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電子發(fā)燒友網(wǎng)>制造/封裝>極紫外光刻隨機(jī)效應(yīng)的表現(xiàn)及產(chǎn)生原因

極紫外光刻隨機(jī)效應(yīng)的表現(xiàn)及產(chǎn)生原因

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全球最大的半導(dǎo)體制造設(shè)備供應(yīng)商荷蘭ASML今天披露說(shuō),他們將按計(jì)劃在2015年提供450毫米晶圓制造設(shè)備的原型,Intel、三星電子、臺(tái)積電等預(yù)計(jì)將在2018年實(shí)現(xiàn)450毫米晶圓的商業(yè)性量產(chǎn),與此同時(shí),極紫外(EUV)光刻設(shè)備也進(jìn)展順利,將在今年交付兩套新的系統(tǒng)。
2013-04-21 09:42:141285

光刻及資料分享—Optical Lithography

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2014-09-26 10:35:02

光刻技術(shù)原理及應(yīng)用

數(shù)量級(jí)范圍。光刻技術(shù)成為一種精密的微細(xì)加工技術(shù)。  常規(guī)光刻技術(shù)是采用波長(zhǎng)為2000~4500埃的紫外光作為圖像信息載體,以光致抗蝕劑為中間(圖像記錄)媒介實(shí)現(xiàn)圖形的變換、轉(zhuǎn)移和處理,最終把圖像信息
2012-01-12 10:51:59

光刻機(jī)工藝的原理及設(shè)備

,之后經(jīng)過(guò)物鏡投射到曝光臺(tái),這里放的就是8寸或者12英寸晶圓,上面涂抹了光刻膠,具有光敏感性,紫外光就會(huì)在晶圓上蝕刻出電路?!   《す馄髫?fù)責(zé)光源產(chǎn)生,而光源對(duì)制程工藝是決定性影響的,隨著半導(dǎo)體工業(yè)節(jié)點(diǎn)
2020-07-07 14:22:55

光刻

SU-8光刻膠 SU-8光刻膠克服了普通光刻膠采用UV光刻深寬比不足的問(wèn)題,在近紫外光(365nm-400nm)范圍內(nèi)光吸收度很低,且整個(gè)光刻膠層所獲得的曝光量均勻一致,可得到具有垂直側(cè)壁和高深寬比
2018-07-12 11:57:08

光刻膠在集成電路制造中的應(yīng)用

光刻機(jī)的曝光波長(zhǎng)也在由紫外譜g線 (436nm)→i線(365nm)→248nm→193nm→紫外光(EUV)→X射線,甚至采用非光學(xué)光刻(電子束曝光、離子束曝光),光刻膠產(chǎn)品的綜合性能也必須隨之
2018-08-23 11:56:31

紫外火焰探測(cè)器在火災(zāi)中的應(yīng)用

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2019-03-04 09:51:23

紫外線發(fā)射管三個(gè)腳怎么接?

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紫外光耐氣候試驗(yàn)箱及燈管解析說(shuō)明

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Microchem SU-8光刻膠 2000系列

光刻膠在近紫外光(365nm- 400nm)范圍內(nèi)光吸收度很低,且整個(gè)光刻膠層所獲得的曝光量均勻一致,可得到具有垂直側(cè)壁和高深寬比的厚膜圖形;它還具有良好的力學(xué)性能、抗化學(xué)腐蝕性和熱穩(wěn)定性。SU-
2018-07-04 14:42:34

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2018-01-30 14:47:54

單片機(jī)解密IC芯片破解用紫外光有問(wèn)題會(huì)出現(xiàn)呢?

單片機(jī)解密IC芯片破解用紫外光有問(wèn)題會(huì)出現(xiàn)呢?在單片機(jī)解密IC芯片破解的過(guò)程中,有時(shí)要用到紫外光技術(shù)。但使用不當(dāng)會(huì)容易產(chǎn)生問(wèn)題。深圳愛(ài)體半導(dǎo)體有限公司為你簡(jiǎn)單羅列一些紫外光技術(shù)用于解密不同型
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基于AMBE-2000的紫外光語(yǔ)音系統(tǒng)設(shè)計(jì)

本文介紹了一種基于AMBE-2000的紫外光語(yǔ)音系統(tǒng)設(shè)計(jì)。實(shí)驗(yàn)證明,紫外光語(yǔ)音通信系統(tǒng)具有低竊聽(tīng)率、低位辨率、全方位、高抗干擾能力、音質(zhì)優(yōu)、功耗低等特點(diǎn)。
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德國(guó)UV7800紫外光管道非開(kāi)挖修復(fù)機(jī)器人系統(tǒng)

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2019-12-13 14:27:25

放電等離子體紫外光源中的主脈沖電源

【作者】:呂鵬;劉春芳;張潮海;趙永蓬;王騏;賈興;【來(lái)源】:《強(qiáng)激光與粒子束》2010年02期【摘要】:描述了Z箍縮放電等離子體紫外光源系統(tǒng)中的主脈沖電源,給出了主電路拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),重點(diǎn)介紹了三級(jí)磁
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淺析紫外光通信技術(shù)

