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文章針對一種三維MEMS 加速度計，提出了三維加速度計的測試方法，并根據(jù)測試
結(jié)果對此加速度計進行了性能分析。通過對其設(shè)計原理和內(nèi)部結(jié)構(gòu)的描述，指出該型MEMS加速度計的結(jié)構(gòu)優(yōu)點及性能特點。針對該加速度計，作者設(shè)計了測試裝置，制作了測試電路，并在文章中詳細描述了測試原理及整個測試過程。分別在三個方向上，對此三維MEMS 加速度計進行了多次對比測試，同時采集包括標準加速度計輸出和MEMS 加速度計三向輸出在內(nèi)的四路信號，以便進行沖擊方向上兩加速度計的橫向?qū)Ρ群腿騇EMS 加速度計的軸間耦合分析。測試結(jié)果表明，此測試方法和裝置是可靠有效的，且具有一定的通用性可用于其它類似傳感器的測試分析中。
結(jié)果對此加速度計進行了性能分析。通過對其設(shè)計原理和內(nèi)部結(jié)構(gòu)的描述，指出該型MEMS加速度計的結(jié)構(gòu)優(yōu)點及性能特點。針對該加速度計，作者設(shè)計了測試裝置，制作了測試電路，并在文章中詳細描述了測試原理及整個測試過程。分別在三個方向上，對此三維MEMS 加速度計進行了多次對比測試，同時采集包括標準加速度計輸出和MEMS 加速度計三向輸出在內(nèi)的四路信號，以便進行沖擊方向上兩加速度計的橫向?qū)Ρ群腿騇EMS 加速度計的軸間耦合分析。測試結(jié)果表明，此測試方法和裝置是可靠有效的，且具有一定的通用性可用于其它類似傳感器的測試分析中。
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