企業(yè)號(hào)介紹

全部
  • 全部
  • 產(chǎn)品
  • 方案
  • 文章
  • 資料
  • 企業(yè)

中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術(shù)企業(yè)，致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

2.7k 內(nèi)容數(shù) 99w+ 瀏覽量 64 粉絲

WD4000半導(dǎo)體晶圓粗糙度翹曲度檢測設(shè)備

型號(hào)： WD4000系列
品牌： 中圖儀器(中圖儀器)

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • 注釋 如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

--- 產(chǎn)品詳情 ---

中圖儀器WD4000半導(dǎo)體晶圓粗糙度翹曲度檢測設(shè)備采用白光光譜共焦多傳感器和白光干涉顯微測量雙向掃描技術(shù)，完成非接觸式掃描并建立表面3D層析圖像，實(shí)現(xiàn)Wafer厚度、翹曲度、平面度、線粗糙度、總體厚度變化(TTV)及分析反映表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。

半導(dǎo)體晶圓粗糙度翹曲度檢測設(shè)備

 

無圖晶圓厚度、翹曲度的測量

半導(dǎo)體晶圓粗糙度翹曲度檢測設(shè)備

通過非接觸測量，將晶圓上下面的三維形貌進(jìn)行重建，強(qiáng)大的測量分析軟件穩(wěn)定計(jì)算晶圓厚度、粗糙度、總體厚度變化(TTV)，有效保護(hù)膜或圖案的晶片的完整性。

 

無圖晶圓粗糙度測量

半導(dǎo)體晶圓粗糙度翹曲度檢測設(shè)備

Wafer減薄工序中粗磨和細(xì)磨后的硅片表面3D圖像，用表面粗糙度Sa數(shù)值大小及多次測量數(shù)值的穩(wěn)定性來反饋加工質(zhì)量。在生產(chǎn)車間強(qiáng)噪聲環(huán)境中測量的減薄硅片，細(xì)磨硅片粗糙度集中在5nm附近，以25次測量數(shù)據(jù)計(jì)算重復(fù)性為0.046987nm，測量穩(wěn)定性良好。

 

WD4000半導(dǎo)體晶圓粗糙度翹曲度檢測設(shè)備通過非接觸測量，將晶圓的三維形貌進(jìn)行重建，強(qiáng)大的測量分析軟件穩(wěn)定計(jì)算晶圓厚度，TTV，BOW、WARP、在高效測量測同時(shí)有效防止晶圓產(chǎn)生劃痕缺陷。兼容不同材質(zhì)不同粗糙度、可測量大翹曲wafer、測量晶圓雙面數(shù)據(jù)更準(zhǔn)確。

 

測量功能

1、厚度測量模塊：厚度、TTV(總體厚度變化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等；

2、顯微形貌測量模塊：粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、面積、體積等。

3、提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能。其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

4、提供幾何輪廓分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。幾何輪廓分析包括臺(tái)階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評(píng)定等；粗糙度分析包括國際標(biāo)準(zhǔn)ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷。

半導(dǎo)體晶圓粗糙度翹曲度檢測設(shè)備

產(chǎn)品優(yōu)勢

1、非接觸厚度、三維維納形貌一體測量

集成厚度測量模組和三維形貌、粗糙度測量模組，使用一臺(tái)機(jī)器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三維形貌的測量。

2、高精度厚度測量技術(shù)

（1）采用高分辨率光譜共焦對射技術(shù)對Wafer進(jìn)行高效掃描。

（2）搭配多自由度的靜電放電涂層真空吸盤，晶圓規(guī)格最大可支持至12寸。

（3）采用Mapping跟隨技術(shù)，可編程包含多點(diǎn)、線、面的自動(dòng)測量。

3、高精度三維形貌測量技術(shù)

（1）采用光學(xué)白光干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和高精度3D重建算法，Z向分辨率高可到0.1nm；

（2）隔振設(shè)計(jì)降低地面振動(dòng)和空氣聲波振動(dòng)噪聲，獲得高測量重復(fù)性。

（3）機(jī)器視覺技術(shù)檢測圖像Mark點(diǎn)，虛擬夾具擺正樣品，可對多點(diǎn)形貌進(jìn)行自動(dòng)化連續(xù)測量。

4、大行程高速龍門結(jié)構(gòu)平臺(tái)

