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電子發(fā)燒友網(wǎng)>業(yè)界新聞>廠商新聞>Intel 22nm光刻工藝背后的故事

Intel 22nm光刻工藝背后的故事

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光刻機(jī)經(jīng)歷了5代產(chǎn)品發(fā)展,每次改進(jìn)和創(chuàng)新都顯著提升了光刻機(jī)所能實(shí)現(xiàn)的最小工藝節(jié)點(diǎn)。按照使用光源依次從g-line、i-line發(fā)展到KrF、ArF和EUV;按照工作原理依次從接觸接近式光刻機(jī)發(fā)展到浸沒(méi)步進(jìn)式投影光刻機(jī)和極紫外式光刻機(jī)。
2024-03-21 11:31:4134

芯片制造工藝:光學(xué)光刻-掩膜、光刻

制造集成電路的大多數(shù)工藝區(qū)域要求100級(jí)(空氣中每立方米內(nèi)直徑大于等于0.5μm的塵埃粒子總數(shù)不超過(guò)約3500)潔凈室,在光刻區(qū)域,潔凈室要求10級(jí)或更高。
2024-03-20 12:36:0054

是德科技攜手Intel Foundry成功驗(yàn)證支持Intel 18A工藝技術(shù)的電磁仿真軟件

是德科技與Intel Foundry的這次合作,無(wú)疑在半導(dǎo)體和集成電路設(shè)計(jì)領(lǐng)域引起了廣泛的關(guān)注。雙方成功驗(yàn)證了支持Intel 18A工藝技術(shù)的電磁仿真軟件,為設(shè)計(jì)工程師們提供了更加先進(jìn)和高效的設(shè)計(jì)工具。
2024-03-08 10:30:37274

CHA3688aQDG低噪聲放大器UMS

UMS的CHA3688aQDG是款三級(jí)自偏置寬帶單片低噪聲放大器單片電路。 CHA3688aQDG選用 pHEMT 工藝技術(shù)、0.25μm 柵極尺寸、橫穿基板的通孔、空氣橋和電子束柵極光刻工藝生產(chǎn)
2024-03-06 15:46:20

一文解析半導(dǎo)體設(shè)計(jì)電路的“光刻工藝

利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過(guò)具有圖形的光罩對(duì)涂有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見(jiàn)光后會(huì)發(fā)生性質(zhì)變化,從而使光罩上得圖形復(fù)印到薄片上,從而使薄片具有電子線路圖的作用。
2024-03-06 14:28:5062

是德科技與Intel Foundry成功驗(yàn)證支持Intel 18A工藝的電磁仿真軟件

設(shè)計(jì)工程師現(xiàn)在可以使用 RFPro 對(duì) Intel 18A 半導(dǎo)體工藝技術(shù)中的電路進(jìn)行電磁仿真
2024-02-27 14:29:15133

無(wú)意發(fā)展至10nm以下,第二梯隊(duì)晶圓代工廠的成熟工藝現(xiàn)狀

梯隊(duì)的廠商們還在成熟工藝上穩(wěn)扎穩(wěn)打。 ? 早在兩年前,我們還會(huì)將28nm視作成熟工藝以及先進(jìn)工藝的分水嶺。但隨著3nm的推出,以及即將到來(lái)的2nm,成熟工藝的定義已經(jīng)發(fā)生了變化,分水嶺已然換成了T2和T3晶圓廠不愿投入的7nm/8nm工藝
2024-02-21 00:17:002598

2024年日本半導(dǎo)體制造商將新建晶圓制造工廠

在熊本縣菊陽(yáng)町,臺(tái)積電、索尼和日本電裝聯(lián)合開(kāi)發(fā)了一個(gè)12英寸晶圓加工基地,該基地應(yīng)用12nm、16nm22nm至28nm技術(shù),預(yù)計(jì)月底建成。此外,其量產(chǎn)時(shí)間已定為2024年第四期。
2024-01-30 09:38:35332

臺(tái)積電日本晶圓廠開(kāi)幕在即:預(yù)計(jì)2月24日舉行,量產(chǎn)時(shí)間確定

目前,臺(tái)積電已完成與日本的一項(xiàng)聯(lián)合建設(shè)晶圓廠協(xié)議,預(yù)計(jì)在今年2月24日舉行投產(chǎn)慶典。日本的這處晶圓廠使用12nm、16nm、22nm及28nm等先進(jìn)制程工藝,自啟動(dòng)以來(lái)進(jìn)展順利,引來(lái)業(yè)界廣泛關(guān)注。
2024-01-29 14:00:42178

蘋果將搶先采用臺(tái)積電2nm工藝,實(shí)現(xiàn)技術(shù)獨(dú)享

例如,盡管iPhone 15 Pro已發(fā)布四個(gè)月,A17 Pro仍在使用臺(tái)積電專有的3nm工藝。根據(jù)MacRumors的報(bào)告,這一趨勢(shì)似乎仍將延續(xù)至2nm工藝。
2024-01-26 09:48:34202

臺(tái)積電第一家日本工廠即將開(kāi)張:預(yù)生產(chǎn)28nm工藝芯片

這座晶圓廠于2022年4月開(kāi)始新建,大樓主結(jié)構(gòu)已完工,且辦公室部分區(qū)域也在今年8月啟用。將生產(chǎn)N28 28nm級(jí)工藝芯片,這是日本目前最先進(jìn)的半導(dǎo)體工藝。22ULP工藝也會(huì)在這里生產(chǎn),但注意它不是22nm,而是28nm的一個(gè)變種,專用于超低功耗設(shè)備。
2024-01-03 15:53:27433

臺(tái)積電3nm工藝預(yù)計(jì)2024年產(chǎn)量達(dá)80%

據(jù)悉,2024年臺(tái)積電的第二代3nm工藝(稱為N3E)有望得到更廣泛運(yùn)用。此前只有蘋果有能力訂購(gòu)第一代N3B高端晶圓。經(jīng)過(guò)解決工藝難題及提升產(chǎn)量后,臺(tái)積電推出經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的3nm版型,吸引更多企業(yè)采用。
2024-01-03 14:15:17279

