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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>介觀壓阻效應(yīng)在硅微加速度計(jì)中的應(yīng)用

      介觀壓阻效應(yīng)在硅微加速度計(jì)中的應(yīng)用

      2009-11-26 | rar | 223 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      為了突破傳統(tǒng)機(jī)電轉(zhuǎn)換局限，提高加速度計(jì)靈敏度，提出以介觀壓阻效應(yīng)為工作原理制作高靈敏度的硅微加速度計(jì)，基于這種原理設(shè)計(jì)一種四梁島結(jié)構(gòu)，通過理論分析與仿真計(jì)算，得出該結(jié)構(gòu)在1gn輸入下的輸出，并對(duì)介觀壓阻靈敏度和壓阻靈敏度的量級(jí)作出了比較，從理論上驗(yàn)證了采用介觀壓阻效應(yīng)制作高靈敏度傳感器的可行性，為此類加速度計(jì)的設(shè)計(jì)提供參考。
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