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硅基光波導壓力傳感器由于具有靈敏度高、耐高溫、抗電磁場干擾能力強、微型等優(yōu)點,特別適合于在特殊環(huán)境中的應(yīng)用。簡要介紹了全反射光波導和抗共振反射光波導壓力傳感器的結(jié)構(gòu)特點、工作原理及其研究現(xiàn)狀。
關(guān)鍵詞: 壓力傳感器; 硅; 光波導; 抗共振反射
Abstract : Si2based optical waveguide pressure sensors can be applied in special environment because of their high sensitivity , ability to withstand high temperature ,immunity to electromagnetic interference and miniaturization. The structures ,characteristics , operating principles and researches about Si2based total reflecting optical waveg2 uide and antiresonant reflecting optical waveguide pressure sensors are briefly introduced.
Key words : pressure sensors ; silicon ; optical waveguide ; antiresonant reflecting
關(guān)鍵詞: 壓力傳感器; 硅; 光波導; 抗共振反射
Abstract : Si2based optical waveguide pressure sensors can be applied in special environment because of their high sensitivity , ability to withstand high temperature ,immunity to electromagnetic interference and miniaturization. The structures ,characteristics , operating principles and researches about Si2based total reflecting optical waveg2 uide and antiresonant reflecting optical waveguide pressure sensors are briefly introduced.
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