紫外光通信系統(tǒng)是一種新型的通信手段,與常規(guī)的通信系統(tǒng)相比,有很多優(yōu)勢(shì)。由于紫外線主要以散射方式傳播,并且傳播路徑有限,采用紫外光通信系統(tǒng)具有一定的繞過(guò)障礙物的能力,非常適用于近距離抗干擾的通信環(huán)境
2019-06-18 08:00:06

電子元器件的紫外光老化試驗(yàn)

穩(wěn)定,并且能更好的再現(xiàn)試驗(yàn)結(jié)果。采用熒光UV燈模擬陽(yáng)光對(duì)物理性質(zhì)的影響,例如亮度下降、龜裂、剝落等方面,是最好的方法。有幾種不同的UV燈可供選擇。大多數(shù)的這些UV燈主要產(chǎn)生紫外光,而不是可見(jiàn)光和紅外光
2017-10-11 15:40:19

紫外光通信系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究

紫外光由于具有口盲特點(diǎn)而使其在通信方面有著特殊的的必要性及優(yōu)越性,紫外光的調(diào)制與接收是紫外光通信和其他常用通信方式的主要區(qū)別點(diǎn);介紹了,紫外光通信系統(tǒng)的構(gòu)成原
2009-07-16 10:02:3634

紫外光通信系統(tǒng)中的視頻傳輸研究

本文介紹了紫外通信系統(tǒng)中的視頻傳輸領(lǐng)域,詳細(xì)介紹了國(guó)內(nèi)外紫外光通信的發(fā)展形勢(shì),以及紫外光視頻傳輸中遇到的問(wèn)題和解決方案?;赥I 生產(chǎn)的DM6437 開(kāi)發(fā)板,使用H.264 作為
2009-12-18 17:18:0620

紫外光刻機(jī)EUVL和深紫外光刻機(jī)DUVL的差異

光刻電廠EUV
電廠運(yùn)行娃發(fā)布于 2022-10-15 02:32:48

光刻膠材料的重大突破 極紫外光刻邁向?qū)嵱?/a>

基于單LED的無(wú)線紫外光通信系統(tǒng)設(shè)計(jì)

介紹了紫外 光通信 特點(diǎn)和信道模型,以LED為光源、光電倍增管為光接收器設(shè)計(jì)無(wú)線紫外光數(shù)字通信系統(tǒng)方案,研制了無(wú)線紫外光通信設(shè)備樣機(jī),在不同條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明
2011-06-08 15:01:1851

紫外光通信系統(tǒng)光源技術(shù)發(fā)展研究

介紹了國(guó)內(nèi)外紫外光通信系統(tǒng)幾種紫外光源的發(fā)展,并從光譜特點(diǎn)、功率、效率等方面分析了其在紫外光通信中的應(yīng)用特點(diǎn)。指出了紫外發(fā)光二極管(UVED)決定了未來(lái)紫外光通信高速、小型
2011-10-17 17:02:1048

基于LED的紫外光通信系統(tǒng)的研究

針對(duì)紫外光通信做了相應(yīng)研究,希望廣大研究愛(ài)好者能夠有所幫助
2016-03-11 10:33:095

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2017-09-01 14:49:180

長(zhǎng)江存儲(chǔ)喜迎第一臺(tái)EUV極紫外光刻機(jī):國(guó)產(chǎn)SSD固態(tài)硬盤(pán)將迎來(lái)重大突破

? 前些天,新聞曝光的中芯國(guó)際花了1.2億美元從荷蘭ASML買來(lái)一臺(tái)EUV極紫外光刻機(jī),未來(lái)可用于生產(chǎn)7nm工藝芯片,而根據(jù)最新消息稱,長(zhǎng)江存儲(chǔ)也迎來(lái)了自己的第一臺(tái)光刻機(jī),國(guó)產(chǎn)SSD固態(tài)硬盤(pán)將迎來(lái)重大突破。
2018-06-29 11:24:008478

首款3nm測(cè)試芯片成功流片 采用極紫外光刻(EUV)技術(shù)

納米電子與數(shù)字技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新中心 IMEC 與美國(guó)楷登電子( Cadence) 公司聯(lián)合宣布,得益于雙方的長(zhǎng)期深入合作,業(yè)界首款 3nm 測(cè)試芯片成功流片。該項(xiàng)目采用極紫外光刻(EUV)技術(shù)。
2018-03-19 15:08:308347

紫外(EUV)光刻新挑戰(zhàn) 光刻膠只是其一

光刻膠是用來(lái)制作圖案的光敏聚合物,它是造成隨機(jī)效應(yīng)的罪魁禍?zhǔn)字?。根?jù)定義,隨機(jī)效應(yīng)描述了具有光量子隨機(jī)變化的事件。它們是不可預(yù)測(cè)的,沒(méi)有穩(wěn)定的模式。
2018-03-27 08:09:0010811

紫外(EUV)光刻新挑戰(zhàn),除了光刻膠還有啥?

