虹科案例 | 用于低成本改造光刻設(shè)備的UV紫外光源

紫外光刻和曝光是半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)各種高端芯片、微觀電路結(jié)構(gòu)的核心技術(shù)。在紫外光刻過(guò)程中，光源發(fā)射的紫外線通過(guò)掩模上的微小透鏡或光柵，然后投射到光刻膠層上，形成所需的微細(xì)圖案。

長(zhǎng)期以來(lái)，半導(dǎo)體制造領(lǐng)域使用傳統(tǒng)大功率汞燈技術(shù)用于光刻設(shè)備的紫外光源。這種光源雖然輸出功率高，但輸出光譜范圍寬，制造和生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生對(duì)環(huán)境有害的物質(zhì)，并且工作壽命短，更換周期頻繁。UVLED具有獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)勢(shì)和成本優(yōu)勢(shì)，能夠輸出穩(wěn)定且超高功率的UV輻射，并保證長(zhǎng)時(shí)間和長(zhǎng)工作壽命，為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域提供了一種理想解決方案。

基于UVLED的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，越來(lái)越多的研究實(shí)驗(yàn)室使用UVLED光源代替?zhèn)鹘y(tǒng)汞燈燈箱。但設(shè)備的更新?lián)Q代并不是簡(jiǎn)單的“鑰匙開(kāi)門(mén)”過(guò)程，需要考慮更換成本、設(shè)備體積以及設(shè)備兼容性，更關(guān)鍵的是保證效果穩(wěn)定。

虹科ALE 1用于改造光刻設(shè)備的優(yōu)異性

虹科高功率紫外光源ALE 1 UVLED光源與準(zhǔn)直直泛光曝光光學(xué)器件相結(jié)合，不僅是將傳統(tǒng)掩模對(duì)準(zhǔn)器燈箱升級(jí)到UV-LED技術(shù)的多功能和靈活的選擇，也是一種經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的解決方案，對(duì)學(xué)術(shù)界和工業(yè)界的小型研究實(shí)驗(yàn)室具有吸引力。

能量效率

虹科ALE1紫外光源比傳統(tǒng)汞燈使用更少的能源。從長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)看，這不僅有助于降低能源支出，而且使UV LED成為希望減少碳足跡的實(shí)驗(yàn)室的更環(huán)保的選擇。

更長(zhǎng)的使用壽命

虹科ALE1紫外光源比傳統(tǒng)汞燈具有更長(zhǎng)的使用壽命，這意味著它們需要更少的更換和維護(hù)頻率，從而為實(shí)驗(yàn)室節(jié)省成本。

穩(wěn)定輸出

虹科ALE 1紫外光源可隨著時(shí)間的推移提供一致的紫外線輸出，無(wú)需調(diào)整燈泡強(qiáng)度或頻繁更換燈泡。這確保了實(shí)驗(yàn)中更高的一致性和準(zhǔn)確性，并降低了由于不均勻照明而導(dǎo)致的錯(cuò)誤風(fēng)險(xiǎn)。

靈活的傳輸控制

虹科ALE 1紫外光源完美地集成到現(xiàn)代研究實(shí)驗(yàn)室設(shè)置中。完全可調(diào)的輸出光譜和最先進(jìn)的控制接口為高級(jí)曝光實(shí)驗(yàn)開(kāi)辟了可能性，并使其易于收集數(shù)據(jù)和分析結(jié)果。

減少熱量

虹科ALE1紫外光源比傳統(tǒng)汞燈散發(fā)的熱量更少， 這對(duì)于對(duì)溫度變化敏感的實(shí)驗(yàn)是有益的。

更安全的使用環(huán)境

虹科ALE 1紫外光源是研究實(shí)驗(yàn)室比傳統(tǒng)汞燈更安全的選擇，因?yàn)樗鼈儾缓?。汞是一種有毒物質(zhì)，可能對(duì)人體健康和環(huán)境有害，在傳統(tǒng)燈具中使用汞會(huì)帶來(lái)潛在的暴露風(fēng)險(xiǎn)。

利用UVLED進(jìn)行光刻設(shè)備的升級(jí)

標(biāo)準(zhǔn)/定制的高透射率液體LED光導(dǎo)可用于連接光源和曝光，可以自由選擇最適合的方法，幾乎可以將光源和曝光光學(xué)器件放置任何位置。所有解決方案均可定制，以完美貼合原有設(shè)備。

大面積聚光元件集成方式

透鏡組集成方式

改用虹科ALE 1紫外光源作為曝光光源為研究實(shí)驗(yàn)室提供了許多好處。它們不僅更節(jié)能，使用壽命更長(zhǎng)，而且還提供一致的紫外線輸出，散發(fā)更少的熱量，并且對(duì)研究人員來(lái)說(shuō)更安全。憑借與數(shù)字技術(shù)集成的能力，虹科ALE 1紫外光源正成為希望與最新技術(shù)進(jìn)步保持同步的研究實(shí)驗(yàn)室的首選。

如果您對(duì)適用于您的面罩對(duì)準(zhǔn)器的經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的 UVLED解決方案感興趣，請(qǐng)與我們聯(lián)系。我們將確保更換件與您的特定掩模矯正器型號(hào)兼容，并符合必要的性能規(guī)格。

虹科高功率紫外光源

虹科ALE/1

虹科ALE/1是代替以往的放電燈的高輸出、高穩(wěn)定的LED光源裝置，先進(jìn)的UVLED光引擎最多可內(nèi)置5種LED，可輸出或定制多個(gè)波長(zhǎng)（365nm，385nm，405nm，435nm），最高可達(dá)到30W輸出。LED模塊易于更換，可靈活應(yīng)對(duì)應(yīng)用程序更改，易于集成到新的和現(xiàn)有設(shè)置中，是適應(yīng)未來(lái)需求且具備顯著所有權(quán)成本優(yōu)勢(shì)的無(wú)汞光源。虹科ALE/1 UVLED光源可適用于半導(dǎo)體制造（曝光機(jī)、先進(jìn)封裝投影***、晶圓邊緣曝光、光掩模檢查等）、質(zhì)量保證和檢查（NDT），在汽車(chē)、電子、光電子、制藥和生命科學(xué)領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用市場(chǎng)。

虹科ALE/3

虹科ALE/3光源是代替以往的水銀燈的高輸出LED紫外線光源裝置，可內(nèi)置2種LED，可選擇單光譜設(shè)置（365、385、405或435nm）和多光譜設(shè)置（365和405nm），高達(dá)15 W光輸出，是粘合劑硬化及半導(dǎo)體晶片的周邊曝光等應(yīng)用中有效光源方案，是適應(yīng)未來(lái)需求且具備顯著所有權(quán)成本優(yōu)勢(shì)的無(wú)汞光源。

虹科ALE/3 UVLED光源是替代汞燈的完美解決方案，適用于半導(dǎo)體制造（曝光機(jī)、先進(jìn)封裝投影***、晶圓邊緣曝光、光掩模檢查等）、質(zhì)量保證和檢查（NDT），在汽車(chē)、電子、光電子、制藥和生命科學(xué)領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用市場(chǎng)。