中國(guó)大陸關(guān)于MEMS和NEMS的發(fā)展情況

　　MEMS/NEMS在全球蓬勃發(fā)展，中國(guó)大陸作為一個(gè)重要的市場(chǎng)也必然有迅速的發(fā)展。本站首次對(duì)國(guó)內(nèi)知名的MEMS/NEMS企業(yè)做了統(tǒng)計(jì)，以對(duì)行業(yè)發(fā)展?fàn)顩r進(jìn)行初步的分析。本次統(tǒng)計(jì)了28家大陸MEMS研發(fā)企業(yè)，既包括已成立數(shù)十年的老牌公司，也有剛剛成立的新銳公司，遍及8個(gè)省級(jí)行政區(qū)。

　　地域分布

　　北京、陜西和江蘇是MEMS/NEMS企業(yè)最多的省/直轄市，上海、重慶也有較多企業(yè)。山東、河北、遼寧和廣東四省也有相關(guān)企業(yè)。

　　北京地區(qū)的高校和研究所眾多，科研實(shí)力雄厚，從事MEMS/NEMS研發(fā)起步較早，而且政府和有關(guān)高校對(duì)于科技研究的產(chǎn)業(yè)化也給與大力支持。

　　陜西省教育、科研和工業(yè)實(shí)力在西部地區(qū)排名前列，有為數(shù)眾多的高校和研究所，還擁有航空研發(fā)和制造基地，包括多家著名的飛機(jī)設(shè)計(jì)所和飛機(jī)制造公司，這些都為MEMS/NEMS企業(yè)的發(fā)展提供了很好的機(jī)會(huì)。

　　江蘇省位于東部沿海，財(cái)力雄厚，科技發(fā)展速度快，整體科技和工業(yè)水平均較高。而且江蘇省各地政府部門對(duì)于高新技術(shù)發(fā)展支持力度很大，蘇州市著力打造蘇州工業(yè)園區(qū)生物納米科技園，希望使其成為生物科技的創(chuàng)新平臺(tái)。無錫市積極建設(shè)中國(guó)微納國(guó)際創(chuàng)新園，并將微納米產(chǎn)業(yè)作為重點(diǎn)發(fā)展對(duì)象。

　　上海市也是院校和科研院所云集，人才濟(jì)濟(jì)。位于長(zhǎng)三角的核心地帶，產(chǎn)業(yè)發(fā)展的相關(guān)條件都十分優(yōu)越。重慶科研院校為數(shù)不少，工業(yè)基礎(chǔ)好，有多家老牌的儀器儀表企業(yè)，政府亦十分關(guān)注MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展并作出了很多努力。

　　簡(jiǎn)評(píng)： 這些省市境內(nèi)一般都有眾多的知名高校和研究所，科技實(shí)力領(lǐng)先；地方政府對(duì)于科技發(fā)展確實(shí)重視，有相應(yīng)的政策和措施來支持微納產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

　　產(chǎn)品類型

　　首先關(guān)注兩家加工設(shè)備提供商，其中北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司的背景是七星華電科技集團(tuán)，歷史可以追溯到原700廠、706廠、707廠、718廠、797廠、798廠六家國(guó)家骨干電子企業(yè)，研發(fā)實(shí)力為國(guó)內(nèi)最強(qiáng)。另一家設(shè)備商–創(chuàng)威納科技有限公司的主要技術(shù)人員曾在中國(guó)科學(xué)院微電子中心、清華大學(xué)等單位長(zhǎng)期從事半導(dǎo)體設(shè)備及工藝研究工作，具有較強(qiáng)的產(chǎn)品研發(fā)實(shí)力。加工設(shè)備是行業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)設(shè)備，為了給為國(guó)內(nèi)企業(yè)提供持久的技術(shù)支持，自主研發(fā)加工設(shè)備是必由之路。我們期待未來將會(huì)有越來越多的自主設(shè)備出現(xiàn)在工藝線上。

　　在MEMS/NEMS器件及系統(tǒng)方面，當(dāng)前主要產(chǎn)品包括：壓力傳感器、慣性傳感器、聲學(xué)傳感器、地震檢波器、生物芯片、微流體芯片、微內(nèi)窺鏡。

　　研發(fā)壓力傳感器的單位眾多，這也與壓力傳感器在國(guó)內(nèi)研究起步較早有重要關(guān)系。在此要重點(diǎn)提到的是寶雞秦明傳感器有限公司，其研發(fā)部門前身為寶雞傳感器研究所，是國(guó)內(nèi)最早開展微壓力傳感器研究的單位之一，并且?guī)?dòng)了多家企業(yè)，例如位于江蘇的昆山雙橋傳感器測(cè)控技術(shù)有限公司就與寶雞傳感器研究所頗有淵源。壓力傳感器發(fā)展迅速也與市場(chǎng)的巨大需求分不開，廣泛用于工業(yè)領(lǐng)域的測(cè)試控制、醫(yī)療領(lǐng)域、汽車領(lǐng)域，在未來幾年市場(chǎng)還將迎來更大的發(fā)展，例如輪胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)（TPMS）。