（1）大行程龍門結(jié)構(gòu)(400x400x75mm)，移動(dòng)速度500mm/s。

（2）高精度花崗巖基座和橫梁，整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、可靠。

（3）關(guān)鍵運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用高精度直線導(dǎo)軌導(dǎo)引、AC伺服直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，搭配分辨率0.1μm的光柵系統(tǒng)，保證設(shè)備的高精度、高效率。

5、操作簡單、輕松無憂

（1）集成XYZ三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦等測量前準(zhǔn)工作。

（2）具備雙重防撞設(shè)計(jì)，避免誤操作導(dǎo)致的物鏡與待測物因碰撞而發(fā)生的損壞情況。

（3）具備電動(dòng)物鏡切換功能，讓觀察變得快速和簡單。

 

WD4000半導(dǎo)體晶圓粗糙度翹曲度檢測設(shè)備自動(dòng)測量Wafer厚度、表面粗糙度、三維形貌、單層膜厚、多層膜厚?？蓪?shí)現(xiàn)砷化鎵、氮化鎵、磷化鎵、鍺、磷化銦、鈮酸鋰、藍(lán)寶石、硅、碳化硅、玻璃不同材質(zhì)晶圓的量測。

 

部分技術(shù)規(guī)格

品牌CHOTEST中圖儀器
型號(hào)WD4000系列
測量參數(shù)厚度、TTV(總體厚度變化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等
可測材料砷化鎵、氮化鎵、磷化鎵、鍺、磷化銦、 鈮酸鋰、藍(lán)寶石、硅、碳化硅、氮化鎵、玻璃、外延材料等

厚度和翹曲度測量系統(tǒng)

可測材料

砷化鎵 ;氮化鎵 ;磷化 鎵;鍺;磷化銦;鈮酸鋰;藍(lán)寶石;硅 ;碳化硅 ;玻璃等

測量范圍

150μm~2000μm

掃描方式

Fullmap面掃、米字、自由多點(diǎn)

測量參數(shù)

厚度、TTV(總體厚度變 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、線粗糙度

三維顯微形貌測量系統(tǒng)

測量原理

白光干涉

干涉物鏡

10X(2.5X、5X、20X、50X,可選多個(gè))

可測樣品反射率

0.05%~100

粗糙度RMS重復(fù)性

0.005nm

測量參數(shù)

顯微形貌 、線/面粗糙度、空間頻率等三大類300余種參數(shù)

膜厚測量系統(tǒng)

測量范圍

90um(n= 1.5)

景深

1200um

最小可測厚度

0.4um

紅外干涉測量系統(tǒng)

光源

SLED

測量范圍

37-1850um

晶圓尺寸

4"、6"、8"、12"

晶圓載臺(tái)

防靜電鏤空真空吸盤載臺(tái)

X/Y/Z工作臺(tái)行程

400mm/400mm/75mm

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

為你推薦

  • 機(jī)器人空間位置精度激光追蹤儀2024-12-27 14:41

    產(chǎn)品型號(hào)：GTS系列 注釋：如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

  • 白光干涉三維形貌輪廓儀2024-12-27 14:39

    產(chǎn)品型號(hào)：SuperViewW系列 注釋：如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

  • 一鍵批量閃測檢測儀2024-12-27 14:37

    產(chǎn)品型號(hào)：VX8000系列 注釋：如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

  • 零件形位公差尺寸影像測量儀2024-12-27 14:35

    產(chǎn)品型號(hào)：Novator系列 注釋：如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

  • 臺(tái)式掃描電子顯微鏡2024-12-27 14:33

    產(chǎn)品型號(hào)：CEM3000系列 注釋：如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

  • 中圖儀器國產(chǎn)3d輪廓測量儀2024-12-26 14:23

    產(chǎn)品型號(hào)：SuperViewW系列 注釋：如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

  • 國產(chǎn)數(shù)控機(jī)床磨床測頭2024-12-26 14:19

    產(chǎn)品型號(hào)：PO系列 注釋：如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

  • 軸承精密測長機(jī)2024-12-26 14:16

    產(chǎn)品型號(hào)：SJ5100系列 注釋：如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

  • 國產(chǎn)鎢燈絲掃描電鏡2024-12-26 14:14

    產(chǎn)品型號(hào)：CEM3000系列 注釋：如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

  • 零件外形輪廓測量儀2024-12-25 14:38

    產(chǎn)品型號(hào)：SJ5800系列 注釋：如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