介紹一種高度精密的工藝光刻工藝

用光作為畫(huà)筆在微納米世界中作畫(huà)。
2023-12-28 16:00:08169

全球光刻膠市場(chǎng)預(yù)計(jì)收入下滑,2024年有望反彈

所謂的“光刻膠”,即是在紫外線、電子束等輻射下,其溶解度會(huì)產(chǎn)生變化的耐腐蝕薄膜材料。作為光刻工藝中的關(guān)鍵要素,廣泛應(yīng)用于晶圓和分立器件的精細(xì)圖案制作中。其品種繁多,此次漲價(jià)涉及的KrF 光刻膠則屬高級(jí)別光刻膠,將成為各廠商關(guān)注的焦點(diǎn)。
2023-12-28 11:14:34379

什么是掩模版?掩模版(光罩MASK)—半導(dǎo)體芯片的母板設(shè)計(jì)

掩模版(Photomask)又稱光罩、光掩模、光刻掩模版、掩膜版、掩膜板等,是光刻工藝中關(guān)鍵部件之一,是下游行業(yè)產(chǎn)品制造過(guò)程中的圖形“底片”轉(zhuǎn)移用的高精密工具
2023-12-25 11:41:135385

英特爾20A、18A工藝流片,臺(tái)積電面臨挑戰(zhàn)

英特爾的Intel 20A和Intel 18A工藝已經(jīng)開(kāi)始流片,意味著量產(chǎn)階段已經(jīng)不遠(yuǎn)。而2nm工藝和1.8nm工藝的先進(jìn)程度無(wú)疑已經(jīng)超過(guò)了三星和臺(tái)積電的3nm工藝
2023-12-20 17:28:52799

光刻工藝的基本步驟 ***的整體結(jié)構(gòu)圖

光照條件的設(shè)置、掩模版設(shè)計(jì)以及光刻工藝等因素對(duì)分辨率的影響都反映在k?因子中,k?因子也常被用于評(píng)估光刻工藝的難度,ASML認(rèn)為其物理極限在0.25,k?體現(xiàn)了各家晶圓廠運(yùn)用光刻技術(shù)的水平。
2023-12-18 10:53:05326

一文詳解芯片的7nm工藝

芯片的7nm工藝我們經(jīng)常能聽(tīng)到,但是7nm是否真的意味著芯片的尺寸只有7nm呢?讓我們一起來(lái)看看吧!
2023-12-07 11:45:311591

22nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的FinFET制造工藝流程

引入不同的氣態(tài)化學(xué)物質(zhì)進(jìn)行的,這些化學(xué)物質(zhì)通過(guò)與基材反應(yīng)來(lái)改變表面。IC最小特征的形成被稱為前端制造工藝(FEOL),本文將集中簡(jiǎn)要介紹這部分,將按照如下圖所示的 22 nm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)制造 FinFET 的工藝流程,解釋了 FEOL 制造過(guò)程中最重要的工藝步驟。
2023-12-06 18:17:331122

PCB的蝕刻工藝及過(guò)程控制

另外一種工藝方法是整個(gè)板子上都鍍銅,感光膜以外的部分僅僅是錫或鉛錫抗蝕層。這種工藝稱為“全板鍍銅工藝“。與圖形電鍍相比,全板鍍銅的缺點(diǎn)是板面各處都要鍍兩次銅而且蝕刻時(shí)還必須都把它們腐蝕掉。
2023-12-06 15:03:45260

半導(dǎo)體制造技術(shù)之刻蝕工藝

W刻蝕工藝中使用SF6作為主刻步氣體,并通過(guò)加入N2以增加對(duì)光刻膠的選擇比,加入O2減少碳沉積。在W回刻工藝中分為兩步,第一步是快速均勻地刻掉大部分W,第二步則降低刻蝕速率減弱負(fù)載效應(yīng),避免產(chǎn)生凹坑,并使用對(duì)TiN有高選擇比的化學(xué)氣體進(jìn)行刻蝕。
2023-12-06 09:38:531527

半導(dǎo)體制造之光刻工藝講解

光刻工藝就是把芯片制作所需要的線路與功能做出來(lái)。利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過(guò)具有圖形的光罩對(duì)涂有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見(jiàn)光后會(huì)發(fā)生性質(zhì)變化,從而使光罩上得圖形復(fù)印到薄片上,從而使薄片具有電子線路圖的作用
2023-12-04 09:17:241334

[半導(dǎo)體前端工藝:第三篇] 光刻——半導(dǎo)體電路的繪制

[半導(dǎo)體前端工藝:第三篇] 光刻——半導(dǎo)體電路的繪制
2023-11-29 11:25:52242

光刻膠國(guó)內(nèi)市場(chǎng)及國(guó)產(chǎn)化率詳解

KrF光刻膠是指利用248nm KrF光源進(jìn)行光刻光刻膠。248nmKrF光刻技術(shù)已廣 泛應(yīng)用于0.13μm工藝的生產(chǎn)中,主要應(yīng)用于150 , 200和300mm的硅晶圓生產(chǎn)中。
2023-11-29 10:28:50283

22nm平面工藝流程介紹

今天分享另一篇網(wǎng)上流傳很廣的22nm 平面 process flow. 有興趣的可以與上一篇22nm gate last FinFET process flow 進(jìn)行對(duì)比學(xué)習(xí)。 言歸正傳,接下來(lái)介紹平面工藝最后一個(gè)節(jié)點(diǎn)22nm process flow。
2023-11-28 10:45:514232

