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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>四端硅壓力傳感器輸出電壓的解析模型

      四端硅壓力傳感器輸出電壓的解析模型

      2011-08-18 | pdf | 126 KB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      ?

      本文用攝動法求解了橫向壓阻效應(yīng)四端硅壓力傳感器輸出電壓的兩維偏微分方程, 導(dǎo)出了器件的輸出電壓與器件尺寸的關(guān)系; 證明了隨應(yīng)力而變的輸出電壓最大值在器件橫向L / 2 處, 并給出了最大輸出電壓的解析表達式. 這些解析公式得到的計算結(jié)果, 都和數(shù)值解、實驗數(shù)據(jù)相符合, 說明了得到的公式具有高的精度. 用所給的解析表達式可以很方便地進行器件設(shè)計和模擬.
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