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電子發(fā)燒友網(wǎng)>今日頭條>采用化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝去除機(jī)理

采用化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝去除機(jī)理

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碳化硅晶片的化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)研究

材料 去除的影響。重點(diǎn)綜述了傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)中的游離磨料和固結(jié)磨料工藝以及化學(xué)機(jī)械拋光的輔助增效工藝。同時(shí)從工藝條件、加工效果、加工特點(diǎn)及去除機(jī)理 4 個(gè)方面歸納了不同形式的化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù),最后對(duì)碳化硅的化學(xué) 機(jī)械拋光技術(shù)的未來發(fā)展方向進(jìn)行了展望,并對(duì)今后研究的側(cè)重點(diǎn)提出了相關(guān)思路。
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半導(dǎo)體行業(yè)中的化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)

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SK海力士研發(fā)可重復(fù)使用CMP拋光墊技術(shù),降低成本并加強(qiáng)ESG管理

CMP技術(shù)指的是在化學(xué)機(jī)械的協(xié)同作用下,使得待拋光原料表面達(dá)到指定平面度的過程。化學(xué)藥水與原料接觸后,生成易于拋光的軟化層,隨后利用拋光墊以及研磨顆粒進(jìn)行物理機(jī)械拋光,以清除軟化層。
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SK海力士近日研發(fā)出了可重復(fù)使用的CMP拋光墊技術(shù)

12月27日消息,根據(jù)韓媒報(bào)道,SK海力士近日研發(fā)出了可重復(fù)使用的 CMP拋光墊技術(shù),不僅可以降低成本,而且可以增強(qiáng) ESG(環(huán)境、社會(huì)、治理)管理。
2023-12-27 13:48:50231

SK海力士研發(fā)可重復(fù)使用CMP拋光墊技術(shù)

需要指出的是,CMP 技術(shù)通過化學(xué)機(jī)械作用使得待拋光材料表面達(dá)到所需平滑程度。其中,拋光液中化學(xué)物質(zhì)與材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成易于拋光的軟化層。拋光墊和研磨顆粒則負(fù)責(zé)物理機(jī)械拋光,清除這一軟化層。
2023-12-27 10:58:31335

HMDS與BARC一定要除去嗎?有哪幾種去除的方式?

HMDS,BARC是光刻工序中比較常用的化學(xué)品,但是它們并不能用顯影液除去,根據(jù)是什么?它們一定要除去嗎?有哪幾種去除的方式?
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碳化硅襯底材料研磨拋光耗材和工藝技術(shù)

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華海清科:12英寸超精密晶圓減薄機(jī)Versatile-GP300已獲得小批量訂單

在北京亦莊項(xiàng)目建設(shè)方面,華海清科據(jù)公司的子公司華海清科北京在北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)實(shí)行“華海清科集成電路高端裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目,用于公司開展化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備、減薄設(shè)備、濕法設(shè)備等高端半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化、建設(shè)周期預(yù)計(jì)26個(gè)月。
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在濕臺(tái)工藝中使用RCA清洗技術(shù)

半導(dǎo)體制造業(yè)依賴復(fù)雜而精確的工藝來制造我們需要的電子元件。其中一個(gè)過程是晶圓清洗,這個(gè)是去除硅晶圓表面不需要的顆粒或殘留物的過程,否則可能會(huì)損害產(chǎn)品質(zhì)量或可靠性。RCA清洗技術(shù)能有效去除硅晶圓表面的有機(jī)和無機(jī)污染物,是一項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)的晶圓清洗工藝。
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CMP拋光墊有哪些重要指標(biāo)?

CMP(Chemical Mechanical Polishing)即“化學(xué)機(jī)械拋光”,是為了克服化學(xué)拋光機(jī)械拋光的缺點(diǎn)
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AD9781如何去除DAC輸出信號(hào)上疊加的時(shí)鐘諧波信號(hào)?