淺析光刻照明系統(tǒng)中復(fù)眼透鏡的設(shè)計(jì)及公差原理

在超大規(guī)模集成電路中,為了實(shí)現(xiàn)NA=1.35,波長(zhǎng)193nm處分辨率達(dá)到 45nm的目標(biāo),需要對(duì)影響光刻照明均勻性的誤差源進(jìn)行詳細(xì)分析最終確定公差范圍。
2023-11-27 10:35:51385

三星D1a nm LPDDR5X器件的EUV光刻工藝

三星D1a nm LPDDR5X器件的EUV光刻工藝
2023-11-23 18:13:02579

全球首顆3nm電腦來(lái)了!蘋果Mac電腦正式進(jìn)入3nm時(shí)代

前兩代M1和M2系列芯片均采用5nm制程工藝,而M3系列芯片的發(fā)布,標(biāo)志著蘋果Mac電腦正式進(jìn)入3nm時(shí)代。 3nm利用先進(jìn)的EUV(極紫外光刻)技術(shù),可制造極小的晶體管,一根頭發(fā)的橫截面就能容納兩百萬(wàn)個(gè)晶體管。蘋果用這些晶體管來(lái)優(yōu)化新款芯片的每個(gè)組件。
2023-11-07 12:39:13310

Bumping工藝流程工作原理 光刻工藝原理和流程

Bumping工藝是一種先進(jìn)的封裝工藝,而Sputter是Bumping工藝的第一道工序,其重要程度可想而知。Sputter的膜厚直接影響B(tài)umping的質(zhì)量,所以必須控制好Sputter的膜厚及均勻性是非常關(guān)鍵。
2023-10-23 11:18:18475

三星披露下一代HBM3E內(nèi)存性能

FinFET立體晶體管技術(shù)是Intel 22nm率先引用的,這些年一直是半導(dǎo)體制造工藝的根基,接下來(lái)在Intel 20A、臺(tái)積電2nm、三星3nm上,都將轉(zhuǎn)向全環(huán)繞立體柵極晶體管。
2023-10-23 11:15:08279

各種光刻技術(shù)你都了解嗎?

當(dāng)制程節(jié)點(diǎn)演進(jìn)到5nm時(shí),DUV和多重曝光技術(shù)的組合也難以滿足量產(chǎn)需求了,EUV光刻機(jī)就成為前道工序的必需品了,沒(méi)有它,很難制造出符合應(yīng)用需求的5nm芯片,即使不用EUV能制造出一些5nm芯片,其整個(gè)生產(chǎn)線的良率也非常低,無(wú)法形成大規(guī)模的商業(yè)化生產(chǎn)。
2023-10-13 14:45:03834

2nm芯片工藝有望破冰嗎?

芯片2nm
億佰特物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用專家發(fā)布于 2023-10-11 14:52:41

半導(dǎo)體制造之光刻原理、工藝流程

光刻膠作為影響光刻效果核心要素之一,是電子產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵材料。光刻膠由溶劑、光引發(fā)劑和成膜樹(shù)脂三種主要成分組成,是一種具有光化學(xué)敏感性的混合液體。其利用光化學(xué)反應(yīng),經(jīng)曝光、顯影等光刻工藝,將所需要的微細(xì)圖形從掩模版轉(zhuǎn)移到待加工基片上,是用于微細(xì)加工技術(shù)的關(guān)鍵性電子化學(xué)品。
2023-10-09 14:34:491671

紫光同創(chuàng)PGL22G開(kāi)發(fā)板|盤古22K開(kāi)發(fā)板,國(guó)產(chǎn)FPGA開(kāi)發(fā)板,接口豐富,高性價(jià)比

,一板多用,滿足多方位的開(kāi)發(fā)需求。 盤古22K開(kāi)發(fā)板詳情 盤古22K開(kāi)發(fā)板(MES22GP)是基于紫光同創(chuàng)40nm工藝的Logos系列PGL22G芯片的一套全新的國(guó)產(chǎn)FPGA開(kāi)發(fā)套件。開(kāi)發(fā)板電源采用
2023-09-21 18:16:52

什么是3nm工藝芯片?3nm工藝芯片意味著什么?

的大部分時(shí)間里,用于制造芯片的工藝節(jié)點(diǎn)的名稱是由晶體管柵極長(zhǎng)度的最小特征尺寸(以納米為單位)或最小線寬來(lái)指定的。350nm工藝節(jié)點(diǎn)就是一個(gè)例子。
2023-09-19 15:48:434475

PCB線路板的蝕刻工藝需要注意哪些細(xì)節(jié)問(wèn)題

一站式PCBA智造廠家今天為大家講講pcb打樣蝕刻工藝注意事項(xiàng)有哪些?PCB打樣蝕刻工藝注意事項(xiàng)。PCB打樣中,在銅箔部分預(yù)鍍一層鉛錫防腐層,保留在板外層,即電路的圖形部分,然后是其余的銅箔被化學(xué)方法腐蝕,稱為蝕刻。
2023-09-18 11:06:30669

cpu處理器參數(shù)怎么看

的架構(gòu),常見(jiàn)的有x86和x64。 指令集:如SSE、AVX等,用于拓展CPU的功能。 微架構(gòu):如NetBurst、K10等,表示CPU內(nèi)部的具體實(shí)現(xiàn)。 制造工藝:如22nm、14nm等,表示CPU制造過(guò)程中的最小尺寸。 查看CPU處理器參數(shù)可以通過(guò)Intel官網(wǎng)或CPU-Z等工具實(shí)現(xiàn)。
2023-09-05 16:42:49

半導(dǎo)體制造工藝光刻工藝詳解

半導(dǎo)體制造工藝光刻工藝詳解
2023-08-24 10:38:541221

什么是光刻工藝光刻的基本原理

光刻是半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)流程中最復(fù)雜、最關(guān)鍵的工藝步驟,耗時(shí)長(zhǎng)、成本高。半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的難點(diǎn)和關(guān)鍵點(diǎn)在于將電路圖從掩模上轉(zhuǎn)移至硅片上,這一過(guò)程通過(guò)光刻來(lái)實(shí)現(xiàn), 光刻工藝水平直接決定芯片的制程水平和性能水平。
2023-08-23 10:47:531573