隨機(jī)變化需要新方法、新工具,以及不同公司之間的合作。 極紫外(EUV)光刻技術(shù)正在接近生產(chǎn),但是隨機(jī)性變化又稱為隨機(jī)效應(yīng)正在重新浮出水面,并為這項(xiàng)期待已久的技術(shù)帶來(lái)了更多的挑戰(zhàn)
2018-03-31 11:52:005861

臺(tái)積電加速七納米強(qiáng)化版極紫外光 獨(dú)攬?zhí)O果處理器大單

臺(tái)積電為防堵強(qiáng)敵三星在七納米導(dǎo)入極紫外光(EUV)及后段先進(jìn)封裝,搶食蘋(píng)果新一代處理器訂單,已加速在七納米強(qiáng)化版導(dǎo)入極紫外光時(shí)程。供應(yīng)鏈透露,臺(tái)積電可望年底建構(gòu)七納米強(qiáng)化版試產(chǎn)線,進(jìn)度追平或超前三星,讓三星無(wú)奪蘋(píng)機(jī)會(huì)。
2018-04-08 11:22:00896

深度解讀紫外光通信技術(shù)

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2018-07-17 15:34:2813346

ASML表示2018年將出貨20套光刻機(jī),上半年業(yè)績(jī)表現(xiàn)亮眼

荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備大廠ASML日前表示,該公司2018年將出貨20套極紫外光(EUV)光刻機(jī),該數(shù)量預(yù)期在2019年將增加到30套以上。
2018-07-27 18:34:453542

臺(tái)積電宣布了有關(guān)極紫外光刻(EUV)技術(shù)的兩項(xiàng)重磅突破

今年4月開(kāi)始,臺(tái)積電第一代7nm工藝(CLN7FF/N7)投入量產(chǎn),蘋(píng)果A12、華為麒麟980、高通“驍龍855”、AMD下代銳龍/霄龍等處理器都正在或?qū)?huì)使用它制造,但仍在使用傳統(tǒng)的深紫外光刻(DUV)技術(shù)。
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2018-10-18 08:00:0019

全球首臺(tái)用紫外光源實(shí)現(xiàn)的22納米分辨率的光刻機(jī)

“ASML的EUV光刻機(jī)使用的13.5納米的極紫外光源,價(jià)格高達(dá)3000萬(wàn)元,還要在真空下使用?!表?xiàng)目副總師胡松說(shuō),“而我們使用的365納米紫外光的汞燈,只要幾萬(wàn)元一只。我們整機(jī)價(jià)格在百萬(wàn)元級(jí)到千萬(wàn)元級(jí),加工能力介于深紫外級(jí)和極紫外級(jí)之間,讓很多用戶大喜過(guò)望?!?/div>
2018-12-03 10:53:1212225

ASML正在著手開(kāi)發(fā)新一代極紫外(EUV)光刻機(jī)

ASML副總裁Anthony Yen表示,ASML已開(kāi)始開(kāi)發(fā)極紫外(EUV)光刻機(jī),其公司認(rèn)為,一旦當(dāng)今的系統(tǒng)達(dá)到它們的極限,就將需要使用極紫外光刻機(jī)來(lái)繼續(xù)縮小硅芯片的特征尺寸。
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探析紫外光通信技術(shù)原理及應(yīng)用

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2019-02-21 15:40:375540

長(zhǎng)江后浪推前浪,比《流浪地球》更硬核的光刻新紀(jì)元神作“EUV”已誕生!

紫外光刻時(shí)代的大幕已拉開(kāi)……
2019-02-27 13:41:11611

首次加入EVU極紫外光刻 臺(tái)積電二代7nm+工藝開(kāi)始量產(chǎn)

臺(tái)積電官方宣布,已經(jīng)開(kāi)始批量生產(chǎn)7nm N7+工藝,這是臺(tái)積電第一次、也是行業(yè)第一次量產(chǎn)EUV極紫外光刻技術(shù),意義非凡,也領(lǐng)先Intel、三星一大步。
2019-05-28 11:20:413233

臺(tái)積電 | 首次加入EUV極紫外光刻技術(shù) 7nm+工藝芯片已量產(chǎn)

臺(tái)積電官方宣布,已經(jīng)開(kāi)始批量生產(chǎn)7nm N7+工藝,這是臺(tái)積電第一次、也是行業(yè)第一次量產(chǎn)EUV極紫外光刻技術(shù),意義非凡。
2019-05-28 16:18:243401

紫外光電管測(cè)試電路原理圖免費(fèi)下載

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2019-06-19 08:00:0014

三星宣布全球首座專門(mén)為EUV極紫外光刻工藝打造的代工廠開(kāi)始量產(chǎn)

三星宣布,位于韓國(guó)京畿道華城市的V1工廠已經(jīng)開(kāi)始量產(chǎn)7nm 7LPP、6nm 6LPP工藝,這也是全球第一座專門(mén)為EUV極紫外光刻工藝打造的代工廠。
2020-02-21 16:19:052214

ASML去年交付了26臺(tái)極紫外光刻機(jī),帶來(lái)約31.43億美元的營(yíng)收

據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道,在芯片的制造過(guò)程中,光刻機(jī)是必不可少的設(shè)備,在芯片工藝提升到7nm EUV、5nm之后,極紫外光刻機(jī)也就至關(guān)重要。
2020-03-07 10:50:591943

