科友半導(dǎo)體8英寸碳化硅(SiC)中試線在2023年4月正式貫通后,同步推進(jìn)晶體生長(zhǎng)厚度、良率提升和襯底加工產(chǎn)線建設(shè),加快襯底加工設(shè)備調(diào)試與工藝參數(shù)優(yōu)化。
工作人員夜以繼日、分秒必爭(zhēng),SiC襯底加工良率和面型參數(shù)上不斷取得新的進(jìn)展。
2023年9月,科友首批自產(chǎn)8英寸SiC襯底于科友產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)襯底加工車(chē)間成功下線,這標(biāo)志著科友在8英寸SiC襯底加工,以及大尺寸襯底產(chǎn)業(yè)化方面邁出了堅(jiān)實(shí)一步。
審核編輯:劉清
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原文標(biāo)題:恭喜!科友半導(dǎo)體官宣,首批8吋碳化硅襯底下線
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