選擇掃描電鏡的分辨率需要綜合考慮多個因素。
首先是研究目的。如果只是需要對樣品的大致形貌進(jìn)行觀察,例如查看較大顆粒的分布或者材料表面的宏觀缺陷,較低分辨率(如 3 - 10nm)可能就足夠了。但如果要觀察樣品的精細(xì)微觀結(jié)構(gòu),像納米級別的晶體結(jié)構(gòu)、細(xì)胞的超微結(jié)構(gòu)等,就需要更高的分辨率,通常要達(dá)到 1 - 3nm 甚至更高。
其次是樣品自身特性。對于一些結(jié)構(gòu)簡單、特征尺寸較大的樣品,不需要特別高的分辨率。而對于納米材料、生物大分子等微小且結(jié)構(gòu)復(fù)雜的樣品,為了看清其細(xì)節(jié),則要選擇高分辨率模式。
還要考慮掃描速度與分辨率之間的平衡。一般來說,高分辨率掃描需要更慢的掃描速度,因為要采集更多的信號點來提高清晰度。如果時間有限,且對細(xì)節(jié)要求不是極高,可以適當(dāng)降低分辨率來加快掃描速度。
另外,儀器性能也是關(guān)鍵。不同型號的掃描電鏡有其固定的最佳分辨率范圍。要了解儀器的標(biāo)稱分辨率,并且結(jié)合實際的操作經(jīng)驗來選擇合適的分辨率設(shè)置。比如,有些高端掃描電鏡在最佳條件下可以達(dá)到亞納米分辨率,這種儀器在觀察精細(xì)結(jié)構(gòu)時就可以充分發(fā)揮其優(yōu)勢。
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