1.2億美元光刻機
荷蘭阿斯麥（ASML）公司的光刻機作為世界上最貴最精密的儀器，相信大家都有耳聞，它是加工芯片的設備。其最先進的EUV（極紫外光）光刻機已經(jīng)能夠制造7nm以下制程的芯片，據(jù)說一套最先進的7納米EUV光刻機價格高達1.2億美元，比一架波音737都貴。 下面是最近ASML公布的極紫外光光刻機內(nèi)部加工時的鏡頭，十分震撼：
在這臺光刻機中，每秒在真空環(huán)境中，從底部容器流出5萬滴融化的錫液，一對激光束照射每一滴液體產(chǎn)生等離子體，釋放出更短的波長，超高精度的反射鏡引導光線....7納米極紫外線光刻機，分為13個系統(tǒng)，3萬個分件，作動時每一分都要精 每臺光刻機的裝配大約需要50000個零件左右，像德國蔡司的光學設備，美國Cymer的光源都是阿斯麥的上游供應商。阿斯麥創(chuàng)立于1984年，是從飛利浦獨立出來的一個半導體設備制造商，總部位于荷蘭費爾德霍芬。
原文標題：揭秘：1.2億美元光刻機內(nèi)部視頻曝光,像科幻片一樣震撼!
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