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為了實(shí)現(xiàn)液壓系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)測(cè)量，給液壓系統(tǒng)的設(shè)計(jì)以及故障診斷提供理論依據(jù)，在
已經(jīng)設(shè)計(jì)的新型MEMS 流量傳感器的基礎(chǔ)上，對(duì)其結(jié)構(gòu)尺寸進(jìn)行了進(jìn)一步的優(yōu)化，并對(duì)
MEMS 芯體和優(yōu)化后的MEMS 傳感器進(jìn)行靜態(tài)標(biāo)定。對(duì)MEMS 傳感器進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性試驗(yàn)，發(fā)現(xiàn)新型MEMS 傳感器具有低擾動(dòng)、高頻率響應(yīng)等特點(diǎn)，適合液壓系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)測(cè)量。
已經(jīng)設(shè)計(jì)的新型MEMS 流量傳感器的基礎(chǔ)上，對(duì)其結(jié)構(gòu)尺寸進(jìn)行了進(jìn)一步的優(yōu)化，并對(duì)
MEMS 芯體和優(yōu)化后的MEMS 傳感器進(jìn)行靜態(tài)標(biāo)定。對(duì)MEMS 傳感器進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性試驗(yàn)，發(fā)現(xiàn)新型MEMS 傳感器具有低擾動(dòng)、高頻率響應(yīng)等特點(diǎn)，適合液壓系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)測(cè)量。
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