中興事件讓我們認(rèn)識(shí)了中國(guó)的“芯”痛,那么小小芯片為什么這么難制造?今天小編給你介紹一下流程。
沙子,是制造芯片最基本的材料,而脫氧后的沙子,是半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。通過(guò)多步凈化得到可用于半導(dǎo)體制造質(zhì)量的硅,學(xué)名電子級(jí)硅(EGS),最后得到的就是硅錠(Ingot)
硅錠切割:橫向切割成圓形的單個(gè)硅片,也就是我們常說(shuō)的晶圓(Wafer)。順便說(shuō),這下知道為什么晶圓都是圓形的了吧?
涂上光刻膠,必須保證光刻膠非常平非常平。然后進(jìn)行光刻,這一步需要的技術(shù)水平非常高(目前中國(guó)自己的***只有90nm的制程,而國(guó)外先進(jìn)的可以做到7nm。)光刻膠層隨后透過(guò)掩模(Mask)被曝光在紫外線(UV)之下。
先溶解光刻膠,光刻過(guò)程中曝光在紫外線下的光刻膠被溶解掉,清除后留下的圖案和掩模上的一致再進(jìn)行蝕刻,使用化學(xué)物質(zhì)溶解暴露出來(lái)的晶圓,剩下的光刻膠保護(hù)著不應(yīng)該蝕刻的部分。
離子注入:在真空中,用經(jīng)過(guò)加速的原子、離子照射(注入)固體材料,使被注入的區(qū)域形成特殊的注入層,改變區(qū)域的硅的導(dǎo)電性。
電鍍:在晶圓上電鍍一層硫酸銅,把銅離子沉淀到晶體管上。銅離子會(huì)從正極走向負(fù)極。電鍍完成之后,銅離子沉積在晶圓表面,形成薄薄的銅層
拋光:將多余的銅拋光掉,也就是磨光晶圓表面。
再經(jīng)過(guò)測(cè)試,切片,丟棄瑕疵內(nèi)核。留下完好的準(zhǔn)備進(jìn)入下一步。
完成封裝
-
芯片
+關(guān)注
關(guān)注
455文章
50816瀏覽量
423615 -
晶圓
+關(guān)注
關(guān)注
52文章
4912瀏覽量
127988 -
光刻
+關(guān)注
關(guān)注
8文章
321瀏覽量
30165
發(fā)布評(píng)論請(qǐng)先 登錄
相關(guān)推薦
評(píng)論