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電子發(fā)燒友網(wǎng)>今日頭條>關于KOH溶液中氮化鋁的濕化學蝕刻的研究報告

關于KOH溶液中氮化鋁的濕化學蝕刻的研究報告

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鍺、硅、SiNx薄膜的各向同性等離子體蝕刻

CMOS和MEMS制造技術,允許相對于其他薄膜選擇性地去除薄膜,在器件集成中一直具有很高的實用性。這種化學性質非常有用,但是當存在其他材料并且也已知在HF中蝕刻時,這就成了問題。由于器件的靜摩擦、緩慢的蝕刻速率以及橫向或分層膜的蝕刻速率降低,濕法化學也會有問題。
2023-06-26 13:32:441053

III族氮化物半導體外延層薄膜

基于具有規(guī)則六邊形孔的納米圖案化氮化鋁AlN/藍寶石模板,藍寶石氮化預處理和解理面的有序橫向生長,保證了離散的氮化鋁AlN柱,以均勻的面外和面內(nèi)取向結合,有效地抑制了凝聚過程中穿透位錯threading dislocations的再生。
2023-06-25 16:26:11359

有關氮化鎵半導體的常見錯誤觀念

氮化鎵(GaN)是一種全新的使能技術,可實現(xiàn)更高的效率、顯著減小系統(tǒng)尺寸、更輕和于應用取得硅器件無法實現(xiàn)的性能。那么,為什么關于氮化鎵半導體仍然有如此多的誤解?事實又是怎樣的呢? 關于氮化鎵技術
2023-06-25 14:17:47

氮化鋁陶瓷基板的導熱性能在電子散熱中的應用

氮化鋁陶瓷基板的導熱系數(shù)在170-230 W/mK之間,是氧化鋁陶瓷和硅基陶瓷的2-3倍,是鈦基板的10-20倍。這種高導熱系數(shù)的優(yōu)異性能是由于氮化鋁陶瓷基板的結構和化學成分決定的。其晶粒尺寸、晶格
2023-06-19 17:02:27510

什么是氮化鎵功率芯片?

通過SMT封裝,GaNFast? 氮化鎵功率芯片實現(xiàn)氮化鎵器件、驅動、控制和保護集成。這些GaNFast?功率芯片是一種易于使用的“數(shù)字輸入、電源輸出” (digital in, power out
2023-06-15 16:03:16

為什么氮化鎵比硅更好?

1MHz 以上。新的控制器正在開發(fā)。微控制器和數(shù)字信號處理器(DSP),也可以用來實現(xiàn)目前軟開關電路拓撲結構,而目前廣泛采用的、為1-2 MHz范圍優(yōu)化的磁性材料,已經(jīng)可被使用了。 氮化鎵功率芯片
2023-06-15 15:53:16

氮化鎵: 歷史與未來

,以及基于硅的 “偏轉晶體管 “屏幕產(chǎn)品的消亡。 因此,氮化鎵是我們在電視、手機、平板電腦、筆記本電腦和顯示器,使用的高分辨率彩色屏幕背后的核心技術。在光子學方面,氮化鎵還被用于藍光激光技術(最明顯
2023-06-15 15:50:54

為什么氮化鎵(GaN)很重要?

氮化鎵(GaN)的重要性日益凸顯,增加。因為它與傳統(tǒng)的硅技術相比,不僅性能優(yōu)異,應用范圍廣泛,而且還能有效減少能量損耗和空間的占用。在一些研發(fā)和應用,傳統(tǒng)硅器件在能量轉換方面,已經(jīng)達到了它的物理
2023-06-15 15:47:44

什么是氮化鎵(GaN)?

氮化鎵,由鎵(原子序數(shù) 31)和氮(原子序數(shù) 7)結合而來的化合物。它是擁有穩(wěn)定六邊形晶體結構的寬禁帶半導體材料。禁帶,是指電子從原子核軌道上脫離所需要的能量,氮化鎵的禁帶寬度為 3.4eV,是硅
2023-06-15 15:41:16

氮化鎵功率芯片的優(yōu)勢

更?。篏aNFast? 功率芯片,可實現(xiàn)比傳統(tǒng)硅器件芯片 3 倍的充電速度,其尺寸和重量只有前者的一半,并且在能量節(jié)約方面,它最高能節(jié)約 40% 的能量。 更快:氮化鎵電源 IC 的集成設計使其非常
2023-06-15 15:32:41

誰發(fā)明了氮化鎵功率芯片?