AD9781采用FPGA作為驅(qū)動(dòng),采用200MHz時(shí)鐘,F(xiàn)PGA數(shù)字信號(hào)給DAC輸出3MHz正弦波,但DAC輸出信號(hào)上疊加有時(shí)鐘二次諧波信號(hào)(400MHz),請(qǐng)問要如何去除DAC輸出信號(hào)上疊加的時(shí)鐘諧波信號(hào)?
2023-12-01 06:26:32

封裝功能設(shè)計(jì)及基本工藝流程

在晶圓生產(chǎn)工藝的結(jié)尾,有些晶圓需要被減?。ňA減薄)才能裝進(jìn)特定的封裝體重,以及去除背面損傷或結(jié);對(duì)于有將芯片用金-硅共晶封裝中的芯片背面要求鍍一層金(背面金屬化,簡(jiǎn)稱背金);
2023-11-29 12:31:26203

?cmp工藝是什么?化學(xué)機(jī)械研磨工藝操作的基本介紹

化學(xué)機(jī)械研磨工藝操作的基本介紹以及其比單純物理研磨的優(yōu)勢(shì)介紹。
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化學(xué)機(jī)械研磨(cmp工藝操作的基本介紹

在芯片制造中,單純的物理研磨是不行的。因?yàn)閱渭兊奈锢硌心?huì)引入顯著的機(jī)械損傷,如劃痕和位錯(cuò),且無法達(dá)到所需的平整度,因此不適用于芯片制造。
2023-11-29 10:03:32327

PCB設(shè)計(jì)有必要去除死銅嗎?

死銅呢? 有人說應(yīng)該除去,原因大概是: 1、會(huì)造成EMI問題。 2、增強(qiáng)抗干擾能力。 3、死銅沒什么用。 有人說應(yīng)該保留,原因大概是: 1、去了有時(shí)大片空白不好看。 2、增加板子機(jī)械性能,避免出現(xiàn)受力不均彎曲的現(xiàn)象。 PCB設(shè)計(jì)去除死銅的必要性: 一、我們不要死銅
2023-11-29 09:06:24432

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2023-11-21 15:49:14271

鼎龍(仙桃)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)園投產(chǎn)

據(jù)鼎龍控股集團(tuán)消息,鼎龍(仙桃)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)園區(qū)占地218畝,建筑面積11.5萬平方米,項(xiàng)目總投資約10億元人民幣。經(jīng)過15個(gè)月的建設(shè),同時(shí)進(jìn)入千噸級(jí)半導(dǎo)體oled面板光刻膠(pspi)、萬噸級(jí)cmp拋光液(slurry)和萬噸級(jí)cmp拋光液用納米粒子研磨法等
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一種簡(jiǎn)易去除PCBA板工藝邊工裝的設(shè)計(jì)原理

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2023-11-16 17:21:44172

芯秦微獲A+輪融資,用于化學(xué)機(jī)械拋光液產(chǎn)線建設(shè)

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化學(xué)機(jī)械拋光(CMP) 技術(shù)的發(fā)展應(yīng)用及存在問題

性能和速度上同時(shí)滿足了圓片圖形加工的要求。CMP 技術(shù)是機(jī)械削磨和化學(xué)腐蝕的組合技術(shù) , 它借助超微粒子的研磨作用以及漿料的化學(xué)腐蝕作用在被研磨的介質(zhì)表面上形成光潔平坦表面[2、3] 。CMP 技術(shù)對(duì)于
2023-09-19 07:23:03

CMP拋光液市場(chǎng)高速增長(zhǎng),到2023年市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到25億美元

得益于半導(dǎo)體業(yè)界的繁榮,世界cmp拋光液市場(chǎng)正在經(jīng)歷明顯的增長(zhǎng)。cmp拋光液是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵成分,在實(shí)現(xiàn)集成電路制造的精度和效率方面發(fā)揮了關(guān)鍵作用。隨著技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體的格局不斷重新形成,對(duì)cmp拋光液的需求從來沒有這么高過。
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CH32X035 運(yùn)放OPA和比較器CMP的應(yīng)用

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CH32X035 運(yùn)放OPA和比較器CMP的應(yīng)用

