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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>品質(zhì)管理資料>基于熔焊的MEMS真空封裝研究

      基于熔焊的MEMS真空封裝研究

      2010-11-15 | rar | 526 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      摘要：利用傳統(tǒng)的電阻焊技術(shù)實(shí)現(xiàn)了MEMS真空封裝，制定了基于熔焊的工藝路線，進(jìn)行了成品率實(shí)驗(yàn)，研究了影響真空封裝器件的內(nèi)部的真空度的各種因素，并對真空封裝器件封裝強(qiáng)度進(jìn)行了檢測。
      關(guān)鍵詞：真空封裝；MEMS；熔焊
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