42670-P 高性能 6 軸 Motion跟蹤? IMU : 官方推薦ICM-42670-P替代 MPU-6050
ICM-42670-P 高性能 6 軸 Motion跟蹤? IMU *附件:ICM-42670-P 數(shù)據(jù)手冊(cè) 替代MPU6050.pdf *附件:IMU...
隨著科技的持續(xù)進(jìn)步,高性能MEMS IMU成為導(dǎo)航技術(shù)領(lǐng)域的關(guān)鍵組件。其中,ER-MIMU-02Mini能實(shí)時(shí)提供物體的加速度與角速度數(shù)據(jù),這些數(shù)據(jù)通過...
第十六屆傳感器與MEMS產(chǎn)業(yè)化技術(shù)國(guó)際研討會(huì)(暨成果展)在上海圓滿落幕!
11月14日—15日,由上海市科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)、上海市長(zhǎng)寧區(qū)人民政府指導(dǎo),中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感器技術(shù)聯(lián)合國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、中國(guó)電子學(xué)會(huì)傳感...
集性能與成本于一身的IMU,讓無人機(jī)飛行更穩(wěn)定
無人機(jī)在進(jìn)行任何形式的飛行時(shí),必須了解空中平臺(tái)的方向、其運(yùn)動(dòng)的性質(zhì)以及飛行方向。通常用于測(cè)量此運(yùn)動(dòng)的是IMU,IMU提供與無人機(jī)三個(gè)軸向的加速度和角速度...
Aigtek功率放大器在汽車MEMS壓力傳感器系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)中的應(yīng)用
MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域,現(xiàn)...
不受環(huán)境限制,MEMS尋北儀助力各領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)高精度定向
尋北儀可以通過地球自轉(zhuǎn)確定真北方向,可以為各種活動(dòng)提供方位基準(zhǔn)。它不受天氣、地點(diǎn)和磁場(chǎng)環(huán)境條件的限制,具有高精度、高可靠性和易于維護(hù)的特點(diǎn)?。
為什么講MEMS替代傳統(tǒng)傳感器是大勢(shì)所趨?
? 傳感器技術(shù)作為信息獲取的關(guān)鍵環(huán)節(jié),正經(jīng)歷著前所未有的變革。其中,MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器作為新興技術(shù)的代表,正逐漸替代傳統(tǒng)傳感器,成為推動(dòng)科技進(jìn)...
型號(hào) | 描述 | 數(shù)據(jù)手冊(cè) | 參考價(jià)格 |
---|---|---|---|
MSM321A3729H9BP | 模擬輸出MEMS麥克風(fēng) MIC_3.76X2.95MM_SM |
獲取價(jià)格
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MSM261DHP006 | MEMS硅麥 1.6~3.6V ±1dB |
獲取價(jià)格
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