寶馬座艙系統(tǒng)MGU22H內(nèi)部原理分析

個(gè) GPU 核心 @ 750mhz 14nm工藝節(jié)點(diǎn) GPU 產(chǎn)生 187.2 GFLOPs 配備 2x4GB 內(nèi)存,處理器已有 7 年歷史,但核心功能運(yùn)行情況相對(duì)良好。 MGU22H 使用 Snapdragon SA8155P 和 2x8GB Micron LPDDR4 RAM
2023-08-21 11:42:03769

半導(dǎo)體前端工藝:沉積——“更小、更多”,微細(xì)化的關(guān)鍵

在半導(dǎo)體制程中,移除殘余材料的“減法工藝”不止“刻蝕”一種,引入其他材料的“加法工藝”也非“沉積”一種。比如,光刻工藝中的光刻膠涂敷,其實(shí)也是在基底上形成各種薄膜;又如氧化工藝中晶圓(硅)氧化,也需要在基底表面添加各種新材料。那為什么唯獨(dú)要強(qiáng)調(diào)“沉積”工藝呢?
2023-08-17 15:33:27370

如何實(shí)現(xiàn)PCB蝕刻工藝中的均勻性呢?有哪些方法?

PCB蝕刻工藝中的“水池效應(yīng)”現(xiàn)象,通常發(fā)生在頂部,這種現(xiàn)象會(huì)導(dǎo)致大尺寸PCB整個(gè)板面具有不同的蝕刻質(zhì)量。
2023-08-10 18:25:431012

蘋果拒絕為3nm工藝缺陷買單 臺(tái)積電3nm按良率收費(fèi)!

根據(jù)外媒報(bào)道,據(jù)稱臺(tái)積電新的3nm制造工藝的次品率約為30%。不過(guò)根據(jù)獨(dú)家條款,該公司僅向蘋果收取良品芯片的費(fèi)用!
2023-08-08 15:59:27780

光刻技術(shù)概述及其分類

光刻是一種圖像復(fù)制技術(shù),是集成電路工藝中至關(guān)重要的一項(xiàng)工藝。簡(jiǎn)單地說(shuō),光刻類似照相復(fù)制方法,即將掩膜版上的圖形精確地復(fù)制到涂在硅片表面的光刻膠或其他掩蔽膜上面,然后在光刻膠或其他掩蔽膜的保護(hù)下對(duì)硅片進(jìn)行離子注入、刻蝕、金屬蒸鍍等。
2023-08-07 17:52:531478

Intel4工藝太難了!酷睿Ultra終于突破5GHz

無(wú)論是14nm還是10nm,Intel這些年的新工藝都有一個(gè)通性:剛誕生的時(shí)候性能平平,高頻率都上不去,只能用于筆記本移動(dòng)端(分別對(duì)應(yīng)5代酷睿、10代酷睿),后期才不斷成熟,比如到了13代酷睿就達(dá)到史無(wú)前例的6GHz。
2023-08-07 09:55:57734

Intel自曝:3nm工藝良率、性能簡(jiǎn)直完美!

Intel將在下半年發(fā)布的Meteor Lake酷睿Ultra處理器將首次使用Intel 4制造工藝,也就是之前的7nm,但是Intel認(rèn)為它能達(dá)到4nm級(jí)別的水平,所以改了名字。
2023-08-01 09:41:50561

昇印光電完成超億元融資,開(kāi)發(fā)原理級(jí)創(chuàng)新技術(shù):嵌入式納米印刷

當(dāng)談到該創(chuàng)新工藝時(shí),不可避免地要與傳統(tǒng)的光刻工藝體系進(jìn)行對(duì)比。光刻工藝體系是一種減法工藝:首先要在襯底表面沉積一層材料,例如銅;然后在材料層表面涂布一層光刻膠;接著將光刻膠圖形化曝光并顯影,形成有圖案的光刻覆蓋區(qū)域
2023-07-29 11:01:50835

次時(shí)代EUV光刻已箭在弦上!

半導(dǎo)體技術(shù)的未來(lái)通常是通過(guò)光刻設(shè)備的鏡頭來(lái)看待的,盡管高度挑戰(zhàn)性的技術(shù)問(wèn)題幾乎永無(wú)休止,但光刻設(shè)備仍繼續(xù)為未來(lái)的工藝節(jié)點(diǎn)提供更好的分辨率。
2023-07-28 17:41:161130

芯片工藝的"7nm" 、"5nm"到底指什么?

近幾年,芯片產(chǎn)業(yè)越來(lái)越火熱,一些行業(yè)內(nèi)的術(shù)語(yǔ)大家也聽(tīng)得比較多了。那么工藝節(jié)點(diǎn)、制程是什么,"7nm" 、"5nm"又是指什么?
2023-07-28 17:34:335639

半導(dǎo)體光刻工藝 光刻—半導(dǎo)體電路的繪制

金屬-氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管(MOSFET)的革命,讓我們可以在相同面積的晶圓上同時(shí)制造出更多晶體管。
2023-07-27 15:24:51609

風(fēng)火輪YY3568開(kāi)發(fā)板技術(shù)參數(shù)詳解

RK3568四核64位Cortex-A55處理器,采用全新ARM v8.2-A架構(gòu)主頻最高可達(dá)2.0GHz,效能有大幅提升;采用22nm先進(jìn)工藝,具有低功耗高性能的特點(diǎn)
2023-07-18 09:47:29511

科普一下先進(jìn)工藝22nm FDSOI和FinFET的基礎(chǔ)知識(shí)

泄漏功率仍然是HKMG(High-K Metal Gate)一個(gè)主要問(wèn)題。從下圖看出,在28nm的High-K Metal Gate Stack中,leakage power仍然在總功耗中占據(jù)主導(dǎo)地位。
2023-07-12 16:24:232882