雖然低電壓氮化鎵功率芯片的學術研究,始于 2009 年左右的香港科技大學,但強大的高壓氮化鎵功率芯片平臺的量產(chǎn),則是由成立于 2014 年的納微半導體最早進行研發(fā)的。納微半導體的三位聯(lián)合創(chuàng)始人
2023-06-15 15:28:08

什么是氮化鎵功率芯片?

氮化鎵(GaN)功率芯片,將多種電力電子器件整合到一個氮化鎵芯片上,能有效提高產(chǎn)品充電速度、效率、可靠性和成本效益。在很多案例,氮化鎵功率芯片,能令先進的電源轉換拓撲結構,從學術概念和理論達到
2023-06-15 14:17:56

清華大學AIGC發(fā)展研究報告1.0版震撼發(fā)布!192頁PPT

研究報告1.0版》,總計192頁,分為技術篇、產(chǎn)業(yè)篇、評測篇、職業(yè)篇、風險篇、哲理篇、未來篇、團隊篇等多個篇章,對AIGC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展現(xiàn)狀和趨勢進行了詳盡研究和分析
2023-06-09 10:32:36550

陶瓷、高頻、普通PCB板材區(qū)別在哪?

。常用的陶瓷基材料包括氧化鋁氮化鋁、氧化鋯、ZTA、氮化硅、碳化硅等。FR線路板是指以環(huán)氧玻璃纖維布作為主要材料的線路。那么,陶瓷線路板與普通PCB板材區(qū)別在哪? 一、陶瓷基板與pcb板的區(qū)別 1、材料
2023-06-06 14:41:30

清華大學AIGC發(fā)展研究報告1.0版震撼發(fā)布!192頁PPT

發(fā)展研究報告1.0版》,總計192頁,分為技術篇、產(chǎn)業(yè)篇、評測篇、職業(yè)篇、風險篇、哲理篇、未來篇、團隊篇等多個篇章,對AIGC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展現(xiàn)狀和趨勢進行了詳盡研究和分析。 以下為報告內(nèi)容 受篇幅限制,以上僅為部分報告預覽 后臺回復【 AIG
2023-06-04 16:15:01503

國瓷材料:DPC陶瓷基板國產(chǎn)化突破

氮化鋁為大功率半導體優(yōu)選基板材料。氧化鈹(BeO)、氧化鋁(Al2O3)、 氮化鋁(AlN)和氮化硅(Si3N4)4 種材料是已經(jīng)投入生產(chǎn)應用的主要陶瓷基板 材料,其中氧化鋁技術成熟度最高、綜合性能好、性價比高,是功率器件最為常用 的陶瓷基板,市占率達 80%以上。
2023-05-31 15:58:35876

載體晶圓對蝕刻速率、選擇性、形貌的影響

等離子體蝕刻氮化鎵器件制造的一個必要步驟,然而,載體材料的選擇可能會實質上改變蝕刻特性。在小型單個芯片上制造氮化鎵(GaN)設備,通常會導致晶圓的成本上升。在本研究中,英思特通過鋁基和硅基載流子來研究蝕刻過程中蝕刻速率、選擇性、形貌和表面鈍化的影響。
2023-05-30 15:19:54452

淺談蝕刻工藝開發(fā)的三個階段

納米片工藝流程中最關鍵的蝕刻步驟包括虛擬柵極蝕刻、各向異性柱蝕刻、各向同性間隔蝕刻和通道釋放步驟。通過硅和 SiGe 交替層的剖面蝕刻是各向異性的,并使用氟化化學。優(yōu)化內(nèi)部間隔蝕刻(壓痕)和通道釋放步驟,以極低的硅損失去除 SiGe。
2023-05-30 15:14:111071

硅在氫氧化鈉和四甲基氫氧化銨中的溫度依賴性蝕刻

過去利用堿氫氧化物水溶液研究了硅的取向依賴蝕刻,這是制造硅中微結構的一種非常有用的技術。以10M氫氧化鉀(KOH)為蝕刻劑,研究了單晶硅球和晶片的各向異性蝕刻過程,測量了沿多個矢量方向的蝕刻速率,用單晶球發(fā)現(xiàn)了最慢的蝕刻面。英思特利用這些數(shù)據(jù),提出了一種預測不同方向表面的傾角的方法
2023-05-29 09:42:40618

氮化鎵在射頻領域的優(yōu)勢盤點

氮化鎵是一種二元III/V族直接帶隙半導體晶體,也是一般照明LED和藍光播放器最常使用的材料。另外,氮化鎵還被用于射頻放大器和功率電子器件。氮化鎵是非常堅硬的材料;其原子的化學鍵是高度離子化的氮化化學鍵,該化學鍵產(chǎn)生的能隙達到3.4 電子伏特。
2023-05-26 10:10:41758