ASML去年交付26臺(tái)極紫外光刻機(jī),其中兩款可用于生產(chǎn)7nm和5nm芯片

據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道,在芯片的制造過(guò)程中,光刻機(jī)是必不可少的設(shè)備,在芯片工藝提升到7nm EUV、5nm之后,極紫外光刻機(jī)也就至關(guān)重要。
2020-03-07 14:39:545045

ASML去年交付26臺(tái)極紫外光刻機(jī) 其中約一半面向大客戶臺(tái)積電

據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道,半導(dǎo)體行業(yè)光刻系統(tǒng)供應(yīng)商ASML(阿斯麥)去年交付了26臺(tái)極紫外光刻機(jī)(EUV),調(diào)查公司Omdia表示,其中約一半面向大客戶臺(tái)積電。ASML此前公布,2019年,共向客戶交付了26
2020-04-09 11:20:062310

兩家極紫外光刻機(jī)公司3月份營(yíng)收同比環(huán)比均上漲

對(duì)于芯片制造廠商來(lái)說(shuō),光刻機(jī)的重要性不言而喻,尤其是目前芯片制造工藝已經(jīng)提升至5nm和3nm之后,極紫外光刻機(jī)就顯得更為重要。而ASML作為全球唯一有能力制造極紫外光刻機(jī)的廠商,他的一舉一動(dòng),牽動(dòng)著所有相關(guān)產(chǎn)業(yè)上下游廠商的心。
2020-04-15 15:44:364093

ASML今年一季度營(yíng)收僅上一季度六成 極紫外光刻機(jī)僅兩臺(tái)能確認(rèn)收入

4月17日消息,據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道,在智能手機(jī)等高端設(shè)備芯片的工藝提升到5nm之后,能生產(chǎn)5nm芯片的極紫外光刻機(jī)就顯得異常重要,而作為目前全球唯一能生產(chǎn)極紫外光刻機(jī)的廠商,阿斯麥的供應(yīng)量直接決定了各大芯片制造商5nm芯片的產(chǎn)能。
2020-04-18 09:09:433544

開(kāi)發(fā)頂級(jí)光刻機(jī)的困難 頂級(jí)光刻機(jī)有多難搞?

頂級(jí)光刻機(jī)有多難搞?ASML的光刻機(jī),光一個(gè)零件他就調(diào)整了10年!拿荷蘭最新極紫外光EUV光刻機(jī)舉例,其內(nèi)部精密零件多達(dá)10萬(wàn)個(gè),比汽車零件精細(xì)數(shù)十倍!
2020-07-02 09:38:3911513

紫外線傳感器的結(jié)構(gòu)分類

紫外線傳感器又叫紫外光敏管(簡(jiǎn)稱紫外管),是一種利用光電子發(fā)射效應(yīng)的光電管。
2020-08-06 16:10:01814

1.2億美元光刻機(jī)

光刻機(jī)價(jià)格高達(dá)1.2億美元,比一架波音737都貴。 下面是最近ASML公布的極紫外光光刻機(jī)內(nèi)部加工時(shí)的鏡頭,十分震撼: 在這臺(tái)光刻機(jī)中,每秒在真空環(huán)境中,從底部容器流出5萬(wàn)滴融化的錫液,一對(duì)激光束照射每一滴液體產(chǎn)生等離子體,釋放出更短的波長(zhǎng),
2020-10-15 09:20:054438

AMSL正在研發(fā)第三款極紫外光刻機(jī),計(jì)劃明年年中出貨

據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道,已經(jīng)推出了兩款極紫外光刻機(jī)的阿斯麥,正在研發(fā)第三款,計(jì)劃在明年年中開(kāi)始出貨。
2020-10-15 16:14:111565

ASML答應(yīng)提早交付三星已經(jīng)同意購(gòu)買的極紫外光光刻設(shè)備(EUV)?

日前三星電子副董事長(zhǎng)李在镕前往荷蘭拜訪光刻機(jī)大廠ASML,其目的就是希望ASML 的高層能答應(yīng)提早交付三星已經(jīng)同意購(gòu)買的極紫外光光刻設(shè)備(EUV)。
2020-10-24 09:39:061509

ASML承諾對(duì)向中國(guó)出口集成電路光刻機(jī)持開(kāi)放態(tài)度

11月5日,世界光刻機(jī)巨頭荷蘭阿斯麥ASML亮相第三屆進(jìn)博會(huì)。作為全球唯一能生產(chǎn)EUV(極紫外光光刻機(jī)的企業(yè),由于ASML目前仍不能向中國(guó)出口EUV光刻機(jī),所以此次展示的是其DUV(深紫外光光刻機(jī)。據(jù)悉,該產(chǎn)品可生產(chǎn)7nm及以上制程芯片。
2020-11-06 11:18:552396

目前全球只有荷蘭ASML有能力生產(chǎn)EUV光刻機(jī)

