開發(fā)頂級光刻機(jī)的困難 頂級光刻機(jī)有多難搞？

光刻機(jī)可以說人類工業(yè)、機(jī)械、光學(xué)的技術(shù)集大成的科技創(chuàng)新之作，荷蘭最新極紫外光EUV光刻機(jī)舉例，其內(nèi)部精密零件多達(dá)10萬個，可以說光刻機(jī)比汽車零件精細(xì)數(shù)十倍！

頂級光刻機(jī)有多難搞？美國曾有一位工程師感嘆道：ASML的光刻機(jī)，光一個零件他就調(diào)整了10年！甚至ASML說：“就算開放圖紙，我們中國也造不出光刻機(jī)來！”

而且光刻機(jī)造出來了，賣給客戶了，光調(diào)試就要調(diào)試一年，才可以正式開工。

ASML光刻機(jī)的供應(yīng)商多達(dá)5000家，在ASML光刻機(jī)的供應(yīng)鏈里，荷蘭用到了大量他國核心技術(shù)和設(shè)備，比如蔡司鏡頭技術(shù)出自德國、復(fù)合材料由日本提供、工業(yè)精密機(jī)床技術(shù)靠瑞典支持，而軟件技術(shù)和電源則來自美國等等。可以這么說，ASML的光刻機(jī)技術(shù)，是集采了世界各國之長，匯聚了全球頂尖技術(shù)于一身而誕生的—— 它的背后，是多個國家的先進(jìn)技術(shù)的集合體！甚至可以說是全世界最先進(jìn)技術(shù)的集大成者。

我國純靠自己一國之力搞光刻機(jī)研發(fā)大家可以想象有多難！鏡頭、材料、機(jī)床、軟件、電源、光源……每一項(xiàng)都需要我們自己造。但是我們中國人要對國家有信心！