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      電子發(fā)燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>MEMS傳感器的封裝

      MEMS傳感器的封裝

      2009-11-16 | rar | 221 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      MEMS作為21世紀的前沿高科技，在產業(yè)化道路上已經發(fā)展了20多年，今天，MEMS產品由于其具有大批量生產、低成本和高性能等特點，已經有了很大的市場，早期的封裝技術大多數是借用半導體集成IC領域中現成的封裝工藝，MEMS產品中，由于各類產品的使用范圍和應用環(huán)境的差異，其封裝也沒有一個統(tǒng)一的形式[1]，應根據具體的使用情況選擇適當的封裝，同時，在MEMS產品的制造過程中，封裝只能單個進行而不能大批量同時生產，因此封裝在MEMS產品總費用中占據70％－80％，封裝技術已成為MEMS生產中的瓶頸。CSP和WLP封裝是MEMS進行批量生產和微型化的主要途徑。
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