11月5日,世界光刻機(jī)巨頭荷蘭阿斯麥ASML亮相第三屆進(jìn)博會(huì)。作為全球唯一能生產(chǎn)EUV(極紫外光光刻機(jī)的企業(yè),由于ASML目前仍不能向中國(guó)出口EUV光刻機(jī),所以此次展示的是其DUV(深紫外光光刻機(jī)。據(jù)悉,該產(chǎn)品可生產(chǎn)7nm及以上制程芯片。
2020-11-06 11:27:465517

ASML向中國(guó)出售EUV光刻機(jī),沒(méi)那么容易

中國(guó)需要光刻機(jī),尤其是支持先進(jìn)制程的高端光刻機(jī)。具體來(lái)說(shuō),就是 EUV (極紫外光源)光刻機(jī)。
2020-11-11 10:13:304278

臺(tái)積電已向阿斯麥預(yù)訂2021年所需極紫外光刻機(jī)

在5nm、6nm工藝大規(guī)模投產(chǎn)、第二代5nm工藝即將投產(chǎn)的情況下,芯片代工商臺(tái)積電對(duì)極紫外光刻機(jī)的需求也明顯增加。而外媒最新援引產(chǎn)業(yè)鏈消息人士的透露報(bào)道稱,臺(tái)積電已向阿斯麥下達(dá)了2021的極紫外光刻
2020-11-17 17:20:141640

紫外光在缺陷檢測(cè)中的應(yīng)用

員廣泛應(yīng)用,但是市場(chǎng)對(duì)于塑料、油漆、印刷油墨和染料等產(chǎn)品的檢測(cè)需求日益增加,而這些產(chǎn)品檢測(cè)更適合采用紫外(UV)照明。過(guò)去,這些產(chǎn)品的檢測(cè)受到了紫外光源成本過(guò)高的限制。然而,隨著低成本紫外LED照明的出現(xiàn),這些應(yīng)用正變得越來(lái)越便宜。 紫外
2020-11-19 14:34:192887

三星電子正在尋求與極紫外光刻機(jī)供應(yīng)商ASML合作

近日,據(jù)外媒報(bào)道,在芯片制程工藝方面一直落后于臺(tái)積電的三星電子,目前正在尋求加強(qiáng)與極紫外光刻機(jī)供應(yīng)商ASML的合作,以加速5nm和3nm制程的研發(fā)。
2020-11-24 14:54:522073

臺(tái)積電能夠獲大量芯片代工訂單,離不開(kāi)阿斯麥的光刻機(jī)

12月2日消息,據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道,全球第一大芯片代工商臺(tái)積電,能夠獲得大量的芯片代工訂單,除了領(lǐng)先的制程工藝,還得益于阿斯麥所供應(yīng)的大量先進(jìn)的光刻機(jī),在第二代7nm和5nm所需要的極紫外光刻機(jī)方面,尤其如此,他們獲得的極紫外光刻機(jī)的數(shù)量,遠(yuǎn)多于三星。
2020-12-02 10:21:09835

韓國(guó)公司正在迅速縮小其在極紫外光刻技術(shù)上與外國(guó)公司的差距

特別是,韓國(guó)公司正在迅速縮小其在極紫外光刻技術(shù)上與外國(guó)公司的差距。2019年,韓國(guó)本土提出的專利申請(qǐng)數(shù)量為40件,超過(guò)了國(guó)外企業(yè)的10件。這是韓國(guó)提交的專利申請(qǐng)首次超過(guò)國(guó)外。2020年,韓國(guó)提交的申請(qǐng)數(shù)量也是國(guó)外的兩倍多。
2020-12-11 13:40:541386

關(guān)于紫外線探測(cè)器在紫外光刻機(jī)中的應(yīng)用

光刻機(jī)(Mask Aligner) 又名:掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī),曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等。常用的光刻機(jī)是掩膜對(duì)準(zhǔn)光刻,所以叫 Mask Alignment System。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干
2020-12-29 09:14:542095

ASML研發(fā)更先進(jìn)光刻機(jī) 高數(shù)值孔徑極紫外光刻設(shè)計(jì)基本完成

對(duì)于阿斯麥(ASML)來(lái)說(shuō),他們正在研發(fā)更先進(jìn)的光刻機(jī),這也是推動(dòng)芯片工藝?yán)^續(xù)前行的重要?jiǎng)恿Α?ASML是全球目前唯一能制造極紫外光刻機(jī)的廠商,其在推出TWINSCAN NXE:3400B和NXE
2020-12-29 11:06:572287

ASML新一代極紫外光刻機(jī)設(shè)計(jì)基本完成

12月29日消息,據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道,ASML正在研發(fā)更先進(jìn)、效率更高的高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī):NXE:5000系列,設(shè)計(jì)已經(jīng)基本完成,預(yù)計(jì)在2022年開(kāi)始商用。
2020-12-30 10:29:302159

為何EUV光刻機(jī)會(huì)這么耗電呢

呢?OFweek君根據(jù)公開(kāi)資料整理出了一些原因,供讀者參考。 與DUV(深紫外光光刻機(jī)相比,EUV光刻機(jī)的吞吐量相對(duì)較低,每小時(shí)可曝光處理的晶圓數(shù)量約在120片-175片之間,技術(shù)改進(jìn)后,速度可以提升至275片每小時(shí)。但相對(duì)而言,EUV生產(chǎn)效率還是更高,
2021-02-14 14:05:003915

