電子發(fā)燒友App

硬聲App

搜索歷史

清空
搜索熱詞
      0
      • 聊天消息
      • 系統(tǒng)消息
      • 評論與回復(fù)
      VIP于 到期 續(xù)費(fèi)
      登錄后你可以
      • 下載海量資料
      • 學(xué)習(xí)在線課程
      • 觀看技術(shù)視頻
      • 寫文章/發(fā)帖/加入社區(qū)
      會員中心
      創(chuàng)作中心
      發(fā)布
      創(chuàng)作活動

      完善資料讓更多小伙伴認(rèn)識你，還能領(lǐng)取20積分哦，立即完善>

      3天內(nèi)不再提示
      創(chuàng)作
      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子教材>硅基AlN薄膜制備技術(shù)與測試分析

      硅基AlN薄膜制備技術(shù)與測試分析

      2011-06-24 | pdf | 121 KB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      ?

      采用直流磁控反應(yīng)濺射法,在Si(100),Al/Si(100)和Pt/Ti/Si(100)等多種襯底上制備了用于MEMS器件的AlN薄膜.用XRD和AES對薄膜的結(jié)構(gòu)和組分進(jìn)行了分析,通過優(yōu)化工藝參數(shù),得到了提高薄膜擇優(yōu)取向的方法,并分析了不同襯底上AlN晶粒生長的有關(guān)機(jī)理.制備的AlN薄膜顯示出良好的<002>擇優(yōu)取向性,搖擺曲線的半高寬達(dá)到5.6l.
      下載該資料的人也在下載 下載該資料的人還在閱讀
      更多 >

      評論

      查看更多

      下載排行

      本周

      1. 1電子電路原理第七版PDF電子教材免費(fèi)下載
      2. 0.00 MB  |  1490次下載  |  免費(fèi)
      3. 2單片機(jī)典型實(shí)例介紹
      4. 18.19 MB  |  92次下載  |  1 積分
      5. 3S7-200PLC編程實(shí)例詳細(xì)資料
      6. 1.17 MB  |  27次下載  |  1 積分
      7. 4筆記本電腦主板的元件識別和講解說明
      8. 4.28 MB  |  18次下載  |  4 積分
      9. 5開關(guān)電源原理及各功能電路詳解
      10. 0.38 MB  |  10次下載  |  免費(fèi)
      11. 6基于AT89C2051/4051單片機(jī)編程器的實(shí)驗(yàn)
      12. 0.11 MB  |  4次下載  |  免費(fèi)
      13. 7藍(lán)牙設(shè)備在嵌入式領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用
      14. 0.63 MB  |  3次下載  |  免費(fèi)
      15. 89天練會電子電路識圖
      16. 5.91 MB  |  3次下載  |  免費(fèi)

      本月

      1. 1OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
      2. 0.00 MB  |  234313次下載  |  免費(fèi)
      3. 2PADS 9.0 2009最新版 -下載
      4. 0.00 MB  |  66304次下載  |  免費(fèi)
      5. 3protel99下載protel99軟件下載(中文版)
      6. 0.00 MB  |  51209次下載  |  免費(fèi)
      7. 4LabView 8.0 專業(yè)版下載 (3CD完整版)
      8. 0.00 MB  |  51043次下載  |  免費(fèi)
      9. 5555集成電路應(yīng)用800例(新編版)
      10. 0.00 MB  |  33562次下載  |  免費(fèi)
      11. 6接口電路圖大全
      12. 未知  |  30320次下載  |  免費(fèi)
      13. 7Multisim 10下載Multisim 10 中文版
      14. 0.00 MB  |  28588次下載  |  免費(fèi)
      15. 8開關(guān)電源設(shè)計(jì)實(shí)例指南
      16. 未知  |  21539次下載  |  免費(fèi)

      總榜

      1. 1matlab軟件下載入口
      2. 未知  |  935053次下載  |  免費(fèi)
      3. 2protel99se軟件下載(可英文版轉(zhuǎn)中文版)
      4. 78.1 MB  |  537791次下載  |  免費(fèi)
      5. 3MATLAB 7.1 下載 (含軟件介紹)
      6. 未知  |  420026次下載  |  免費(fèi)
      7. 4OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
      8. 0.00 MB  |  234313次下載  |  免費(fèi)
      9. 5Altium DXP2002下載入口
      10. 未知  |  233045次下載  |  免費(fèi)
      11. 6電路仿真軟件multisim 10.0免費(fèi)下載
      12. 340992  |  191183次下載  |  免費(fèi)
      13. 7十天學(xué)會AVR單片機(jī)與C語言視頻教程 下載
      14. 158M  |  183277次下載  |  免費(fèi)
      15. 8proe5.0野火版下載(中文版免費(fèi)下載)
      16. 未知  |  138039次下載  |  免費(fèi)