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2023-08-30 10:09:041705

肖特基二極管失效機(jī)理

肖特基二極管失效機(jī)理? 肖特基二極管(Schottky Barrier Diode, SBD)作為一種快速開關(guān)元件,在電子設(shè)備中得到了廣泛的應(yīng)用。但是,隨著SBD所承受的工作壓力和工作溫度不斷升高
2023-08-29 16:35:08971

功率半導(dǎo)體迎來碳化硅時(shí)代

新的晶圓工藝工具包括高溫外延生長(zhǎng)(>1,500°C)、熱離子注入、快速熱處理(RTP)和更快的脈沖原子層沉積。用于SiC 材料的晶圓研磨、CMP、拋光墊和漿料也在發(fā)生重大改進(jìn),包括剝離劑和清潔化學(xué)品在內(nèi)的新材料可滿足設(shè)備和可持續(xù)性需求。
2023-08-28 15:21:35375

如何實(shí)現(xiàn)CMP步驟的仿真?廣立微重磅發(fā)布CMPEXP建模工具

近日,為填補(bǔ)國(guó)內(nèi)集成電路市場(chǎng)上產(chǎn)業(yè)化CMP建模工具的空白,滿足芯片設(shè)計(jì)公司和晶圓制造廠的需求,廣立微正式推出CMP EXPLORER(簡(jiǎn)稱“CMPEXP”)工具,保障芯片的可制造性和成品率,解決行業(yè)的痛點(diǎn)。
2023-08-28 15:13:34790

平面拋光機(jī)的工藝要求

光學(xué)加工是一個(gè)非常復(fù)雜的過程。難以通過單一加工方法加工滿足各種加工質(zhì)量指標(biāo)要求的光學(xué)元件。平面拋光機(jī)的基礎(chǔ)是加工材料的微去除。實(shí)現(xiàn)這種微去除的方法包括研磨加工、微粉顆粒拋光和納米材料拋光。根據(jù)
2023-08-28 08:08:59355

歐姆龍比較指令的用法 歐姆龍cmp指令用法

首先我們了解一下歐姆龍CMP指令,CMP指令是一種用于比較兩個(gè)數(shù)值的指令,常用于控制系統(tǒng)中的邏輯判斷和決策。該指令可以比較兩個(gè)16位的數(shù)據(jù),如果它們相等,則將零標(biāo)志位設(shè)置為1,否則將其清零。
2023-08-23 11:12:592434

先進(jìn)封裝廠關(guān)于Bump尺寸的管控:BOKI_1000粗糙度測(cè)量設(shè)備-凹凸計(jì)量系統(tǒng)

以粗糙度指標(biāo)為例,電鍍工藝后的Cu 表面粗糙并存在一定的高度差,所以鍵合前需要對(duì)其表面進(jìn)行平坦化處理,如化學(xué)機(jī)械拋光(CMP),使得鍵合時(shí)Cu 表面能夠充分接觸,實(shí)現(xiàn)原子擴(kuò)散,由此可見把控Bump
2023-08-17 09:44:330

化學(xué)機(jī)械拋光CMP技術(shù)的發(fā)展應(yīng)用及存在問題

2023-08-15 15:45:320

CMP的概念、重要性及工作原理

化學(xué)機(jī)械拋光CMP)是晶圓制造的關(guān)鍵步驟,其作用在于減少晶圓表面的不平整,而拋光液、拋光墊是CMP技術(shù)的關(guān)鍵耗材,價(jià)值量較高,分別占CMP耗材49%和33%的價(jià)值量,其品質(zhì)直接影響著拋光效果,因而
2023-08-02 10:59:473411

半導(dǎo)體行業(yè)中的化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)詳解

20世紀(jì)60年代以前,半導(dǎo)體基片拋光還大都沿用機(jī)械拋光,得到的鏡面表面損傷是極其嚴(yán)重的。1965年Walsh和Herzog提出SiO2溶膠和凝膠拋光后,以SiO2漿料為代表的化學(xué)機(jī)械拋光工藝就逐漸代替了以上舊方法。
2023-08-02 10:48:407523

