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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>一種齊平封裝的MEMS高頻響壓力傳感器

      一種齊平封裝的MEMS高頻響壓力傳感器

      2011-06-10 | pdf | 390 KB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      ?

      設(shè)計(jì)了一種耐高溫、高頻響壓力傳感器芯片，解決了軍事爆破工程實(shí)際中需要在高溫環(huán)境中不失真地測量一些變化頻率高、壓力波形上升快陡的動(dòng)態(tài)壓力．基于硅隔離ＳＯＩ（絕緣體上的硅）技術(shù)和ＭＥＭＳ（微型機(jī)械電子系統(tǒng)）技術(shù)，利用ＡＮＳＹＳ對它們進(jìn)行了量程和固有頻率的模擬，并分析計(jì)算了加速度靈敏度．對它們進(jìn)行了齊平結(jié)構(gòu)的封裝，避免了管腔效應(yīng)的影響，得到了一種耐高溫、高頻響的壓力傳感器．對其中１ＭＰａ量程的壓力傳感器進(jìn)行了動(dòng)態(tài)標(biāo)定，通過激波管的試驗(yàn)，得到１ＭＰａ壓力傳感器的響應(yīng)頻率為１４７ｋＨｚ，滿足工程實(shí)際中的應(yīng)用．
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