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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>一種新型單晶硅SO I高溫壓力傳感器

      一種新型單晶硅SO I高溫壓力傳感器

      2009-07-03 | rar | 199 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      單晶硅SO I 高溫壓力傳感器是一種新型高性能高溫壓力傳感器。它與擴散硅壓力傳感器相比有較高的工作溫度, 與多晶硅高溫壓力傳感器相比有更高的工作靈敏度。這主要得益于它采用了單晶硅膜的SO I 結(jié)構(gòu)。本文給出了這種壓力傳感器的工藝生產(chǎn)過程, 并相對深入地討論了各向異性腐蝕硅杯和靜電封接這兩道工序。介紹了此種壓力傳感器的工作原理。最后給出了測試結(jié)果及結(jié)論。
      關(guān)鍵詞: 單晶硅SO I 結(jié)構(gòu); 靈敏度; 高溫壓力傳感器
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