瑞芯微RK3568滿負(fù)載高溫運(yùn)行溫升測(cè)試

RK3568是瑞芯微出品的一款定位中高端的通用型SoC,采用22nm先進(jìn)制程工藝,集成4核 arm 架構(gòu) A55 處理器和 Mali G52 2EE 圖形處理器,支持4K解碼和1080P編碼。
2023-07-07 17:35:32704

光刻掩膜版測(cè)溫儀,光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)測(cè)溫儀

GK-1000光刻掩膜版測(cè)溫儀,光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)測(cè)溫儀光刻機(jī)是一種用于微納米加工的設(shè)備,主要用于制造集成電路、光電子器件、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))等微細(xì)結(jié)構(gòu)。光刻機(jī)是一種光學(xué)投影技術(shù),通過(guò)將光線通過(guò)
2023-07-07 11:46:07

3D IC對(duì)光刻技術(shù)的新技術(shù)要求

外,學(xué)生還就感興趣的課題做深入調(diào)研。師生共同討論調(diào)研報(bào)告,實(shí)現(xiàn)教學(xué)互動(dòng)。調(diào)研的內(nèi)容涉及光刻工藝、光刻成像理論、SMO、OPC和DTCO技術(shù)。
2023-06-30 10:06:02261

半導(dǎo)體前端工藝:沉積——“更小、更多”,微細(xì)化的關(guān)鍵(上)

在半導(dǎo)體制程中,移除殘余材料的“減法工藝”不止“刻蝕”一種,引入其他材料的“加法工藝”也非“沉積”一種。比如,光刻工藝中的光刻膠涂敷,其實(shí)也是在基底上形成各種薄膜;又如氧化工藝中晶圓(硅)氧化,也需要在基底表面添加各種新材料。那為什么唯獨(dú)要強(qiáng)調(diào)“沉積”工藝呢?
2023-06-29 16:58:37404

回顧下功耗的定義及其組成部分并總結(jié)降低功耗的常用方案

隨著工藝節(jié)點(diǎn)的不斷發(fā)展(現(xiàn)在普遍是28nm,22nm,16nm,14nm,甚至有的都在做7nm),芯片的性能需求越來(lái)越高,規(guī)模也越來(lái)越大
2023-06-29 15:24:111741

基于機(jī)器學(xué)習(xí)的逆向光刻技術(shù)

外,學(xué)生還就感興趣的課題做深入調(diào)研。師生共同討論調(diào)研報(bào)告,實(shí)現(xiàn)教學(xué)互動(dòng)。調(diào)研的內(nèi)容涉及光刻工藝光刻成像理論、SMO、OPC和DTCO技術(shù)。
2023-06-29 10:02:17327

家用物聯(lián)網(wǎng)攝像機(jī)芯片“量?jī)r(jià)齊升”,安凱微電子新上市

分別為18.46%、14.49%、18.66%。在制程方面,安凱微主流產(chǎn)品采用40nm22nm 工藝制程,且已經(jīng)開(kāi)始12nm FinFET 工藝設(shè)計(jì)的研發(fā)工作。
2023-06-28 15:55:19828

【視頻教程】紫光同創(chuàng)PGL22G關(guān)鍵特性評(píng)估板@盤古22K開(kāi)發(fā)板開(kāi)箱教程

開(kāi)箱大吉#紫光同創(chuàng)PGL22G關(guān)鍵特性評(píng)估板@盤古22K開(kāi)發(fā)板 開(kāi)箱教程來(lái)啦!詳細(xì)教程手把手來(lái)教啦!#紫光盤古系列開(kāi)發(fā)板@盤古22K開(kāi)發(fā)板 基于紫光同創(chuàng)40nm工藝的FPGA主控芯片(Logos系列
2023-06-28 10:46:17

淺談半導(dǎo)體制造中的光刻工藝

在之前的文章里,我們介紹了晶圓制造、氧化過(guò)程和集成電路的部分發(fā)展史?,F(xiàn)在,讓我們繼續(xù)了解光刻工藝,通過(guò)該過(guò)程將電子電路圖形轉(zhuǎn)移到晶圓上。光刻過(guò)程與使用膠片相機(jī)拍照非常相似。但是具體是怎么實(shí)現(xiàn)的呢?
2023-06-28 10:07:472427

淺談半導(dǎo)體制造中的刻蝕工藝

在上一篇文章,我們介紹了光刻工藝,即利用光罩(掩膜)把設(shè)計(jì)好的電路圖形繪制在涂覆了光刻膠的晶圓表面上。下一步,將在晶圓上進(jìn)行刻蝕工藝,以去除不必要的材料,只保留所需的圖形。
2023-06-28 10:04:58843

光刻對(duì)準(zhǔn)原理與精度控制

外,學(xué)生還就感興趣的課題做深入調(diào)研。師生共同討論調(diào)研報(bào)告,實(shí)現(xiàn)教學(xué)互動(dòng)。調(diào)研的內(nèi)容涉及光刻工藝、光刻成像理論、SMO、OPC和DTCO技術(shù)。
2023-06-26 17:00:19765

一文了解光刻的歷史

如今,光刻技術(shù)已成為一項(xiàng)容錯(cuò)率極低的大產(chǎn)業(yè)。全球領(lǐng)先的荷蘭公司 ASML 也是歐洲市值最大的科技公司。它的光刻工具依賴于世界上最平坦的鏡子、最強(qiáng)大的商用激光器之一以及比太陽(yáng)表面爆炸還高的熱度,在硅上刻出微小的形狀,尺寸僅為幾納米。
2023-06-26 16:59:16569

半導(dǎo)體圖案化工藝流程之刻蝕(一)