  • 如何選擇掃描電鏡的分辨率？2024-12-25 14:29

    選擇掃描電鏡的分辨率需要綜合考慮多個(gè)因素。首先是研究目的。如果只是需要對樣品的大致形貌進(jìn)行觀察，例如查看較大顆粒的分布或者材料表面的宏觀缺陷，較低分辨率（如3-10nm）可能就足夠了。但如果要觀察樣品的精細(xì)微觀結(jié)構(gòu)，像納米級(jí)別的晶體結(jié)構(gòu)、細(xì)胞的超微結(jié)構(gòu)等，就需要更高的分辨率，通常要達(dá)到1-3nm甚至更高。其次是樣品自身特性。對于一些結(jié)構(gòu)簡單、特征尺寸較大的樣

  • 如何操作才能使樣品在掃描電鏡中清晰成像？2024-12-25 14:27

    要使樣品在掃描電鏡中清晰成像，需要注意以下操作要點(diǎn)：1、樣品制備-清潔處理：確保樣品表面沒有灰塵、油污和其他雜質(zhì)。比如對于金屬樣品，可以使用有機(jī)溶劑（如乙醇、丙酮）進(jìn)行清洗，然后用干燥的氮?dú)獯蹈伞?尺寸要求：樣品大小要適合電鏡樣品臺(tái)，一般不能太大，避免在掃描過程中與電鏡內(nèi)部結(jié)構(gòu)發(fā)生碰撞干擾成像。-固定樣品：將樣品穩(wěn)固地固定在樣品臺(tái)上。如果樣品是粉末狀，可以用
    174瀏覽量

  • 如何使用掃描電鏡？2024-12-25 14:25

    以下是使用掃描電鏡的一般步驟：1、前期準(zhǔn)備-樣品準(zhǔn)備：確保樣品表面干凈、平整，無油脂、灰塵等雜質(zhì)。根據(jù)樣品性質(zhì)選擇合適的探頭，如金屬樣品可使用金屬探頭，非金屬材料可使用碳納米管探頭等，并將樣品固定在樣品臺(tái)上，防止掃描過程中發(fā)生移動(dòng).-環(huán)境調(diào)節(jié)：保持室內(nèi)溫度在20℃-30℃，濕度在70%以下，注意電源電壓穩(wěn)定、避免電磁干擾等，為掃描電鏡創(chuàng)造穩(wěn)定的運(yùn)行環(huán)境.-儀
    160瀏覽量

  • 冶金工業(yè)案例：GTS激光跟蹤儀在連鑄機(jī)安裝中的應(yīng)用2024-12-20 15:03

    連鑄機(jī)是一種用于將高溫鋼水連續(xù)澆鑄成具有一定斷面形狀和尺寸規(guī)格鑄坯的生產(chǎn)工藝設(shè)備。?它的工作原理是將液態(tài)金屬注入結(jié)晶器，通過水冷使金屬凝固成坯料，然后通過拉坯機(jī)將其拉出并切割成定尺的鑄坯。連鑄機(jī)在鋼鐵生產(chǎn)中具有顯著的優(yōu)勢，包括提高金屬收得率、降低能源消耗、減少勞動(dòng)強(qiáng)度以及易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。與傳統(tǒng)的模鑄法相比，連鑄技術(shù)大幅提高了生產(chǎn)效率和鑄坯質(zhì)量。在連鑄機(jī)安裝中
    112瀏覽量

  • 尺寸測量全自動(dòng)檢測設(shè)備及其在線應(yīng)用探索2024-12-13 16:59

    尺寸測量全自動(dòng)設(shè)備高精度高效，含一鍵閃測儀、AI影像測量儀、三坐標(biāo)機(jī)、激光跟蹤儀等，廣泛應(yīng)用于制造、航空等領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)智能化、無人化測量，提高效率和準(zhǔn)確性。

  • 自動(dòng)化生產(chǎn)中的精密幾何量測量：關(guān)鍵儀器與應(yīng)用2024-12-13 16:43

    精密幾何量測量儀器在自動(dòng)化生產(chǎn)中至關(guān)重要，影像測量儀、三坐標(biāo)測量機(jī)、白光干涉儀和激光跟蹤儀等提高精度效率，助力智能制造和工業(yè)4.0，推動(dòng)制造業(yè)高水平發(fā)展。

  • 白光干涉儀測量原理及干涉測量技術(shù)的應(yīng)用2024-12-13 16:42

    白光干涉儀利用干涉原理測光程差，測物理量，具高精度。應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)加工、汽車零部件制造及科研等領(lǐng)域，雙重防撞保護(hù)保障測量安全。

