ASML完成第100臺(tái)EUV光刻機(jī)出貨：2021年產(chǎn)能將大增

目前全球在***制造領(lǐng)域比較領(lǐng)先的只有三家公司，分別為荷蘭的ASML和日本的佳能和尼康。截止2011年，ASML已經(jīng)占到了全球***市場的70以上的市場份額。在7nm和5nm制程領(lǐng)域，ASML是全球唯一一家可以生產(chǎn)相應(yīng)***的公司。換句話說，在最先進(jìn)的***生產(chǎn)領(lǐng)域，ASML達(dá)到了絕對壟斷的地步。

臺(tái)積電和三星均已投入5nm工藝的量產(chǎn)，前者代工的產(chǎn)品包括蘋果A14、M1、華為麒麟9000等，后者則包括Exynos 1080、驍龍888等。其實(shí)從7nm開始，臺(tái)積電和三星就開始引入EUV光刻，但過程層數(shù)較少。按照ASML（阿斯麥）的說法，迭代到5nm后，EUV的層數(shù)達(dá)到了10~14層，包括但不限于觸點(diǎn)、過孔以及關(guān)鍵金屬層等過程。未來的3nm、2nm，對EUV的依賴將更甚。

根據(jù)最新數(shù)據(jù)顯示，ASML在12月中完成了第100臺(tái)EUV***的出貨。更加利好的消息是，業(yè)內(nèi)預(yù)估ASML今年（2021年）的EUV***產(chǎn)能將達(dá)到45~50臺(tái)的規(guī)模。

畢竟，2019年ASML僅出貨了26臺(tái)，去年三季度后全年累計(jì)出貨23臺(tái)（全年預(yù)估35臺(tái)），可謂少得可憐。

另外，ASML定于明年中旬交付最新一代EUV***TWINSCAN NXE:3600D，生產(chǎn)效率提升18%、機(jī)器匹配套準(zhǔn)精度改進(jìn)為1.1nm，單臺(tái)價(jià)格或高于老款的1.2億歐元（約合9.5億元人民幣）。

不少人更加關(guān)心，目前我國的***水平在什么檔次？

據(jù)悉，上海微電子國內(nèi)技術(shù)最先進(jìn)的一家***生產(chǎn)企業(yè)，而2021年才能交付一臺(tái)28nm的***。

目前全球較為領(lǐng)先的芯片就是采用的5nm制程，臺(tái)積電現(xiàn)在已經(jīng)在籌劃3nm技術(shù)的研發(fā)。從28nm發(fā)展到5nm制程中間隔了14nm和7nm，如果說國內(nèi)***兩年可以進(jìn)行一次技術(shù)更新，那也就意味著我們還要經(jīng)過7年時(shí)間才能達(dá)到ASML現(xiàn)在的水平。當(dāng)然，如果我國在研發(fā)人員和研發(fā)資金都投入到位的話，說不定我們可以通過10年左右的時(shí)間努力追平世界最先進(jìn)水平，甚至是超越。

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