　　慣性傳感器一直是MEMS產(chǎn)業(yè)的重要推動(dòng)力量，在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)也是如此。北京、河北、陜西、上海均有進(jìn)行慣性MEMS研發(fā)和生產(chǎn)的單位。在此要重點(diǎn)關(guān)注的是陜西省，其境內(nèi)有眾多企業(yè)均從事慣性MEMS研發(fā)，例如業(yè)內(nèi)頗具名氣的西安中星測(cè)控有限公司。這與陜西省的科技發(fā)展歷史有關(guān)，陜西是重要的航空研發(fā)/生產(chǎn)基地，包括中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司第一飛機(jī)設(shè)計(jì)研究院、西安飛機(jī)工業(yè)（集團(tuán)）有限責(zé)任公司和陜西飛機(jī)工業(yè)（集團(tuán)）有限公司等。目前國(guó)內(nèi)的慣性MEMS在性價(jià)比和精度、量程等方面還需提高，以增強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)力。

　　聲學(xué)傳感器方面，主要有兩家企業(yè)：位于山東的歌爾聲學(xué)股份有限公司和蘇州敏芯微電子技術(shù)有限公司。業(yè)已上市的哥爾聲學(xué)致力于電聲行業(yè)微型電聲元器件和消費(fèi)類電聲產(chǎn)品的研發(fā)和制造，主要產(chǎn)品包括微型麥克風(fēng)、微型揚(yáng)聲器/受話器等。蘇州敏芯成立時(shí)間較短，但較為活躍，目前主要產(chǎn)品是微型硅麥克風(fēng)芯片。

　　地震檢波器在礦產(chǎn)勘探方面應(yīng)用廣泛，MEMS檢波器以高性價(jià)比正逐步獲得更多市場(chǎng)份額。 威海雙豐電子集團(tuán)有限公司和西安思坦地震技術(shù)有限公司致力于這方面的研究，經(jīng)過十多年的發(fā)展已發(fā)展了多類產(chǎn)品并應(yīng)用。

　　生物醫(yī)療領(lǐng)域也有數(shù)家企業(yè)具有相當(dāng)實(shí)力。博奧生物有限公司已經(jīng)研發(fā)出了多種生物芯片及芯片實(shí)驗(yàn)室，在國(guó)內(nèi)外均有較高的知名度。博奧生物以清華大學(xué)、中國(guó)醫(yī)學(xué)科學(xué)院等科研單位為技術(shù)依托，研發(fā)實(shí)力當(dāng)屬一流，但是當(dāng)前國(guó)外相關(guān)企業(yè)也很多，競(jìng)爭(zhēng)亦很激烈。重慶金山科技（集團(tuán)）有限公司的拳頭產(chǎn)品是基于MEMS技術(shù)的膠囊內(nèi)窺鏡和硅微型泵，其中膠囊內(nèi)窺鏡項(xiàng)目技術(shù)達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先。

　　簡(jiǎn)評(píng)：產(chǎn)品種類比較少，主要還是慣性器件和壓力傳感器，而且多是中低端產(chǎn)品。一方面這與市場(chǎng)的需求導(dǎo)向有關(guān)，另一方面這也反映了國(guó)內(nèi)MEMS/NEMS企業(yè)的一個(gè)弱點(diǎn)—總體上研發(fā)實(shí)力不夠，創(chuàng)新性強(qiáng)的新器件、新系統(tǒng)鮮有出現(xiàn)。重慶金山科技的膠囊內(nèi)窺鏡在這方面表現(xiàn)可圈可點(diǎn)，值得借鑒和學(xué)習(xí)。

　　公司規(guī)模/注冊(cè)資本/營(yíng)業(yè)額

　　注冊(cè)資本能在一定程度上反映企業(yè)的投資規(guī)模和實(shí)力，我們對(duì)比了能從22家MEMS企業(yè)的注冊(cè)資本，以從一個(gè)方面反映國(guó)內(nèi)MEMS企業(yè)的發(fā)展?fàn)顩r。從圖中可以看出，大部分MEMS企業(yè)的注冊(cè)資本在5000萬(wàn)以下（占82%），其中注冊(cè)資本在500萬(wàn)以下的約占36%，注冊(cè)資本在1000萬(wàn)-5000萬(wàn)（不含）的占36%，說明中國(guó)大陸的MEMS企業(yè)主要是中小企業(yè)。注冊(cè)資本在1億以上的共有三家，北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司、北京博奧生物芯片有限公司和歌爾聲學(xué)股份有限公司，注冊(cè)資本分別為9億、3.765億和1.2億人民幣。以上三家企業(yè)在各自領(lǐng)域都是佼佼者。