  • 精密幾何測量儀三劍客：閃測儀、影像儀與三坐標(biāo)2024-12-13 16:40

    閃測儀、影像儀、三坐標(biāo)測量儀在工業(yè)中起關(guān)鍵作用，提升檢測效率與質(zhì)量，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測量，推動(dòng)高質(zhì)量發(fā)展與智能化升級(jí)，守護(hù)工業(yè)制造質(zhì)量與效率。

  • 中圖儀器獲得國際大廠布雷博認(rèn)可2024-12-13 14:54

    在全球汽車制造和零部件生產(chǎn)領(lǐng)域，質(zhì)量和精確度從來都是至關(guān)重要的。作為汽車制動(dòng)系統(tǒng)領(lǐng)域的知名品牌，布雷博（Brembo）一直以其高性能和高品質(zhì)的制動(dòng)產(chǎn)品聞名于世，近日，中圖儀器的閃測儀和粗糙度輪廓儀經(jīng)過布雷博（Brembo）嚴(yán)格測試驗(yàn)證，順利通過驗(yàn)收。這無疑是對中圖儀器產(chǎn)品質(zhì)量和技術(shù)創(chuàng)新的極大肯定。關(guān)于布雷博（Brembo）布雷博（Brembo）總部位于意大利

  • 激光跟蹤儀測量工具簡稱及全面解析2024-12-11 15:55

    激光跟蹤儀簡介激光跟蹤儀是工業(yè)測量系統(tǒng)中一種高精度的大尺寸測量儀器。它集合了激光干涉測距技術(shù)、光電探測技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計(jì)算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計(jì)算理論等各種先進(jìn)技術(shù)，對空間運(yùn)動(dòng)目標(biāo)進(jìn)行跟蹤并實(shí)時(shí)測量目標(biāo)的空間三維坐標(biāo)。激光跟蹤儀具有高精度、高效率、實(shí)時(shí)跟蹤測量、安裝快捷、操作簡便等特點(diǎn)，適合于大尺寸工件配裝測量。其基本都是由激光跟蹤頭（跟蹤儀）、控制器

  • 方案上新|軸承行業(yè)測量解決方案免費(fèi)下載2024-11-28 16:42

    軸承是工業(yè)基礎(chǔ)件，也是核心零部件，在汽車、機(jī)床、機(jī)器人、家用電器、電機(jī)、鐵路、航空航天、船舶、工程機(jī)械、農(nóng)用機(jī)械、礦山機(jī)械等各行業(yè)均有廣泛應(yīng)用。它的主要功能是支撐轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，降低轉(zhuǎn)動(dòng)過程中的摩擦系數(shù)，并保證軸回轉(zhuǎn)精度，軸承的性能狀態(tài)直接影響機(jī)械設(shè)備的性能和運(yùn)行壽命。中圖儀器軸承行業(yè)測量解決方案覆蓋軸承滾動(dòng)體、內(nèi)外圈套、保持架以及軸承關(guān)聯(lián)部件（滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌、螺紋、連接軸、輪轂軸、曲軸、萬向節(jié)等）

  • 大尺寸部件安裝精度測量：GTS激光跟蹤儀的解決方案2024-11-20 14:52

    在現(xiàn)代工業(yè)制造與大型工程建設(shè)領(lǐng)域，大尺寸部件的安裝精度是至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。從航空航天飛行器的組裝，到大型橋梁的鋼梁架設(shè)，再到高精度機(jī)床的零部件安裝，一絲一毫的誤差都可能導(dǎo)致嚴(yán)重的后果。而激光跟蹤儀，作為一種先進(jìn)的測量設(shè)備，為解決大尺寸部件安裝精度測量問題提供了理想的途徑，深受客戶關(guān)注。高精度測量需求的驅(qū)動(dòng)對于客戶而言，大尺寸部件安裝精度的測量是確保項(xiàng)目質(zhì)量和性能的關(guān)鍵。在航空航天領(lǐng)域，飛機(jī)機(jī)翼與機(jī)身

  • 輪廓測長|中圖儀器SJ51系列測長機(jī)實(shí)現(xiàn)高精度二維長度測量2024-01-25 15:37

    高精度二維長度測量技術(shù)在精密制造業(yè)中至關(guān)重要，測長機(jī)作為高精度長度測量工具，可實(shí)現(xiàn)對工件尺寸和形態(tài)的精確測量，提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。測長機(jī)具有高精度、重復(fù)性好等特點(diǎn)，可應(yīng)用于多種精密制造領(lǐng)域。未來，測長機(jī)技術(shù)將不斷更新和完善，為精密制造領(lǐng)域的發(fā)展提供有力支持。
    438瀏覽量