半導(dǎo)體器件鍵合失效模式及機(jī)理分析

本文通過對(duì)典型案例的介紹,分析了鍵合工藝不當(dāng),以及器件封裝因素對(duì)器件鍵合失效造成的影響。通過對(duì)鍵合工藝參數(shù)以及封裝環(huán)境因素影響的分析,以及對(duì)各種失效模式總結(jié),闡述了鍵合工藝不當(dāng)及封裝不良,造成鍵合本質(zhì)失效的機(jī)理;并提出了控制有缺陷器件裝機(jī)使用的措施。
2023-07-26 11:23:15930

POP封裝用底部填充膠的點(diǎn)膠工藝-漢思化學(xué)

據(jù)漢思化學(xué)了解,隨著封裝尺寸的減小,3c行業(yè)移動(dòng)電子產(chǎn)品的性能不斷得到擴(kuò)展,從而使堆疊封裝(PoP)器件在當(dāng)今的消費(fèi)類產(chǎn)品中獲得了日益廣泛的應(yīng)用。為了使封裝獲得更高的機(jī)械可靠性,需要對(duì)多層堆疊封裝
2023-07-24 16:14:45544

北方華創(chuàng)發(fā)布首臺(tái)國(guó)產(chǎn)12英寸晶邊刻蝕機(jī)

據(jù)介紹,在器件制造過程中,由于薄膜沉積、光刻、刻蝕和化學(xué)機(jī)械拋光工藝步驟的大幅增長(zhǎng),在晶圓的邊緣造成了不可避免的副產(chǎn)物及殘留物堆積,這些晶邊沉積的副產(chǎn)物及殘留物驟增導(dǎo)致的缺陷風(fēng)險(xiǎn)成為產(chǎn)品良率的嚴(yán)重威脅。
2023-07-19 15:02:26607

出于意料!電化學(xué)拋光過程出現(xiàn)馬氏體相變

化學(xué)拋光(EP)通過選擇性地去除工件表面區(qū)域中的特定零件(如粗糙度和氧化物)形成鏡面狀表面。
2023-07-18 17:24:43550

cmp是什么意思 cmp工藝原理

CMP 主要負(fù)責(zé)對(duì)晶圓表面實(shí)現(xiàn)平坦化。晶圓制造前道加工環(huán)節(jié)主要包括7個(gè)相互獨(dú)立的工藝流程:光刻、刻蝕、薄膜生長(zhǎng)、擴(kuò)散、離子注入、化學(xué)機(jī)械拋光、金屬化 CMP 則主要用于銜接不同薄膜工藝,其中根據(jù)工藝
2023-07-18 11:48:183030

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈叩門A股消息頻傳 盾源聚芯深主板IPO受理!

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈硅部件供應(yīng)商盾源聚芯沖刺IPO上市! 近日,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈叩門A股消息頻傳,化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)設(shè)備供應(yīng)商晶亦精微,半導(dǎo)體功率器件企業(yè)華羿微電均在沖刺科創(chuàng)板上市。 硅部件供應(yīng)商寧夏
2023-07-18 10:43:08368

陶氏化學(xué)工廠爆炸 牽動(dòng)半導(dǎo)體關(guān)鍵耗材生產(chǎn)

陶氏化學(xué)公司是粘合劑,輔助劑等在內(nèi)的多種材料提供的高純度化學(xué)產(chǎn)品生產(chǎn)線的半導(dǎo)體核心化學(xué)材料的主要供應(yīng)商,也供應(yīng)全球重要的CMP材料包括拋光墊、拋光液等。
2023-07-18 09:59:07613

晶亦精微沖刺科創(chuàng)板IPO 為國(guó)內(nèi)唯一8英寸CMP設(shè)備境外供應(yīng)商

。 晶亦精微主要從事半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù),主要產(chǎn)品為化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)設(shè)備及其配件,并提供技術(shù)服務(wù)。目前主要為集成電路制造商提供8英寸、12英寸和6/8英寸兼容CMP設(shè)備,是國(guó)內(nèi)唯一實(shí)現(xiàn)8英寸CMP設(shè)備境外批量銷售的設(shè)備供應(yīng)商。
2023-07-14 11:01:15460

晶亦精微科創(chuàng)板IPO獲受理!主打8英寸CMP設(shè)備,募資16億研發(fā)及擴(kuò)產(chǎn)