　　總體來看，中國(guó)大陸的MEMS企業(yè)還有很大的發(fā)展?jié)摿?。身處全球最大的MEMS市場(chǎng)，國(guó)內(nèi)的MEMS企業(yè)有著顯著的市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)，而現(xiàn)有的企業(yè)數(shù)量和發(fā)展規(guī)模與巨大的市場(chǎng)很不相稱。

　　研發(fā)類型

　　MEMS是一項(xiàng)新興的技術(shù)，最初多來自高校和研究所，或是國(guó)企，因此走向產(chǎn)業(yè)化的MEMS企業(yè)也與高校和研究所有著千絲萬(wàn)縷的聯(lián)系。我們將中國(guó)大陸的MEMS企業(yè)的發(fā)展類型分為三種：源自高校和研究所，源自國(guó)企，自主研發(fā)。

　　1.源自大學(xué)、研究所

　　◆ 北京青鳥元芯

　　以“北京大學(xué)微電子學(xué)研究院“和“微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室“為技術(shù)依托。

　　◆ 博奧生物

　　以清華大學(xué)、中國(guó)醫(yī)學(xué)科學(xué)院等科研單位為技術(shù)依托，是生物芯片北京國(guó)家工程研究中心。

　　◆ 西安維納信息測(cè)控有限公司

　　以西安交通大學(xué)為技術(shù)依托。

　　◆ 上海芯敏微系統(tǒng)技術(shù)有限公司

　　以中科院上海微系統(tǒng)所傳感技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室為依托。

　　◆ 沈陽(yáng)匯博實(shí)業(yè)公司

　　以沈陽(yáng)儀器儀表工藝研究所為依托。

　　◆ 北京創(chuàng)威納科技有限公司

　　主要技術(shù)人員曾在中國(guó)科學(xué)院微電子中心、清華大學(xué)等單位長(zhǎng)期從事半導(dǎo)體設(shè)備及工藝研究工作。

　　◆ 歌爾聲學(xué)股份有限公司

　　與中科院聲學(xué)所、北京郵電大學(xué)等國(guó)內(nèi)外多家知名高校和科研機(jī)構(gòu)建立了長(zhǎng)期的戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系。

　　2.源自國(guó)企

　　◆ 七星華創(chuàng)

　　北京七星華電科技集團(tuán)有限責(zé)任公司，是在原七○○廠、七○六廠、七○七廠、七一八廠、七九七廠、七九八廠六家建于“一五”期間的國(guó)家骨干電子企業(yè)的基礎(chǔ)上，重組、改制而成的高科技企業(yè)集團(tuán)。

　　◆ 寶雞秦明傳感器有限公司

　　是我國(guó)第一個(gè)專業(yè)化生產(chǎn)壓阻壓力傳感器技術(shù)研究開拓者之一，中國(guó)第一個(gè)傳感器專業(yè)研究所—寶雞傳感器研究所是其開發(fā)研究中心，是集科研，生產(chǎn)，銷售為一體的國(guó)有企業(yè)。

　　◆ 昆山雙橋傳感器有限公司

　　其總經(jīng)理王總原任寶雞秦嶺晶體廠總工程師，寶雞傳感器研究所所長(zhǎng)。

　　3.自主研發(fā)/歸國(guó)創(chuàng)業(yè)

　　◆ 重慶金山科技（集團(tuán)）有限公司

　　自主研發(fā)。

　　◆ 蘇州敏芯微電子技術(shù)有限公司

　　海外留學(xué)人員創(chuàng)業(yè)。

　　◆ 深迪半導(dǎo)體（上海）有限公司

　　海外歸國(guó)人員創(chuàng)業(yè)。

　　總體來說，目前國(guó)內(nèi)的MEMS企業(yè)的研發(fā)大多是依托高校、研究所，或者本身就是具有研發(fā)能力的國(guó)有企業(yè)。近年來海外留學(xué)人員歸國(guó)創(chuàng)立的MEMS企業(yè)也越來越多。自主研發(fā)的民企中，重慶金山是出色的代表，其標(biāo)志產(chǎn)品“膠囊內(nèi)窺鏡”即為其自主研發(fā)。我們也希望看到越來越多的有特色的MEMS企業(yè)涌現(xiàn)。