MEMS加速度計性能成熟

本文回顧了展示MEMS技術(shù)發(fā)展和性能水平的數(shù)據(jù)，將其與市售壓電（PZT）狀態(tài)監(jiān)測加速度計進行比較。

對MEMS工藝技術(shù)的投資，加上設(shè)計創(chuàng)新，極大地提高了MEMS性能，足以使MEMS成為更廣泛的狀態(tài)監(jiān)測應用的可行選擇?，F(xiàn)在，通過專門的MEMS結(jié)構(gòu)和工藝技術(shù)，可以提高諧振頻率高達50 kHz，噪聲密度水平低至25 μg √Hz的加速度計。信號調(diào)理電子元件的精心設(shè)計充分利用了這些新型加速度計的低布朗運動噪聲。

圖1.新型高頻加速度計的噪聲頻譜密度圖。

性能和比較數(shù)據(jù)

為了評估最新的MEMS加速度計是否適合狀態(tài)監(jiān)測應用，測量與市售的PZT型狀態(tài)監(jiān)測加速度計并行進行。為了確保兩個傳感器具有相似的質(zhì)量并受到相同的刺激，MEMS傳感器被粘附在PZT傳感器的情況下。MEMS加速度計的單電源模擬輸出直接輸入到與PZT傳感器相同的數(shù)據(jù)記錄器的模擬輸入通道中。數(shù)據(jù)采集儀器（DAQ）被用作這些實驗的采集系統(tǒng)。

電機錯位仿真

在振動測試儀上重現(xiàn)了真實場景，例如基于振動的狀態(tài)監(jiān)測中描述的場景，以比較使用已知刺激的設(shè)備。此示例概述了以 5100 rpm （85 Hz） 運行的燃氣輪機和以 3000 rpm （50 Hz） 運行的同步發(fā)電機未對準的振動水平。該場景描述了使用隨機振動測試模式對振動系統(tǒng)進行編程以產(chǎn)生的頻率和振幅。表1列出了兩種器件在目標頻率下的幅度測量結(jié)果。

表 1.電機未對中模擬設(shè)定點

圖2顯示了諧振頻率為21 kHz的MEMS加速度計和諧振頻率為25 kHz的PZT傳感器測量的結(jié)果頻譜。MEMS加速度計在1 kHz至10 kHz頻段內(nèi)的均方根（rms）輸出比PZT加速度計高約30 mg，即1.7%。

圖2

圖2.PZT加速度計（上）和MEMS加速度計（下）的噪聲密度譜;在高達10 kHz時，結(jié)果幾乎相同，但MEMS加速度計的低頻響應存在關(guān)鍵差異。

與PZT器件不同，MEMS器件具有低頻響應，在0.1 Hz時為1/f，這對于風力渦輪機等極低頻機器（也可以更快地從飽和中恢復）感興趣。由于振動激勵系統(tǒng)的頻率響應在非常低的頻率下滾落，因此通過“敲擊”測試夾具并捕獲由此產(chǎn)生的響應來測試兩個設(shè)備的響應。然后將記錄的時域測量轉(zhuǎn)換為頻域。結(jié)果如圖 3 所示。請注意，MEMS加速度計能夠記錄低至直流的響應。

圖3.兩個加速度計在點擊時的響應比較。

結(jié)論

模擬輸出直接驅(qū)動DAQ的MEMS性能可與PZT傳感器相媲美。這表明MEMS加速度計非常適合重新構(gòu)建狀態(tài)監(jiān)測產(chǎn)品的輸出通道，特別是基于+5 V單電源供電的半導體元件（如無線智能傳感器）的全新概念。

從表面上看，第一代加速度計似乎對這種應用很有吸引力，因為它具有高頻諧振（22 kHz）和±70 g、±250 g和±500 g的高滿量程范圍（FSR）。不幸的是，噪聲水平為4 mg√Hz，對于大多數(shù)狀態(tài)監(jiān)測應用來說，這是不可接受的高。對于比較中使用的第二代器件，噪聲比第一代降低了兩個數(shù)量級，而功率降低到40%。表2總結(jié)了兩款MEMS
加速度計的性能比較，重點介紹了性能的改進。

表 2.用于狀態(tài)監(jiān)測的第一代和第二代MEMS加速度計的主要規(guī)格比較

電子信號調(diào)理專業(yè)知識的融合和高分辨率MEMS加速度計的開發(fā)使性能能夠服務(wù)于狀態(tài)監(jiān)測應用。具有低物理噪聲水平的高頻MEMS加速度計，加上高性能、低噪聲和高穩(wěn)定性的信號處理設(shè)計技術(shù)，解決了以前使MEMS無法提供與當代基于PZT的狀態(tài)監(jiān)測傳感器相媲美的性能的基本限制。

審核編輯：郭婷