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齒式微機械加速度計是一種敏感電容極板間距變化的電容式傳感器，通過靜電力反饋構(gòu)成力平衡式的閉環(huán)
系統(tǒng)。為了滿足穩(wěn)定性、快速性等要求，需要采用校正電路。但在工程中，由于微機械加工工藝不穩(wěn)定，造成微機
械表頭性能具有較大的離散性。本文根據(jù)控制理論結(jié)合工程試驗，給出了針對不同參數(shù)進行表頭校正電路設計的方
法。其主要內(nèi)容是通過微機械表頭的轉(zhuǎn)角頻率和低頻增益對敏感結(jié)構(gòu)進行分類校正，使系統(tǒng)在滿足帶寬的前提下在
全量程范圍內(nèi)具有要有良好的穩(wěn)定裕量。并且為了適應工程應用，電路采用兩級運放的簡單形式，為電路冗余設計
提供了方便。通過較多數(shù)量的試驗驗證，此種方法對閉環(huán)系統(tǒng)的穩(wěn)定性、帶寬有很好的控制作用。
系統(tǒng)。為了滿足穩(wěn)定性、快速性等要求，需要采用校正電路。但在工程中，由于微機械加工工藝不穩(wěn)定，造成微機
械表頭性能具有較大的離散性。本文根據(jù)控制理論結(jié)合工程試驗，給出了針對不同參數(shù)進行表頭校正電路設計的方
法。其主要內(nèi)容是通過微機械表頭的轉(zhuǎn)角頻率和低頻增益對敏感結(jié)構(gòu)進行分類校正，使系統(tǒng)在滿足帶寬的前提下在
全量程范圍內(nèi)具有要有良好的穩(wěn)定裕量。并且為了適應工程應用，電路采用兩級運放的簡單形式，為電路冗余設計
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