報(bào)道稱臺(tái)積電今年預(yù)計(jì)可獲得18臺(tái)極紫外光刻機(jī)

據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道,臺(tái)積電和三星電子的芯片制程工藝,均已提升到了 5nm,更先進(jìn)的工藝研發(fā)也在推進(jìn),并在謀劃量產(chǎn)事宜。 在制程工藝提升到 5nm 之后,也就意味著臺(tái)積電、三星等廠商,對(duì)極紫外光刻機(jī)的需求
2021-01-25 17:10:181352

臺(tái)積電今年將獲得 18 臺(tái)極紫外光刻機(jī),三星、英特爾也有

,對(duì)極紫外光刻機(jī)的需求會(huì)不斷增加,而全球目前唯一能生產(chǎn)極紫外光刻機(jī)廠商的阿斯麥,也就大量供應(yīng)極紫外光刻機(jī)。 英文媒體在最新的報(bào)道中表示,在芯片制程工藝方面走在行業(yè)前列的臺(tái)積電,在今年預(yù)計(jì)可獲得 18 臺(tái)極紫外光刻機(jī),三星和英特爾也將
2021-01-25 17:21:543321

臺(tái)積電向ASML下達(dá)18臺(tái)極紫外光刻機(jī)需求

如今全球芯片短缺,不僅僅已經(jīng)嚴(yán)重營(yíng)銷到了科技數(shù)碼產(chǎn)業(yè),就連汽車產(chǎn)業(yè)也深受其害。為了滿足2021年的需求激增,目前有國(guó)外媒體稱臺(tái)積電一口氣向荷蘭ASML下達(dá)了18臺(tái)最先進(jìn)的極紫外光刻機(jī)需求,如此之大的需求令可以說(shuō)是史上的天量,三星英特爾急了。
2021-01-26 09:22:051158

臺(tái)積電今年仍要狂購(gòu)極紫外光刻機(jī)

對(duì)于臺(tái)積電來(lái)說(shuō),他們今年依然會(huì)狂購(gòu)極紫外光刻,用最先進(jìn)的工藝來(lái)確保自己處于競(jìng)爭(zhēng)的最有力地位。
2021-01-26 11:21:511137

5nm光刻機(jī)搶破頭:臺(tái)積電下達(dá)18臺(tái)光刻機(jī)需求

如今全球芯片短缺,不僅僅已經(jīng)嚴(yán)重營(yíng)銷到了科技數(shù)碼產(chǎn)業(yè),就連汽車產(chǎn)業(yè)也深受其害。 為了滿足2021年的需求激增,目前有國(guó)外媒體稱臺(tái)積電一口氣向荷蘭ASML下達(dá)了18臺(tái)最先進(jìn)的極紫外光刻機(jī)需求,如此之
2021-01-27 09:56:082956

未來(lái)極紫外光刻技術(shù)將如何發(fā)展?產(chǎn)業(yè)格局如何演變?

近日,荷蘭的光刻機(jī)制造商阿斯麥(ASML)發(fā)布2020年度財(cái)報(bào),全年凈銷售額達(dá)到140億歐元,毛利率達(dá)到48.6%。ASML同時(shí)宣布實(shí)現(xiàn)第100套極紫外光刻(EUV)系統(tǒng)的出貨,至2020年年底已有
2021-02-01 09:30:232588

SK海力士M16工廠已安裝極紫外光刻機(jī) 開(kāi)始試生產(chǎn)1anm DRAM

,也購(gòu)進(jìn)了極紫外光刻機(jī),用于生產(chǎn)相關(guān)的芯片。 SK海力士已購(gòu)入極紫外光刻機(jī)的消息,源自外媒中提到的M16工廠。外媒在報(bào)道中表示,SK海力士M16工廠的建設(shè)已經(jīng)完成,極紫外光刻機(jī)也已經(jīng)安裝到位,將用于生產(chǎn)DRAM(動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)。
2021-02-02 18:08:482632

SK海力士將大量購(gòu)買極紫外光刻機(jī)

2月25日消息,據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道,芯片制程工藝提升至5nm的臺(tái)積電和三星,已從阿斯麥購(gòu)買了大量的極紫外光刻機(jī),并且還在大量購(gòu)買。
2021-02-26 09:22:011530

關(guān)于紫外光耐氣候試驗(yàn)箱的介紹

UV4000紫外光耐氣候試驗(yàn)箱主要用于模擬對(duì)陽(yáng)光、潮濕和溫度對(duì)材料的破壞作用;材料老化包括褪色、失光、強(qiáng)度降低、開(kāi)裂、剝落、粉化和氧化等。紫外光耐氣候試驗(yàn)箱通過(guò)模擬陽(yáng)光、冷凝、模仿自然潮濕,試樣
2021-06-02 15:22:05624

