英特爾突破技術(shù)壁壘：首臺商用High NA EUV光刻機(jī)成功組裝

在俄勒岡州希爾斯伯勒的英特爾研發(fā)基地，一項歷史性的技術(shù)成就正逐漸浮出水面——業(yè)界首臺商用High NA（高數(shù)值孔徑）極紫外（EUV）光刻機(jī)已成功組裝。這一重要里程碑的達(dá)成，標(biāo)志著英特爾在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的尖端技術(shù)取得了顯著進(jìn)展。

目前，英特爾的研發(fā)團(tuán)隊正致力于對這臺先進(jìn)的ASML TWINSCAN EXE:5000 High NA EUV光刻機(jī)進(jìn)行細(xì)致的校準(zhǔn)工作，以確保其能夠順利融入未來的生產(chǎn)線。這款光刻機(jī)通過優(yōu)化硅晶圓上的光學(xué)投影設(shè)計，極大地提升了下一代處理器的分辨率和功能，為英特爾的工藝技術(shù)注入了新的活力。

談及這一技術(shù)突破，英特爾院士兼相關(guān)技術(shù)研發(fā)部門總監(jiān)Mark Phillips難掩興奮之情。他表示，High NA EUV光刻機(jī)的引入，使得英特爾擁有了業(yè)界領(lǐng)先的光刻技術(shù)，這將極大地推動公司在未來實現(xiàn)超越Intel 18A的工藝能力。

據(jù)了解，ASML的EXE:5000 High NA EUV光刻機(jī)具備令人矚目的8nm分辨率，相比傳統(tǒng)的EUV光刻機(jī)，其物理特征微縮了1.7倍，單次曝光的晶體管密度更是提升了2.9倍。這一重大進(jìn)步意味著芯片制造商能夠簡化制造流程，同時顯著提高生產(chǎn)效率。值得一提的是，EXE:5000光刻機(jī)每小時可完成超過185個晶圓的光刻工作，相比現(xiàn)有的NXE系統(tǒng)，其產(chǎn)能得到了顯著提升。

ASML還計劃推出第二代High NA EUV光刻機(jī)，預(yù)計將在2025年實現(xiàn)每小時220片晶圓的產(chǎn)能。盡管High NA EUV光刻機(jī)的售價高達(dá)3.5億歐元，但其帶來的生產(chǎn)效益和技術(shù)優(yōu)勢使得這一投資變得極具價值。

SML最近在荷蘭總部的High NA實驗室成功打印出了首條10納米密集線，這一成就刷新了EUV光刻機(jī)最高分辨率的世界紀(jì)錄。這一里程碑式的成果驗證了ASML合作伙伴蔡司的創(chuàng)新高數(shù)值孔徑EUV光學(xué)設(shè)計的卓越性能。

英特爾在High NA EUV光刻機(jī)方面的這一重大突破，不僅將極大地提升其自身的工藝能力，更將對整個半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響。