電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/劉靜)近日,北京晶亦精微科技股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱:晶亦精微)科創(chuàng)板IPO獲上交所受理,保薦機(jī)構(gòu)為中信證券。 晶亦精微成立于2019年,前身為四十五所CMP事業(yè)部,四十五
2023-07-11 17:25:01626

晶亦精微科創(chuàng)板IPO獲受理!主打8英寸CMP設(shè)備,募資16億研發(fā)及擴(kuò)產(chǎn)

電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/劉靜)近日,北京晶亦精微科技股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱:晶亦精微)科創(chuàng)板IPO獲上交所受理,保薦機(jī)構(gòu)為中信證券。 晶亦精微成立于2019年,前身為四十五所CMP事業(yè)部,四十五
2023-07-11 01:04:001336

一文詳解CMP設(shè)備和材料

在前道加工領(lǐng)域:CMP 主要負(fù)責(zé)對(duì)晶圓表面實(shí)現(xiàn)平坦化。晶圓制造前道加工環(huán)節(jié)主要包括7個(gè)相互獨(dú)立的工藝流程:光刻、刻蝕、薄膜生長(zhǎng)、擴(kuò)散、離子注入、化學(xué)機(jī)械拋光、金屬化 CMP 則主要用于銜接不同薄膜工藝,其中根據(jù)工藝段來分可以分為前段制程(FEOL)和后段制程(BEOL)
2023-07-10 15:14:333567

華海清科集成電路高端裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目奠基

據(jù)通州區(qū)馬駒橋鎮(zhèn)政府消息,華海清科集成電路尖端設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目位于馬聚橋鎮(zhèn)智能制造基地,主要涉及化學(xué)機(jī)械光處理(cmp)設(shè)備,減薄機(jī)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。如果該項(xiàng)目得以實(shí)現(xiàn),將具備28納米以下尖端工程的cmp設(shè)備研究開發(fā)能力和每月加工20萬個(gè)12英寸再生晶片的能力。
2023-06-30 11:50:10711

CMP402是一款比較器

CMP401 和CMP402分別為23 ns和65 ns四通道比較器,采用獨(dú)立的輸入和輸出電源。獨(dú)立電源使輸入級(jí)可以采用+3 V至±6 V電源供電。輸出可以采用3 V或5 V電源供電,具體取決于接口
2023-06-28 17:22:15

CMP401是一款比較器

CMP401和CMP402分別為23 ns和65 ns四通道比較器,采用獨(dú)立的輸入和輸出電源。獨(dú)立電源使輸入級(jí)可以采用+3 V至±6 V電源供電。輸出可以采用+3 V或+5 V電源供電,具體取決于
2023-06-28 17:19:58

淺談半導(dǎo)體制造中的刻蝕工藝

在上一篇文章,我們介紹了光刻工藝,即利用光罩(掩膜)把設(shè)計(jì)好的電路圖形繪制在涂覆了光刻膠的晶圓表面上。下一步,將在晶圓上進(jìn)行刻蝕工藝,以去除不必要的材料,只保留所需的圖形。
2023-06-28 10:04:58843

溫度-機(jī)械應(yīng)力失效主要情形

集成電路封裝失效機(jī)理是指與集成電路封裝相關(guān)的,導(dǎo)致失效發(fā)生的電學(xué)、溫度、機(jī)械、氣候環(huán)境和輻射等各類應(yīng)力因素及其相互作用過程。根據(jù)應(yīng)力條件的不同,可將失效機(jī)理劃分為電應(yīng)力失效機(jī)理、溫度-機(jī)械應(yīng)力失效
2023-06-26 14:15:31603

集成電路封裝失效機(jī)理

集成電路封裝失效機(jī)理是指與集成電路封裝相關(guān)的,導(dǎo)致失效發(fā)生的電學(xué)、溫度、機(jī)械、氣候環(huán)境和輻射等各類應(yīng)力因素及其相互作用過程。
2023-06-26 14:11:26715