UV4000紫外光耐氣候試驗(yàn)箱的符合標(biāo)準(zhǔn)有哪些

UV4000紫外光耐氣候試驗(yàn)箱主要用于模擬對(duì)陽(yáng)光、潮濕和溫度對(duì)材料的破壞作用;材料老化包括褪色、失光、強(qiáng)度降低、開(kāi)裂、剝落、粉化和氧化等。 紫外光耐氣候試驗(yàn)箱通過(guò)模擬陽(yáng)光、冷凝、模仿自然潮濕,試樣
2021-06-17 15:34:56452

光刻機(jī)的核心部件是什么

一臺(tái)高端的光刻機(jī)由上萬(wàn)個(gè)零部件構(gòu)成,光刻機(jī)的主要核心部件主要分為兩個(gè)部分:分別是對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)和紫外光源。
2022-01-03 17:09:0016944

紫外光通信技術(shù):紫外光通信的基本原理

紫外光通信是以大氣分子和子溶膠粒子的散射和吸收為基礎(chǔ)的。紫外光通信基于兩個(gè)相互關(guān)聯(lián)的物理現(xiàn)象:一是大氣層中的臭氧對(duì)波長(zhǎng)在200nm到280nm之間的紫外光有強(qiáng)烈的吸收作用,這個(gè)區(qū)域被叫做日盲區(qū)
2022-03-18 10:11:034253

90nm光刻機(jī)能生產(chǎn)什么的芯片

光刻機(jī)是制作芯片的關(guān)鍵設(shè)備,利用光刻機(jī)發(fā)出的紫外光源通過(guò)具有圖形的光罩對(duì)涂有光刻膠的硅片曝光,使光刻膠性質(zhì)變化、達(dá)到圖形刻印在硅片上形成電子線路圖。我國(guó)目前還是采用什深紫外光的193nm制程工藝,如上海微電子裝備公司(CMEE)制程90nm工藝的光刻機(jī),那么90nm光刻機(jī)能生產(chǎn)什么芯片呢?
2022-06-30 09:46:2131257

三星斥資買新一代光刻機(jī) 中芯光刻機(jī)最新消息

三星電子和ASML就引進(jìn)今年生產(chǎn)的EUV光刻機(jī)和明年推出高數(shù)值孔徑極紫外光High-NA EUV光刻機(jī)達(dá)成采購(gòu)協(xié)議。
2022-07-05 15:26:155634

duv光刻機(jī)和euv光刻機(jī)區(qū)別是什么

目前,光刻機(jī)主要分為EUV光刻機(jī)和DUV光刻機(jī)。DUV是深紫外線,EUV是非常深的紫外線。DUV使用的是極紫外光刻技術(shù),EUV使用的是深紫外光刻技術(shù)。EUV為先進(jìn)工藝芯片光刻的發(fā)展方向。那么duv
2022-07-10 14:53:1078127

紫外光表面清洗技術(shù)與UV光清洗機(jī)

低壓紫外汞燈發(fā)射的雙波段短波紫外光照射到試件表面后,與有機(jī)污染物發(fā)生光敏氧化作用,不僅能去除污染物而且能改善表面的性能,從而提高物體表面的浸潤(rùn)性和粘合強(qiáng)度,或者使材料表面得到穩(wěn)定的表面性能。根據(jù)
2022-08-18 16:16:301080

看一下EUV光刻的整個(gè)過(guò)程

EUV 光刻是以波長(zhǎng)為 10-14nm 的極紫外光作為光源的芯片光刻技術(shù),簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),就是以極紫外光作“刀”,對(duì)芯片上的晶圓進(jìn)行雕刻,讓芯片上的電路變成人們想要的圖案。
2022-10-10 11:15:024367

UV紫外光導(dǎo)電銀漿固化不徹底的主要原因有哪些

UV紫外光導(dǎo)電銀漿固化不徹底的主要原因有哪些 SHAREX在導(dǎo)電銀漿領(lǐng)域已經(jīng)有十多年的開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn),特別是最近開(kāi)發(fā)的AS5100系列UV紫外光固化導(dǎo)電銀漿獲得客戶的廣泛認(rèn)可,由于光固化銀漿是個(gè)新生的品類
2022-10-15 15:05:501206

?焦點(diǎn)芯聞丨ASML 阿斯麥 CEO 透露高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī) 2024 年開(kāi)始出貨

熱點(diǎn)新聞 1、 ASML 阿斯麥 CEO 透露高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī) 2024?年開(kāi)始出貨 據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道,光刻機(jī)制造商阿斯麥的 CEO 兼總裁彼得?維尼克 (Peter Wennink),在本周
2022-11-18 19:00:033971

基于選擇性紫外光刻的光纖微圖案化

科學(xué)家利用選擇性紫外光刻實(shí)現(xiàn)復(fù)合纖維材料的光纖微圖案化
2022-12-22 14:58:13194

紫外光刻機(jī)(桌面型掩膜對(duì)準(zhǔn))

MODEL:XT-01-UVlitho-手動(dòng)版一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介光刻技術(shù)是現(xiàn)代半導(dǎo)體、微電子、信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ),是集成電路最重要的加工工藝。光刻膠在紫外光的照射下發(fā)生化學(xué)變化,通過(guò)曝光、顯影、刻蝕等工藝過(guò)程
2022-12-20 09:24:261211

