離子注入機(jī)的簡易原理圖

原文作者：Tom

本文介紹了離子注入機(jī)的相關(guān)原理。

離子注入機(jī)的原理是什么？

上圖是離子注入機(jī)的簡易原理圖，各部件作用依次為：

Ion Source（離子源）：通過將氣體電離，產(chǎn)生所需的離子類型。 Extraction Voltage（抽取電壓）：將產(chǎn)生的離子從源中抽取出來。 Ion Electrode（離子電極）：形成和控制離子束。 Analyzing Magnet（分析磁鐵）：用于分離出不同荷質(zhì)比的離子，確保只有所需荷質(zhì)比的離子進(jìn)入加速器。 Mass Separation Slit（質(zhì)量分離縫隙）：通過分析磁鐵后所允許的離子的特定荷質(zhì)比范圍。 Acceleration Column（加速柱）：離子繼續(xù)加速到所需的最終能量。 Deflector（偏轉(zhuǎn)器）：用于調(diào)整離子束的路徑，以確保離子精確地打到靶材料上。 Magnetic Quadrupole Lenses（磁性四極透鏡）：用于聚焦離子束，提高注入的精確性。 Electronic Scanning（電子掃描）：控制離子束在靶材料表面的掃描模式，確保均勻注入。 Sample (Base Material)（樣品（基材））：即靶材料，也就是離子要注入的半導(dǎo)體材料。

審核編輯：黃飛