3D白光干涉輪廓儀原理，特點(diǎn)，參數(shù)
3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000 原理
照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光相互干涉，在大靶面黑白相機(jī)感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置計(jì)算出被測樣品的相對高度，從而得到樣品表面的三維尺寸信息。
普密斯3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000系列3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000 介紹
3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000提供了強(qiáng)?、多功能的?接觸式光學(xué)表?分析。它可以簡單和快速地測量各種表?類型，包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表?。所有的測量都是?損、快速、?需樣品制備的。所有放?倍數(shù)下實(shí)現(xiàn)亞納?的精度，并且能夠快速準(zhǔn)確的測試各種樣品表?，為客?提供?投資回報率的體驗(yàn)。
普密斯3D白光干涉輪廓儀重復(fù)精度0.01nm3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000 特點(diǎn)
1、表征微觀形貌的粗糙度測量；
2、臺階高、角度等輪廓尺寸測量；
3、自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；
4、校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等數(shù)據(jù)處理功能；
5、對比分析和多文件分析等輔助分析功能。
普密斯3D白光干涉輪廓儀3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000 參數(shù)
3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000 參數(shù)3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000 測量案例
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