  • 顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準(zhǔn)捕捉三維形貌2024-01-25 15:34

    顯微測量是利用顯微鏡對微小尺寸和形狀進(jìn)行高精度測量的技術(shù)，在先進(jìn)制造業(yè)中具有重要意義。它為制造業(yè)提供了準(zhǔn)確、可靠的測量手段，幫助企業(yè)實(shí)現(xiàn)更高水平的制造和更高質(zhì)量的產(chǎn)品。隨著科技的不斷進(jìn)步，顯微測量技術(shù)有望在未來取得更大的突破和應(yīng)用。
    448瀏覽量

  • VX9000系列光學(xué)掃描成像測量機(jī)，滿足PCB行業(yè)多樣化尺寸測量需求2023-12-01 09:29

    VX9700光學(xué)掃描成像測量機(jī)紅、藍(lán)、綠三色光源滿足不同顏色PCB測量需求。高遠(yuǎn)心度雙側(cè)遠(yuǎn)心鏡頭提升數(shù)倍精度，一鍵測量新能源車PCB輪廓度、位置度、外形尺寸。

  • 激光干涉儀檢測機(jī)床的方法（以線性檢測為例）2023-10-27 15:21

    激光干涉儀檢測機(jī)床的方法（以線性檢測為例）1.進(jìn)行線性測量的一般步驟（1）安裝設(shè)置激光干涉儀（2）將激光束與被測量的軸校準(zhǔn)（3）啟動(dòng)測量軟件，并輸入相關(guān)參數(shù)（如材料膨脹系數(shù)）。（4）在機(jī)床上輸入測量程序，啟動(dòng)干涉儀測量，并記錄數(shù)據(jù)。（5）用測量軟件分析測量數(shù)據(jù)，生產(chǎn)補(bǔ)償文件。線性測量應(yīng)用2.光束快速準(zhǔn)直步驟（1）沿著運(yùn)動(dòng)軸將反射鏡與干涉鏡分開。（2）移動(dòng)機(jī)床工作臺(tái)，當(dāng)光束離開光靶外圓時(shí)停止移動(dòng)，垂

  • 白光干涉儀(光學(xué)輪廓儀)：揭秘測量坑的形貌的利器！2023-10-26 10:47

    SuperViewW1白光干涉儀結(jié)合數(shù)字圖像處理技術(shù)和三維重建算法來提高測量的精度和效率，揭秘并測量坑的形貌，為科學(xué)研究和工程實(shí)踐提供更有力的支持。

  • 納米級(jí)測量儀器：窺探微觀世界的利器2023-10-11 13:49

    納米級(jí)測量儀器在納米科技研究領(lǐng)域中扮演著重要的角色。通過共聚焦顯微鏡、光學(xué)輪廓儀等的運(yùn)用，科研人員們能夠更加深入地了解納米世界的奧秘。
    800瀏覽量

  • 微納共聚焦顯微鏡：檢測摩擦學(xué)研究的重難點(diǎn)2023-09-22 09:13

    針對磨損區(qū)域較大、坡度也較為陡峭的生物摩擦和流體摩擦領(lǐng)域，采用中圖VT6000系列共聚焦顯微鏡更加匹配，其遠(yuǎn)勝于光學(xué)3D表面輪廓儀的大角度測量能力和超景深觀察功能，能夠輕松勝任磨損較為嚴(yán)重的表面形貌檢測，從而幫助研究人員更加精準(zhǔn)的掌握磨損量評(píng)價(jià)數(shù)據(jù)。
    1.2k瀏覽量

  • 先進(jìn)封裝廠關(guān)于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26

    BumpMetrologysystem—BOKI_1000在半導(dǎo)體行業(yè)中，Bump、RDL、TSV、Wafer合稱先進(jìn)封裝的四要素，其中Bump起著界面互聯(lián)和應(yīng)力緩沖的作用。Bump是一種金屬凸點(diǎn)，從倒裝焊FlipChip出現(xiàn)就開始普遍應(yīng)用，Bump的形狀有多種，常見的為球狀和柱狀，也有塊狀等其他形狀，下圖所示為各種類型的Bump。Bump起著界面之間的電氣互聯(lián)和應(yīng)力緩沖的作用，從Bondwire
    2.2k瀏覽量