濕式化學蝕刻法制備硅片微孔

微孔利用光和物質的相互作用來獲得獨特的性質,特別是,當用紫外光、可見光或近紅外光在其表面等離子體極化頻率附近照射時,金屬微孔結構表現(xiàn)出強烈的共振。然而,用于制造微孔的技術是耗時的,并且需要昂貴的設備和專業(yè)人員。因此,英思特開發(fā)了一種通過濕化學蝕刻硅襯底來制造微孔的方法。
2023-05-25 13:47:51846

一種新型氮化鋁(AlN)壓電傳感器

休斯頓大學研究團隊之前開發(fā)出了III-N壓電傳感器,該傳感器由單晶氮化鎵薄膜制成,但在溫度高于350℃時,其靈敏度會降低。
2023-05-25 12:49:19362

氧化鎵薄膜外延及電子結構研究

以金剛石、氧化鎵、氮化鋁、氮化硼、石墨烯等為代表的超寬禁帶半導體材料具有更高的禁帶寬度、熱導率以及材料穩(wěn)定性,有著顯著的優(yōu)勢和巨大的發(fā)展?jié)摿?,越來越得到國?nèi)外的重視。
2023-05-24 10:44:29568

美國休斯頓大學:開發(fā)出一種新型氮化鋁傳感器,并證實其可以在高達900℃的高溫下工作

? ? 傳感新品 【美國休斯頓大學:開發(fā)出一種新型氮化鋁傳感器,并證實其可以在高達900℃的高溫下工作】 航空航天、能源、運輸和國防等關鍵行業(yè)需要能在極端環(huán)境下工作的傳感器,以測量和監(jiān)測多種
2023-05-23 08:39:45596

如何在蝕刻工藝中實施控制?

蝕刻可能是濕制程階段最復雜的工藝,因為有很多因素會影響蝕刻速率。如果不保持這些因素的穩(wěn)定,蝕刻率就會變化,因而影響產(chǎn)品質量。如果希望利用一種自動化方法來維護蝕刻化學,以下是你需要理解的基本概念。
2023-05-19 10:27:31575

高導熱填料球形氮化鋁的作用應用領域

,且熱膨脹不匹配導致的高熱應力會導致永久的結構層面的機械故障。AlN的熔點高達2500℃,可用作高溫耐熱材料。同時,氮化鋁的熱膨脹系數(shù)(CTE,4.5×10–6/℃)相對較低,接近于Si及SiC,能夠提供更好的熱可靠性。因此,基于氮化鋁陶瓷芯片級封裝的超高溫(500℃以上)微電子器件成為有效方案。
2023-05-17 15:34:32418

硅晶片的酸基蝕刻:傳質和動力學效應

拋光硅晶片是通過各種機械和化學工藝制備的。首先,硅單晶錠被切成圓盤(晶片),然后是一個稱為拍打的扁平過程,包括使用磨料清洗晶片。通過蝕刻消除了以往成形過程中引起的機械損傷,蝕刻之后是各種單元操作,如拋光和清洗之前,它已經(jīng)準備好為設備制造。
2023-05-16 10:03:00584

氮化鋁陶瓷在陶瓷線路板行業(yè)中的占比越來越高

以上這些問題和挑戰(zhàn),對于氮化鋁陶瓷的應用和發(fā)展都是有一定影響的,但隨著斯利通技術的不斷進步,相信這些問題都可以得到逐步解決。
2023-05-11 17:35:22768

99氧化鋁陶瓷基板為什么比96氧化鋁陶瓷貴

探討這個問題前,我們先來了解下什么是99%氧化鋁陶瓷:99.6%的氧化鋁陶瓷是一種高純度、高硬度、高溫度抗性和高耐腐蝕性的工程陶瓷材料,其中氧化鋁含量高達99.6%以上。它具有良好的物理、化學
2023-05-11 11:02:13955

氮化鋁陶瓷基板高導熱率的意義

隨著新能源汽車的快速發(fā)展。陶瓷基板,特別是氮化鋁陶瓷基板作為絕緣導熱材料得到了很大的應用。目前市場以170w/m.k的材料為主,價格很貴,堪稱陶瓷界的皇冠。而120-130w/m.k的價格就要實惠
2023-05-07 13:13:16408

氮化鋁陶瓷基板高導熱率的意義

隨著新能源汽車的快速發(fā)展。陶瓷基板,特別是氮化鋁陶瓷基板作為絕緣導熱材料得到了很大的應用。目前市場以170w/m.k的材料為主,價格很貴,堪稱陶瓷界的皇冠。而120-130w/m.k的價格就要實惠很多。那他們的散熱表現(xiàn)差別有多少?先說結論:差別很小,考慮裝配應用等因素外,基本可以忽略。
2023-05-04 12:11:36301

