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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子資料>白光干涉儀測量原理及干涉測量技術(shù)的應(yīng)用

      白光干涉儀測量原理及干涉測量技術(shù)的應(yīng)用

      2024-12-16 | docx | 313.82 KB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      白光干涉儀利用干涉原理測光程差，測物理量，具高精度。應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)加工、汽車零部件制造及科研等領(lǐng)域，雙重防撞保護(hù)保障測量安全。

      基本原理：白光干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡分成兩束，一束光經(jīng)被測表面反射回來，另一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射  光最終匯聚并發(fā)生干涉。兩束相干光間光程差的任何變化會靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起。通過測量干涉條紋的變化，就可以測量出被測表面的相關(guān)物理量。

      白光的特點及優(yōu)勢：白光屬于多色光，具有連續(xù)的光譜。與單色光干涉不同，白光干涉在一定光程差范圍內(nèi)會出現(xiàn)彩色的干涉條紋，并且只有在零光程差附近的極小范圍內(nèi)才會出現(xiàn)清晰的、對比度高的干涉條紋。這一特性使得白光干涉儀在測量時能夠通過精確尋找零光程差位置來實現(xiàn)高精度的測量，對于微觀形貌的測量具有獨特的優(yōu)勢。

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