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針對當(dāng)前可延展電子互連結(jié)構(gòu)性能分析復(fù)雜、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不確定性等問題，將國內(nèi)外常用的互連結(jié)構(gòu)圖形進(jìn)行了總結(jié)分析，提出了一種通用互連結(jié)構(gòu)圖形，通過改變該圖形的結(jié)構(gòu)參數(shù)可以變成常用的一些互連結(jié)構(gòu)，在此基礎(chǔ)上基于梁結(jié)構(gòu)理論針對提出的圖形結(jié)構(gòu)，采用能量法推導(dǎo)計(jì)算自由狀態(tài)下通用互連結(jié)構(gòu)的拉伸位移公式和彎曲位移公式，同時(shí)根據(jù)胡克定理結(jié)合推導(dǎo)的位移公式推導(dǎo)出了相應(yīng)的拉伸剛度和彎曲剛度。為了驗(yàn)證該通用互連結(jié)構(gòu)拉伸剛度和彎曲剛度的正確性及通用性，建立了有限元數(shù)值仿真模型進(jìn)行驗(yàn)證。驗(yàn)證結(jié)果表明：該通用互連結(jié)構(gòu)圖形的剛度公式是正確性且具備通用性，金屬導(dǎo)線通用互連結(jié)構(gòu)的延展性起到一定的表征作用，為可延展電子金屬互連導(dǎo)線的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)提供一定參考價(jià)值。
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