CMP工藝影響下的版圖優(yōu)化

外,學(xué)生還就感興趣的課題做深入調(diào)研。師生共同討論調(diào)研報(bào)告,實(shí)現(xiàn)教學(xué)互動(dòng)。調(diào)研的內(nèi)容涉及光刻工藝、光刻成像理論、SMO、OPC和DTCO技術(shù)。
2023-06-20 10:51:43335

什么是電拋光smt鋼網(wǎng)工藝

拋光smt鋼網(wǎng)是什么工藝,它與其他smt鋼網(wǎng)相比有哪些優(yōu)點(diǎn)呢,今天我們?yōu)榇蠹易錾钊氲闹v解,希望幫助大家在選購(gòu)適合自己工廠真正需要的smt鋼網(wǎng)。
2023-06-19 10:17:44569

半導(dǎo)體前端工藝:刻蝕——有選擇性地刻蝕材料,以創(chuàng)建所需圖形

在半導(dǎo)體制程工藝中,有很多不同名稱的用于移除多余材料的工藝,如“清洗”、“刻蝕”等。如果說“清洗”工藝是把整張晶圓上多余的不純物去除掉,“刻蝕”工藝則是在光刻膠的幫助下有選擇性地移除不需要的材料,從而創(chuàng)建所需的微細(xì)圖案。半導(dǎo)體“刻蝕”工藝采用的氣體和設(shè)備,在其他類似工藝中也很常見。
2023-06-15 17:51:571177

北成新控丨哈默納科Harmonic執(zhí)行器在半導(dǎo)體CMP設(shè)備中的應(yīng)用

北方某客戶在CMP設(shè)備使用了哈默納科執(zhí)行器SHA、RSF、HMA和FHA系列產(chǎn)品,滿足了客戶對(duì)于提高控制精度,高速定位,緊湊安裝空間的需求。
2023-06-14 09:48:39327

基于深度強(qiáng)化學(xué)習(xí)的視覺反饋機(jī)械臂抓取系統(tǒng)

機(jī)械臂抓取擺放及堆疊物體是智能工廠流水線上常見的工序,可以有效的提升生產(chǎn)效率,本文針對(duì)機(jī)械臂的抓取擺放、抓取堆疊等常見任務(wù),結(jié)合深度強(qiáng)化學(xué)習(xí)及視覺反饋,采用AprilTag視覺標(biāo)簽、后視經(jīng)驗(yàn)回放機(jī)制
2023-06-12 11:25:221214

電路板電鍍中4種特殊的電鍍方法

。常將金鍍?cè)趦?nèi)層鍍層為鎳的板邊連接器突出觸頭上,金手指或板邊突出部分采用手工或自動(dòng)電鍍技術(shù),目前接觸插頭或金手指上的鍍金已被鍍姥、鍍鉛、鍍鈕所代替。其工藝如下所述: 1)剝除涂層去除突出觸點(diǎn)上的錫或錫
2023-06-12 10:18:18

一文讀懂CMP拋光

在現(xiàn)代工業(yè)中,表面加工是至關(guān)重要的一環(huán)。為了達(dá)到所需的表面粗糙度、光潔度和平整度等要求,往往需要進(jìn)行拋光處理。
2023-06-08 11:13:552653

藍(lán)寶石在化學(xué)機(jī)械拋光過程中的材料去除機(jī)理

化學(xué)腐蝕點(diǎn)處的濃度越高,腐蝕速率越快。在拋光過程中拋光液持續(xù)流動(dòng),我們假設(shè)在腐蝕點(diǎn)處的濃度可以保持初始時(shí)的濃度,腐蝕率以最快的速度發(fā)生,則拋光液不同的PH值對(duì)應(yīng)一個(gè)腐蝕率,由此可見,去除速率與PH值有關(guān),PH越高,速率越快。
2023-06-02 15:24:06347

碳化硅晶片的超精密拋光工藝

使用化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)方法對(duì)碳化硅晶片進(jìn)行了超精密拋光試驗(yàn),探究了滴液速率、拋光頭轉(zhuǎn) 速、拋光壓力、拋光時(shí)長(zhǎng)及晶片吸附方式等工藝參數(shù)對(duì)晶片表面粗糙度的影響,并對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化,最終 得到了表面粗糙度低于0.1 nm的原子級(jí)光滑碳化硅晶片。
2023-05-31 10:30:062215

