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      電子發(fā)燒友網>電子資料下載>電子論文>測試測量論文>叉指微加速度計的設計與閉環(huán)檢測研究

      叉指微加速度計的設計與閉環(huán)檢測研究

      2009-11-26 | rar | 225 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      設計了一種“叉指式”微機械加速度計和相應的閉環(huán)檢測電路，介紹了此微加速度計的加工工藝，并使用Ansys 軟件進行了模態(tài)分析和機械分析,仿真結果跟理論計算相吻合。最后對該閉環(huán)微加速度計進行了測試，得到的測量線性度為2.5%，刻度因子為3V/g。
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