Fab 內(nèi)的safety shower的日常維護(hù)及使用監(jiān)督由誰來負(fù)責(zé)
答:Fab 內(nèi)的 Area Owner(若出現(xiàn)無水或大量漏水等可請廠務(wù)水課(19105)協(xié)助)
工程師在正常跑貨用純水做rinse或做機(jī)臺維護(hù)時,要注意不能有酸或有機(jī)溶劑(如IPA等)進(jìn)入純水回收系統(tǒng)中,這是因?yàn)椋?/p>
答:酸會導(dǎo)致conductivity(導(dǎo)電率)升高,有機(jī)溶劑會導(dǎo)致TOC升高。兩者均會影響并降低純水回收率。
若在Fab 內(nèi)發(fā)現(xiàn)地面有水滴或殘留水等,應(yīng)如何處理或通報
答:先檢查是否為機(jī)臺漏水或做PM所致,若為廠務(wù)系統(tǒng)則通知廠務(wù)中控室(12222)
機(jī)臺若因做PM或其它異常,而要大量排放廢溶劑或廢酸等應(yīng)首先如何通報
答:通知廠務(wù)主系統(tǒng)水課的值班(19105)
廢水排放管路中酸堿廢水/濃硫酸/廢溶劑等使用何種材質(zhì)的管路?
答:酸堿廢水/高密度聚乙烯(HDPE)濃硫酸/鋼管內(nèi)襯鐵福龍(CS-PTFE)廢溶劑/不琇鋼管(SUS)
若機(jī)臺內(nèi)的drain管有接錯或排放成分分類有誤,將會導(dǎo)致后端的主系統(tǒng)出現(xiàn)什幺問題?
答:將會導(dǎo)致后端處理的主系統(tǒng)相關(guān)指標(biāo)處理不合格,從而可能導(dǎo)致公司排放口超標(biāo)排放的事故。
公司做水回收的意義如何?
答:(1) 節(jié)約用水,降低成本。重在環(huán)保。 (2) 符合ISO可持續(xù)發(fā)展的精神和公司
環(huán)境保護(hù)暨安全衛(wèi)生政策。
何種氣體歸類為特氣(Specialty Gas)?
答:SiH2Cl2
何種氣體由VMB Stick點(diǎn)供到機(jī)臺?
答:H2
何種氣體有自燃性?
答:SiH4
何種氣體具有腐蝕性?
答:ClF3
當(dāng)機(jī)臺用到何種氣體時,須安裝氣體偵測器?
答:PH3
名詞解釋 GC, VMB, VMP
答:GC- Gas Cabinet 氣瓶柜VMB- Valve Manifold Box 閥箱,適用于危險性氣體。VMP- Valve Manifold Panel 閥件盤面,適用于惰性氣體。
標(biāo)準(zhǔn)大氣環(huán)境中氧氣濃度為多少?工作環(huán)靜氧氣濃度低于多少時人體會感覺不適?
答:21%19%
什幺是氣體的 LEL? H2的LEL 為多少?
答:LEL- Low Explosive Level 氣體爆炸下限H2 LEL- 4%.
當(dāng)FAB內(nèi)氣體發(fā)生泄漏二級警報(既Leak HiHi),氣體警報燈(LAU)會如何動作?FAB內(nèi)工作人員應(yīng)如何應(yīng)變?
答:LAU紅、黃燈閃爍、蜂鳴器叫聽從ERC廣播命令,立刻疏散。
化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)中的化學(xué)物質(zhì)特性為何?
答:(1) Acid/Caustic 酸性/腐蝕性(2) Solvent有機(jī)溶劑(3) Slurry研磨液
有機(jī)溶劑柜的安用保護(hù)裝置為何?
答:(1) Gas/Temp. detector;氣體/溫度偵測器(2) CO2 extinguisher;二氧化碳滅火器
中芯有那幾類研磨液(slurry)系統(tǒng)?
答:(1) Oxide (SiO2) (2) Tungsten (W)鵭
設(shè)備機(jī)臺總電源是幾伏特?
答:208V OR 380V
欲從事生產(chǎn)/測試/維護(hù)時,如無法就近取得電源供給,可以無限制使用延長線嗎?
答:不可以
如何選用電器器材?
答:使用電器器材需采用通過認(rèn)證之正規(guī)品牌
機(jī)臺開關(guān)可以任意分/合嗎?
答:未經(jīng)確認(rèn)不可隨意分/合任何機(jī)臺開關(guān),以免造成生產(chǎn)損失及人員傷害。
欲從事生產(chǎn)/測試/維護(hù)時,如無法就近取得電源供給,也不能無限制使用延長線,對嗎?
答:對
假設(shè)斷路器啟斷容量為16安培導(dǎo)線線徑2.5mm2,電源供應(yīng)電壓單相220伏特,若使用單相5000W電器設(shè)備會產(chǎn)生何種情況?
答:斷路器跳閘
當(dāng)供電局供電中斷時,人員仍可安心待在FAB中嗎?
答:當(dāng)供電局供電中斷時,本廠因有緊急發(fā)電機(jī)設(shè)備,配合各相關(guān)監(jiān)視系統(tǒng),仍然能保持FAB之Safety,所以人員仍可安心待在FAB中。
MFG
什幺是WPH?
答:WPH(wafer per hour) 機(jī)臺每小時之芯片產(chǎn)出量
如何衡量 WPH ?
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