淺談蝕刻工藝開發(fā)的三個(gè)階段

納米片工藝流程中最關(guān)鍵的蝕刻步驟包括虛擬柵極蝕刻、各向異性柱蝕刻、各向同性間隔蝕刻和通道釋放步驟。通過硅和 SiGe 交替層的剖面蝕刻是各向異性的,并使用氟化化學(xué)。優(yōu)化內(nèi)部間隔蝕刻(壓痕)和通道釋放步驟,以極低的硅損失去除 SiGe。
2023-05-30 15:14:111071

半導(dǎo)體工藝裝備現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)

集成電路前道工藝及對(duì)應(yīng)設(shè)備主要分八大類,包括光刻(光刻機(jī))、刻蝕(刻蝕機(jī))、薄膜生長(zhǎng)(PVD-物理氣相沉積、CVD-化學(xué)氣相沉積等薄膜設(shè)備)、擴(kuò)散(擴(kuò)散爐)、離子注入(離子注入機(jī))、平坦化(CMP設(shè)備)、金屬化(ECD設(shè)備)、濕法工藝(濕法工藝設(shè)備)等。
2023-05-30 10:47:121131

圖文詳解表面處理工藝流程

表面處理是在基體材料表面上人工形成一層與基體的機(jī)械、物理和化學(xué)性能不同的表層的工藝方法。
2023-05-22 11:07:221514

激光與碳化硅相互作用的機(jī)理及應(yīng)用

本文介紹了激光在碳化硅(SiC)半導(dǎo)體晶圓制程中的應(yīng)用,概括講述了激光與碳化硅相互作用的機(jī)理,并重點(diǎn)對(duì)碳化硅晶圓激光標(biāo)記、背金激光表切去除、晶粒隱切分片的應(yīng)用進(jìn)行了介紹。
2023-05-17 14:39:041222

硅晶片的酸基蝕刻:傳質(zhì)和動(dòng)力學(xué)效應(yīng)

拋光硅晶片是通過各種機(jī)械化學(xué)工藝制備的。首先,硅單晶錠被切成圓盤(晶片),然后是一個(gè)稱為拍打的扁平過程,包括使用磨料清洗晶片。通過蝕刻消除了以往成形過程中引起的機(jī)械損傷,蝕刻之后是各種單元操作,如拋光和清洗之前,它已經(jīng)準(zhǔn)備好為設(shè)備制造。
2023-05-16 10:03:00584

什么是晶圓清洗

晶圓清洗工藝的目的是在不改變或損壞晶圓表面或基板的情況下去除化學(xué)雜質(zhì)和顆粒雜質(zhì)。晶圓表面必須保持不受影響,這樣粗糙、腐蝕或點(diǎn)蝕會(huì)抵消晶圓清潔過程的結(jié)果
2023-05-11 22:03:03783

如何讓自動(dòng)拋光設(shè)備達(dá)到理想的拋光效果

一、自動(dòng)拋光機(jī)的拋光效果因素自動(dòng)拋光機(jī)的拋光效果取決于多個(gè)因素,除了自動(dòng)拋光機(jī)本身的質(zhì)量以外,還包括使用工藝、選用什么樣的拋光輔料,要拋光物件材質(zhì),操作者的經(jīng)驗(yàn)技術(shù)等,在條件都合適的情況下,自動(dòng)
2023-05-05 09:57:03535

PCB工藝設(shè)計(jì)要考慮的基本問題

手機(jī)板)的板,就一定要采用化學(xué)鍍鎳/金工藝(Et.Ni5.Au0.1)。有的廠家也采用整板鍍金工藝(Ep.Ni5.Au0.05)處理。前者表面更平整,鍍層厚度更均勻、更耐焊,而后者便宜、亮度好。   從
2023-04-25 16:52:12

《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》III-V族化學(xué)-機(jī)械拋光工藝開發(fā)