Dimension, CD)小型化(2D視角),刻蝕工藝從濕法刻蝕轉(zhuǎn)為干法刻蝕,因此所需的設(shè)備和工藝更加復(fù)雜。由于積極采用3D單元堆疊方法,刻蝕工藝的核心性能指數(shù)出現(xiàn)波動(dòng),從而刻蝕工藝光刻工藝成為半導(dǎo)體制造的重要工藝流程之一。
2023-06-26 09:20:10816

臺(tái)積電的3nm工藝價(jià)格為每片19150美元

盡管英特爾的第14代酷睿尚未發(fā)布,但第15代酷睿(代號(hào)Arrow Lake)已經(jīng)曝光。新的酷睿系列產(chǎn)品將改為酷睿Ultra系列,并使用臺(tái)積電的3nm工藝,預(yù)計(jì)會(huì)有顯著的性能提升。
2023-06-20 17:48:571100

CMP工藝影響下的版圖優(yōu)化

外,學(xué)生還就感興趣的課題做深入調(diào)研。師生共同討論調(diào)研報(bào)告,實(shí)現(xiàn)教學(xué)互動(dòng)。調(diào)研的內(nèi)容涉及光刻工藝、光刻成像理論、SMO、OPC和DTCO技術(shù)。
2023-06-20 10:51:43335

硅基光刻技術(shù)在柔性電子器件制造中的應(yīng)用

近日,湖南大學(xué)段輝高教授團(tuán)隊(duì)通過(guò)開(kāi)發(fā)基于“光刻膠全干法轉(zhuǎn)印”技術(shù)的新型光刻工藝,用于柔性及不規(guī)則(曲面、懸空)襯底上柔性電子器件的原位和高保形制造,為高精度、高可靠性和高穩(wěn)定性柔性電子器件的制造提供
2023-06-17 10:19:38507

求分享NM1200和NM1330詳細(xì)的數(shù)據(jù)手冊(cè)

跪求新唐NM1200和NM1330詳細(xì)的數(shù)據(jù)手冊(cè)
2023-06-15 08:57:31

面向光刻的設(shè)計(jì)規(guī)則建立及優(yōu)化

外,學(xué)生還就感興趣的課題做深入調(diào)研。師生共同討論調(diào)研報(bào)告,實(shí)現(xiàn)教學(xué)互動(dòng)。調(diào)研的內(nèi)容涉及光刻工藝、光刻成像理論、SMO、OPC和DTCO技術(shù)。
2023-06-14 10:16:38226

基于面向工藝輪廓仿真的水平集(level set)算法

外,學(xué)生還就感興趣的課題做深入調(diào)研。師生共同討論調(diào)研報(bào)告,實(shí)現(xiàn)教學(xué)互動(dòng)。調(diào)研的內(nèi)容涉及光刻工藝、光刻成像理論、SMO、OPC和DTCO技術(shù)。 考慮到這些內(nèi)容也是目前業(yè)界關(guān)注的實(shí)用技術(shù),征得教師和學(xué)生的同意,本公眾號(hào)將陸
2023-06-13 16:24:08226

【視頻】盤古Logos系列PGL22G關(guān)鍵特性評(píng)估板@盤古22K開(kāi)發(fā)板#紫光同創(chuàng)FPGA開(kāi)發(fā)板

【視頻】盤古Logos系列PGL22G關(guān)鍵特性評(píng)估板@盤古22K開(kāi)發(fā)板#紫光同創(chuàng)FPGA開(kāi)發(fā)板#基于紫光同創(chuàng)40nm工藝的FPGA主控芯片(Logos系列: PGL22G-MBG324),掛載
2023-06-12 17:38:43

3D NAND刻蝕工藝的挑戰(zhàn)及特點(diǎn)

外,學(xué)生還就感興趣的課題做深入調(diào)研。師生共同討論調(diào)研報(bào)告,實(shí)現(xiàn)教學(xué)互動(dòng)。調(diào)研的內(nèi)容涉及光刻工藝光刻成像理論、SMO、OPC和DTCO技術(shù)。
2023-06-12 11:19:55562

芯片制造之光刻工藝詳細(xì)流程圖

光刻機(jī)可分為前道光刻機(jī)和后道光刻機(jī)。光刻機(jī)既可以用在前道工藝,也可以用在后道工藝,前道光刻機(jī)用于芯片的制造,曝光工藝極其復(fù)雜,后道光刻機(jī)主要用于封裝測(cè)試,實(shí)現(xiàn)高性能的先進(jìn)封裝,技術(shù)難度相對(duì)較小。
2023-06-09 10:49:205857

重點(diǎn)闡述濕法刻蝕

光刻工藝后,在硅片或晶圓上形成了光刻膠的圖形,下一步就是刻蝕。
2023-06-08 10:52:353304

中芯國(guó)際下架14nm工藝的原因 中芯國(guó)際看好28nm

? ? 中芯國(guó)際,作為當(dāng)前我國(guó)技術(shù)最為先進(jìn),工藝最為成熟的芯片半導(dǎo)體代工廠商,堪稱是當(dāng)下國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)“全村的希望”。盡管面臨著技術(shù)的限制和先進(jìn)光刻機(jī)設(shè)備的禁運(yùn),中芯國(guó)際卻依然在自主研發(fā)與創(chuàng)新
2023-06-06 15:34:2117913

揭秘半導(dǎo)體制程:8寸晶圓與5nm工藝的魅力與挑戰(zhàn)

在探討半導(dǎo)體行業(yè)時(shí),我們經(jīng)常會(huì)聽(tīng)到兩個(gè)概念:晶圓尺寸和工藝節(jié)點(diǎn)。本文將為您解析8寸晶圓以及5nm工藝這兩個(gè)重要的概念。
2023-06-06 10:44:001420

BK7256 WIFI+BLE音視頻低功耗芯片 ,支持聯(lián)網(wǎng)驅(qū)屏,ipc、可視門鎖,旋鈕屏等

BK7256是一顆采用22nm工藝制程,高度集成wifi+ble的低功耗音視頻芯片,可用于實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程音視頻傳輸和iot智能中控驅(qū)屏應(yīng)用
2023-06-06 09:47:581572

