至純科技：下半年訂單飆升，濕法設(shè)備市場領(lǐng)跑

1月11日至純科技發(fā)布公告稱，公司今年新簽訂單額達(dá)132.93億元，同比增長92.48%，連續(xù)五年-十五年長期訂單金額高達(dá)86.61億元。根據(jù)公司之前的數(shù)據(jù)顯示，2023年年中以來新訂單額急劇增加，同比增長超38%。截至2023年6月底，公司在手訂單額53.23億元，其中超過七成來自半導(dǎo)體領(lǐng)域，其余來自泛半導(dǎo)體和生物醫(yī)藥業(yè)。

至純科技旗下的至微科技是國內(nèi)濕法設(shè)備市場主流供應(yīng)商之一，在28納米節(jié)點實現(xiàn)了全覆蓋，全工藝機臺亦均有訂單。在更為尖端的制程中，至微科技已有部分工藝獲得訂單。作為濕法設(shè)備中技術(shù)最為復(fù)雜的設(shè)備，至微科技的S300 SPM機臺現(xiàn)已交付給眾多國內(nèi)龍頭晶圓廠，并成功應(yīng)用于12英寸邏輯量產(chǎn)線，每月產(chǎn)能可達(dá)6萬片次以上。該設(shè)備累計產(chǎn)量已突破20萬片次，是中國高階濕法設(shè)備實現(xiàn)進口替代的重大突破。至微科技也是目前為止，國內(nèi)能達(dá)到上述高端濕法設(shè)備量產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)的獨家企業(yè)。

至純科技在濕法設(shè)備應(yīng)用于成熟制程的產(chǎn)品線擴展穩(wěn)步進行，在部分邏輯用戶和第三代半導(dǎo)體用戶的生產(chǎn)線中的滲透率不斷攀升。雖然在先進制程中的高階產(chǎn)品線受制于用戶擴產(chǎn)進程稍顯滯后，但在高溫硫酸、FINETCH及單片磷酸等技術(shù)仍被國際廠商掌握的領(lǐng)域，至純科技的交付和驗證水平處于全國領(lǐng)先地位。