酸性化學品供應控制系統(tǒng)

[技術領域] 本實用新型涉及半導體制造技術領域,具體地說是一種酸性化學品供應控制系 統(tǒng)。 由于半導體行業(yè)中芯片生產(chǎn)線的工作對象是硅晶片,而能在硅晶片上蝕刻圖形 以及清洗硅晶片上的雜質、微粒子的化學
2023-04-20 13:57:0074

《炬豐科技-半導體工藝》 HQ2和HF溶液循環(huán)處理 ?

書籍:《炬豐科技-半導體工藝》 文章:HQ2和HF溶液循環(huán)處理 編號:JFKJ-21-213 作者:炬豐科技 摘要 采用原子顯微鏡研究了濕法化學處理過程中的表面形貌。在SC-1清洗過程中,硅表面
2023-04-19 10:01:00129

研究報告丨汽車MCU產(chǎn)業(yè)鏈分析報告

自己的模板 研究 報告《 汽車MCU產(chǎn)業(yè)鏈分析報告》,如需領取報告,請關注公眾號,后臺回復 ? MCU? 即可領??! 聲明 : 本文由電子發(fā)燒友原創(chuàng) ,轉載請注明以上來源。如需入群交流 ,請?zhí)砑?/div>
2023-04-12 15:10:02390

干法蝕刻與濕法蝕刻-差異和應用

干法蝕刻與濕法蝕刻之間的爭論是微電子制造商在項目開始時必須解決的首要問題之一。必須考慮許多因素來決定應在晶圓上使用哪種類型的蝕刻劑來制作電子芯片,是液體(濕法蝕刻)還是氣體(干法蝕刻
2023-04-12 14:54:331004

從頭到尾的半導體技術

濕法蝕刻工藝的原理是使用化學溶液將固體材料轉化為液體化合物。選擇性非常高
2023-04-10 17:26:10453

【新聞】全國普通高校大學生計算機類競賽研究報告正式發(fā)布

全國普通高校大學生計算機類競賽研究報告鏈接:https://mp.weixin.qq.com/s/bdcp-wGqvXY_8DPzn8dhKw各高校在計算機類競賽的表現(xiàn)情況是評估相關高校計算機
2023-04-10 10:16:15

PCB制作干膜和膜可能會帶來哪些品質不良的問題?

PCB制作干膜和膜可能會帶來哪些品質不良的問題?以及問題如何解決呢?
2023-04-06 15:51:01

浪潮云洲入選IDC《中國工業(yè)邊緣市場分析》研究報告

濟南2023年3月31日?/美通社/ -- 近日,國際數(shù)據(jù)公司(IDC)發(fā)布了《中國工業(yè)邊緣市場分析》研究報告(以下簡稱《報告》)。浪潮云洲憑借云邊緣一體化機器視覺等特色解決方案布局,入選工業(yè)邊緣
2023-04-01 08:03:30540

氮化鋁單晶的濕法化學蝕刻

清洗過程在半導體制造過程中,在技術上和經(jīng)濟上都起著重要的作用。超薄晶片表面必須實現(xiàn)無顆粒、無金屬雜質、無有機、無水分、無天然氧化物、無表面微粗糙度、無充電、無氫。硅片表面的主要容器可分為顆粒、金屬雜質和有機物三類。
2023-03-31 10:56:19314

PCB加工的蝕刻工藝

印刷線路板從光板到顯出線路圖形的過程是一個比較復雜的物理和化學反應的過程,本文就對其最后的一步--蝕刻進行解析。目前,印刷電路板(PCB)加工的典型工藝采用"圖形電鍍法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

調(diào)溫調(diào)箱的特點介紹

調(diào)溫調(diào)箱全名“恒溫恒試驗箱”是航空、汽車、家電、科研等領域必備的測試設備,用于測試和確定電工、電子及其他產(chǎn)品及材料進行高溫、低溫、濕熱度或恒定試驗的溫度環(huán)境變化后的參數(shù)及性能,它主要用于根據(jù)試驗
2023-03-28 09:02:36

使用 ClF 3 H 2遠程等離子體在氧化硅上選擇性蝕刻氮化

在濕蝕刻的情況下,隨著SiNx/SiOy層的厚度減小,剩余的SiOy層由于表面張力而坍塌,蝕刻溶液對孔的滲透變得更具挑戰(zhàn)性。
2023-03-27 10:17:49402

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