知識(shí)分享---光刻模塊標(biāo)準(zhǔn)步驟

通常,光刻是作為特性良好的模塊的一部分執(zhí)行的,其中包括晶圓表面制備、光刻膠沉積、掩模和晶圓的對(duì)準(zhǔn)、曝光、顯影和適當(dāng)?shù)目刮g劑調(diào)節(jié)。光刻工藝步驟需要按順序進(jìn)行表征,以確保模塊末端剩余的抗蝕劑是掩模的最佳圖像,并具有所需的側(cè)壁輪廓。
2023-06-02 16:30:25418

一文了解DPC陶瓷基板工藝流程

直接鍍銅陶瓷基板(Direct Plating Copper, DPC)是在陶瓷薄膜工藝加工基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的陶瓷電路加工工藝。以氮化鋁/氧化鋁陶瓷作為線路的基板,采用濺鍍工藝于基板表面復(fù)合金屬層,并以電鍍和光刻工藝形成電路。
2023-05-31 10:32:021587

迅為RK3568開(kāi)發(fā)板220+集視頻和2800頁(yè)手冊(cè)在線觀看_學(xué)習(xí)搞起來(lái)

瑞芯微RK3568芯片是一款定位中高端的通用型SOC,采用22nm制程工藝,搭載一顆四核Cortex-A55處理器和Mali G52 2EE 圖形處理器。RK3568 支持4K 解碼和 1080P
2023-05-29 11:09:01

Intel 4工藝14代酷睿將升級(jí)全新的CPU/GPU架構(gòu)

14nm、10nm、4……Intel近幾年的制造工藝,每次首秀都不太順利,頻率和性能不達(dá)標(biāo),只能用于移動(dòng)版,優(yōu)化個(gè)一兩年才能上桌面,然后性能又非常好。
2023-05-24 11:33:42985

OpenHarmony智慧設(shè)備開(kāi)發(fā)-芯片模組簡(jiǎn)析RK3568

處理器采用22nm工藝,主頻高達(dá)2.0GHz;支持藍(lán)牙、Wi-Fi、音頻、視頻和攝像頭等功能,擁有豐富的擴(kuò)展接口,支持多種視頻輸入輸出接口,配置雙千兆自適應(yīng)RJ45以太網(wǎng)口,可滿足NVR、工業(yè)網(wǎng)關(guān)等多網(wǎng)口
2023-05-16 14:56:42

全面解讀光刻工藝制造流程

光刻膠可以通過(guò)光化學(xué)反應(yīng),經(jīng)曝光、顯影等光刻工序?qū)⑺枰奈⒓?xì)圖形從光罩(掩模版)轉(zhuǎn)移到待加工基片上。依據(jù)使用場(chǎng)景,這里的待加工基片可以是集成電路材料,顯示面板材料或者印刷電路板。
2023-05-11 16:10:492772

Intel推出全新工藝節(jié)點(diǎn),或?qū)⑦~入2nm時(shí)代

Intel將于6月11日至16日舉辦的VLSI Symposium 2023研討會(huì)上,首次展示PowerVia技術(shù)。有關(guān)信息顯示,Intel的20A工藝將引入PowerVia背部供電和RibbonFET全環(huán)繞柵極晶體管等全新技術(shù)。
2023-05-10 15:07:51345

505nm、785nm、808nm、940nm激光二極管TO56 封裝、 500mW 100mw

1300NM 金屬封裝工藝是指采用金屬外殼作為封裝殼體或底座,在其內(nèi)部安裝芯片或基板并進(jìn)行鍵合連接,外引線通過(guò)金屬-玻璃(或陶瓷)組裝工藝穿過(guò)金屬外殼,將內(nèi)部元件的功能引出、外部電源信號(hào)等輸人的一種電子
2023-05-09 11:23:07

NVIDIA H100 GPU為2nm芯片加速計(jì)算光刻

使用尖端工藝技術(shù)生產(chǎn)芯片需要比以往更強(qiáng)大的計(jì)算能力。為了滿足2nm及更先進(jìn)制程的需求,NVIDIA正在推出其cuLitho軟件庫(kù)
2023-04-26 10:06:52595

NVIDIA H100 GPU為2nm芯片加速計(jì)算光刻!

現(xiàn)代工藝技術(shù)將晶圓廠設(shè)備要求推向極限,需要實(shí)現(xiàn)突破其物理極限的高分辨率,這正是計(jì)算光刻技術(shù)發(fā)揮作用的地方。計(jì)算光刻就是為芯片生產(chǎn)制作光掩模的技術(shù),它結(jié)合來(lái)自ASML設(shè)備和測(cè)試晶圓的關(guān)鍵數(shù)據(jù),是一個(gè)模擬生產(chǎn)過(guò)程的算法。
2023-04-26 10:05:29918

光刻技術(shù)的種類介紹

根據(jù)維基百科的定義,光刻是半導(dǎo)體器件制造工藝中的一個(gè)重要步驟,該步驟利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫(huà)幾何圖形結(jié)構(gòu),然后通過(guò)刻蝕工藝將光掩模上的圖形轉(zhuǎn)移到所在襯底上。這里所說(shuō)的襯底不僅包含硅晶圓,還可以是其他金屬層、介質(zhì)層,例如玻璃、SOS中的藍(lán)寶石。
2023-04-25 11:11:331242

什么是光刻技術(shù)

光刻技術(shù)簡(jiǎn)單來(lái)講,就是將掩膜版圖形曝光至硅片的過(guò)程,是大規(guī)模集成電路的基礎(chǔ)。目前市場(chǎng)上主流技術(shù)是193nm沉浸式光刻技術(shù),CPU所謂30nm工藝或者22nm工藝指的就是采用該技術(shù)獲得的電路尺寸。
2023-04-25 11:02:322261