書籍:《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》 文章:III-V族化學(xué)-機(jī)械拋光工藝開發(fā) 編號(hào):JFKJ-21-214 作者:炬豐科技 摘要 ? III-V材料與絕緣子上硅平臺(tái)的混合集成是一種很有前景的技術(shù)
2023-04-18 10:05:00151

從半導(dǎo)體原材料到拋光晶片的基本工藝流程

 半導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體器件在世界電子工業(yè)發(fā)展扮演的角色我們前幾天已經(jīng)聊過了。而往往身為使用者的我們都不太會(huì)去關(guān)注它成品之前的過程,接下來我們就聊聊其工藝流程。今天我們來聊聊如何從原材料到拋光晶片的那些事兒。
2023-04-14 14:37:502034

通過物聯(lián)網(wǎng)網(wǎng)關(guān)實(shí)現(xiàn)拋光設(shè)備數(shù)據(jù)采集遠(yuǎn)程監(jiān)控

設(shè)備所替代。 自動(dòng)化拋光設(shè)備一般是針對(duì)特定工藝特定工件而設(shè)計(jì)的非標(biāo)設(shè)備,可以進(jìn)行高效率的拋光打磨工作,常見的設(shè)備便是工業(yè)機(jī)器人。物通博聯(lián)工業(yè)智能網(wǎng)關(guān)可以采集各類打磨拋光設(shè)備、工業(yè)機(jī)器人內(nèi)的控制器PLC數(shù)據(jù),將各
2023-04-14 10:21:59338

超精密拋光技術(shù),不簡(jiǎn)單!

很早以前看過這樣一個(gè)報(bào)道:德國(guó)、日本等國(guó)家的科學(xué)家耗時(shí)5年時(shí)間,花了近千萬元打造了一個(gè)高純度的硅-28材料制成的圓球,這個(gè)1kg純硅球要求超精密加工研磨拋光、精密測(cè)量(球面度、粗糙度和質(zhì)量),可謂
2023-04-13 14:24:341685

CMP0603AFX-3300ELF

CMP0603AFX-3300ELF
2023-04-06 23:30:58

CMP1206-FX-5100ELF

CMP1206-FX-5100ELF
2023-04-06 23:30:40

CMP0603-FX-1004ELF

CMP0603-FX-1004ELF
2023-04-06 23:29:30

濕清洗過程中硅晶片表面顆粒去除

在整個(gè)晶圓加工過程中,仔細(xì)維護(hù)清潔的晶圓表面對(duì)于在半導(dǎo)體器件制造中獲得高產(chǎn)量至關(guān)重要。因此,濕式化學(xué)清洗以去除晶片表面的污染物是任何LSI制造序列中應(yīng)用最重復(fù)的處理步驟。
2023-03-30 10:00:091940

PCB加工的蝕刻工藝

印刷線路板從光板到顯出線路圖形的過程是一個(gè)比較復(fù)雜的物理和化學(xué)反應(yīng)的過程,本文就對(duì)其最后的一步--蝕刻進(jìn)行解析。目前,印刷電路板(PCB)加工的典型工藝采用"圖形電鍍法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

鋰離子電池負(fù)極衰減機(jī)理研究進(jìn)展

。 因此,關(guān)于負(fù)極衰減機(jī)理研究的多是關(guān)于石墨材料的衰減機(jī)理。 電池容量的衰減包括存儲(chǔ)及使用時(shí)的衰減,存儲(chǔ)時(shí)的衰減通常與電化學(xué)性能參數(shù)變化(阻抗等)有關(guān),使用時(shí)除電化學(xué)性能變化外, 還伴隨有結(jié)構(gòu)等機(jī)械應(yīng)力的變化、析鋰等現(xiàn)象。
2023-03-27 10:40:52538

被卡脖子的半導(dǎo)體材料(萬字深度報(bào)告)

根據(jù)SEMI數(shù)據(jù),2020年全球晶圓制造材料中,硅片占比最高,為35%;電子氣體排名第2,占比13%;掩膜版排名第3,占比12%,光刻膠占比6%;光刻膠配套材料占比8% ;濕電子化學(xué)品占比7%;CMP拋光材料占比6%;靶材占比2%。
2023-03-25 09:30:544119

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