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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>一種硅微諧振式壓力傳感器的敏感膜片設(shè)計(jì)

      一種硅微諧振式壓力傳感器的敏感膜片設(shè)計(jì)

      2010-10-14 | rar | 480 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      根據(jù)正方形膜片的變形和應(yīng)力分布情況，提出了一種硅微諧振式壓力傳感器敏感膜片的設(shè)計(jì)方法，設(shè)計(jì)了兩種正方
      形間接連接式壓力敏感膜片．在相同的膜片面積下，新膜片與原有矩形間接連接式壓力敏感膜片性能相近，為內(nèi)部諧振器的
      多樣化提供了基礎(chǔ)．最后，就壓力敏感膜片的工藝設(shè)計(jì)進(jìn)行了探討，認(rèn)為采用正方形凸角補(bǔ)償結(jié)構(gòu)的(110>硅島和采用邊長(zhǎng)補(bǔ)
      償?shù)?100>硅島最適合間接連接式壓力敏感膜片．
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