虹科技術(shù)|半導(dǎo)體制造工藝中的UV-LED光源

半導(dǎo)體行業(yè)借助紫外光譜范圍(i 線:365 nm、h線:405 nm和g線:436 nm)中的高功率輻射在各種光刻、曝光和顯影工藝中創(chuàng)建復(fù)雜的微觀結(jié)構(gòu)
2023-04-24 11:23:281480

ASML是如何崛起的?半導(dǎo)體發(fā)展的三個(gè)歷史階段

那時(shí)集成電路也剛剛發(fā)明不久,光刻工藝還在微米級(jí)別,工藝步驟也比現(xiàn)在簡(jiǎn)單很多美國(guó)是走在世界前列的。在那個(gè)對(duì)工藝要求并不高的年代,很多半導(dǎo)體公司通常自己用鏡頭設(shè)計(jì)光刻工具,光刻機(jī)在當(dāng)時(shí)甚至不如照相機(jī)的結(jié)構(gòu)復(fù)雜。
2023-04-20 09:22:331314

瑞薩電子發(fā)布首顆22納米微控制器樣片

此次采用全新22nm工藝生產(chǎn)的首顆MCU,擴(kuò)展了瑞薩廣受歡迎的基于32位Arm Cortex-M內(nèi)核的RA產(chǎn)品家族。該新型無(wú)線MCU支持低功耗藍(lán)牙5.3 (BLE),并集成了軟件定義無(wú)線電(SDR)。
2023-04-14 11:08:23628

45nm工藝直躍2nm工藝,日本芯片工藝憑什么?

搞定2nm工藝需要至少3方面的突破,一個(gè)是技術(shù),一個(gè)是資金,一個(gè)是市場(chǎng),在技術(shù)上日本是指望跟美國(guó)的IBM公司合作,后者前兩年就演示過(guò)2nm工藝,但I(xiàn)BM的2nm工藝還停留在實(shí)驗(yàn)室級(jí)別,距離量產(chǎn)要很遠(yuǎn)。
2023-04-14 10:24:55507

淺談EUV光刻中的光刻膠和掩模等材料挑戰(zhàn)

新的High NA EUV 光刻膠不能在封閉的研究環(huán)境中開(kāi)發(fā),必須通過(guò)精心設(shè)計(jì)的底層、新型硬掩模和高選擇性蝕刻工藝進(jìn)行優(yōu)化以獲得最佳性能。為了迎接這一挑戰(zhàn),imec 最近開(kāi)發(fā)了一個(gè)新的工具箱來(lái)匹配光刻膠和底層的屬性。
2023-04-13 11:52:121164

瑞薩電子發(fā)布首顆22nm微控制器(MCU)樣片

瑞薩電子今日宣布推出基于 22nm 制程的首顆微控制器(MCU)。通過(guò)采用先進(jìn)工藝技術(shù),提供卓越性能,并通過(guò)降低內(nèi)核電壓來(lái)有效降低功耗。先進(jìn)的工藝技術(shù)還提供更豐富的集成度(比如 RF 等),能夠在更小的裸片面積上實(shí)現(xiàn)相同的功能,從而實(shí)現(xiàn)了外設(shè)和存儲(chǔ)的更高集成度。
2023-04-12 10:07:19454

高端光刻膠通過(guò)認(rèn)證 已經(jīng)用于50nm工藝

此前該公司指出,公司已建成年產(chǎn)5噸ArF干式光刻膠生產(chǎn)線、年產(chǎn)20噸ArF浸沒(méi)式光刻膠生產(chǎn)線及年產(chǎn)45噸的光刻膠配套高純?cè)噭┥a(chǎn)線,具備ArF光刻膠及配套關(guān)鍵組分材料的生產(chǎn)能力,目前公司送樣驗(yàn)證的產(chǎn)品均由該自建產(chǎn)線產(chǎn)出。
2023-04-11 09:25:32920

多晶硅蝕刻工藝講解

下圖顯示了Intel的第6代晶體管(6T)SRAM尺寸縮小時(shí)間表,以及多晶硅柵刻蝕技術(shù)后從90nm22nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)6TSRAM單元的SEM圖像俯視視圖??梢钥闯?,SRAM的布局從65nm節(jié)點(diǎn)已發(fā)生
2023-04-03 09:39:402451

被卡脖子的半導(dǎo)體設(shè)備(萬(wàn)字深度報(bào)告)

光刻是將設(shè)計(jì)好的電路圖從掩膜版轉(zhuǎn)印到晶圓表面的光刻膠上,通過(guò)曝光、顯影將目標(biāo)圖形印刻到特定材料上的技術(shù)。光刻工藝包括三個(gè)核心流程:涂膠、對(duì)準(zhǔn)和曝光以及光刻膠顯影,整個(gè)過(guò)程涉及光刻機(jī),涂膠顯影機(jī)、量測(cè)設(shè)備以及清洗設(shè)備等多種核心設(shè)備,其中價(jià)值量最大且技術(shù)壁壘最高的部分就是光刻機(jī)。
2023-03-25 09:32:394948

GTC 2023 NVIDIA將加速計(jì)算引入半導(dǎo)體光刻 計(jì)算光刻技術(shù)提速40倍

為2nm及更先進(jìn)芯片的生產(chǎn)提供更強(qiáng)大的助力。 計(jì)算光刻是芯片設(shè)計(jì)和制造領(lǐng)域中最大的計(jì)算工作負(fù)載,每年消耗數(shù)百億CPU小時(shí)。而NVIDIA cuLitho計(jì)算光刻庫(kù)利用GPU技術(shù)實(shí)現(xiàn)計(jì)算光刻,可以極大的降低功耗、節(jié)省時(shí)間。 目前臺(tái)積電、光刻機(jī)制造商阿斯麥,以及EDA巨頭新思科技都已經(jīng)導(dǎo)入
2023-03-23 18:55:377488

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