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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>測試測量論文>微機(jī)械電容式加速度計(jì)檢測電路設(shè)計(jì)

      微機(jī)械電容式加速度計(jì)檢測電路設(shè)計(jì)

      2010-08-17 | rar | 308 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      通過對MEMs電容式加速度計(jì)的差分電容檢測電路優(yōu)缺點(diǎn)的比較，結(jié)合直流充放電檢測方法和
      交流測量方法的優(yōu)點(diǎn)，設(shè)計(jì)了微分檢測電路，用方波作為載波。該電路由方波信號發(fā)生器、微分電路、全波
      整流電路和濾波電路組成。經(jīng)試驗(yàn)驗(yàn)證：可檢測到lO。6 F的差分電容，且其非線性度小于±l％Fs，可作
      為MEMS電容式加速度計(jì)的后續(xù)處理電路。
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