AMOLED制造工藝流程主要可分為背板段、前板段以及模組段三道工藝。
背板段工藝主要通過成膜,曝光,蝕刻疊加不同圖形不同材質(zhì)的膜層以形成LTPS(低溫多晶硅)驅(qū)動電路,其為發(fā)光器件提供點亮信號以及穩(wěn)定的電源輸入。
前板段工藝是整個AMOLED工藝中的最重要的環(huán)節(jié),通過高精度金屬掩膜板(FMM)將有機(jī)發(fā)光材料以及陰極等材料蒸鍍在背板上,與驅(qū)動電路結(jié)合形成發(fā)光器件,再在無氧環(huán)境中進(jìn)行封裝以起到保護(hù)作用,蒸鍍之后對AMOLED進(jìn)行功能性和外觀性的檢測以及偏光片的貼附, 最后進(jìn)入模組段工藝。
模組段工藝是制作AMOLED面板所進(jìn)行的最后一道工序,同時也是檢測AMOLED面板品質(zhì)的最后一道環(huán)節(jié),是將封裝完畢的面板切割成實際產(chǎn)品大小,之后再進(jìn)行偏光片貼附、控制線路與芯片貼合等各項工藝,并進(jìn)行老化測試以及產(chǎn)品包裝,最終呈現(xiàn)為客戶手中的產(chǎn)品,在進(jìn)行檢測時,一般都選用大電流彈片微針模組作為連接導(dǎo)通測試模組,可有效的提高測試效率。
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