霍爾效應(yīng)產(chǎn)生誤差的原因

霍爾效應(yīng)實(shí)驗(yàn)是一個(gè)受系統(tǒng)誤差影響較大的實(shí)驗(yàn),特別是在霍爾效應(yīng)產(chǎn)生的同時(shí),伴隨產(chǎn)生的其他效應(yīng)引起的附加電場(chǎng)對(duì)實(shí)驗(yàn)影響較大。霍爾效應(yīng)產(chǎn)生誤差的原因主要有以下幾點(diǎn):
2023-07-03 17:17:042566

虹科案例 | 用于低成本改造光刻設(shè)備的UV紫外光

,半導(dǎo)體制造領(lǐng)域使用 傳統(tǒng)大功率汞燈技術(shù) 用于光刻設(shè)備的紫外光源。這種光源雖然輸出功率高,但輸出光譜范圍寬,制造和生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生對(duì)環(huán)境有害的物質(zhì),并且工作壽命短,更換周期頻繁。 UVLED 具有獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)勢(shì)和成本優(yōu)勢(shì),能夠輸
2023-07-05 10:11:241026

紫外光刻復(fù)雜照明光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)

。照明系統(tǒng)是光刻機(jī)的重要組成部分,其主要作用是提供高均勻性照明、控制曝光劑量和實(shí)現(xiàn)離軸照明,以提高光刻分辨率和增大焦深。論文以深紫外光刻照明系統(tǒng)光學(xué)設(shè)計(jì)為研究方向,對(duì)照明系統(tǒng)關(guān)鍵單元進(jìn)行了光學(xué)設(shè)計(jì)與仿真研究。
2023-07-17 11:02:38592

紫外光固化系統(tǒng)在制造和生產(chǎn)中的優(yōu)勢(shì)有哪些

在uvitron,我們直接了解紫外光固化設(shè)備如何成為許多行業(yè)的關(guān)鍵技術(shù),紫外光固化系統(tǒng)的好處很多,該技術(shù)對(duì)許多工業(yè)過(guò)程的效率、質(zhì)量和可持續(xù)性產(chǎn)生了重大影響。
2023-07-21 11:42:17286

考慮光刻中厚掩模效應(yīng)的邊界層模型

短波長(zhǎng)透明光學(xué)元件的缺乏限制了深紫外光刻中的可用波長(zhǎng),而晶片上所需的最小特征繼續(xù)向更深的亞波長(zhǎng)尺度收縮。這對(duì)用入射場(chǎng)代替掩模開(kāi)口上的場(chǎng)的基爾霍夫邊界條件造成了嚴(yán)重的限制,因?yàn)檫@種近似無(wú)法考慮光刻圖像
2023-08-25 17:21:43279

紫外μLED作為日盲紫外光通信光源的研究現(xiàn)狀和綜合分析

實(shí)現(xiàn)深紫外光通信的一個(gè)關(guān)鍵器件是深紫外光源。早期深紫外光源利用高壓汞燈實(shí)現(xiàn),但汞燈的調(diào)制帶寬非常小,這嚴(yán)重影響了深紫光通信的傳輸速率。
2023-09-05 11:13:00484

紫外 (EUVL) 光刻設(shè)備技術(shù)應(yīng)用分析

歐洲極紫外光刻(EUVL)技術(shù)利用波長(zhǎng)為13.5納米的光子來(lái)制造集成電路。產(chǎn)生這種光的主要來(lái)源是使用強(qiáng)大激光器產(chǎn)生的熱錫等離子體。激光參數(shù)被調(diào)整以產(chǎn)生大多數(shù)在13.5納米附近發(fā)射的錫離子(例如Sn10+-Sn15+)。
2023-09-25 11:10:50264

紫外光子滅活技術(shù)

廈門(mén)大學(xué)康俊勇教授、尹君副教授課題組根據(jù)致病菌中遺傳物質(zhì)、蛋白質(zhì)的紫外光吸收特性,開(kāi)發(fā)了一種由275-nm氮化物L(fēng)ED組成的大功率(3.2 W)且輻照均勻的平面光源,能夠在1秒內(nèi)完成對(duì)新冠病毒
2023-10-17 15:22:23878

基于單LED的無(wú)線紫外光通信系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)

電子發(fā)燒友網(wǎng)站提供《基于單LED的無(wú)線紫外光通信系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf》資料免費(fèi)下載
2023-10-26 14:32:211

與常規(guī)通信方式相比,紫外光通信有哪些優(yōu)勢(shì)?

紫外光通信系統(tǒng)是一種新型的通信手段,與常規(guī)的通信系統(tǒng)相比,有很多優(yōu)勢(shì)。
2023-11-28 09:38:20538

簡(jiǎn)儀科技紫外光子成像技術(shù)應(yīng)用

在面對(duì)紫外光子成像技術(shù)時(shí),面臨著諸多挑戰(zhàn)。光子密度大、需要高頻觸發(fā)采集,以及實(shí)時(shí)計(jì)算光子位置進(jìn)行譜圖繪制,這些都對(duì)采集設(shè)備的性能提出了極高的要求。
2024-03-20 09:56:0777

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