曝光機(jī)的配件有哪些_曝光機(jī)多少錢一臺

什么是曝光機(jī)

曝光機(jī)即電子束曝光機(jī)是集電子光學(xué)、電氣、機(jī)械、真空、計算機(jī)技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備。曝光機(jī)是20 世紀(jì) 60 年代初從掃描電子顯微鏡基礎(chǔ)上發(fā)展起來， 70 年代以后廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造業(yè)。

曝光機(jī)的基本原理

在計算機(jī)的控制下，利用聚焦電子束對有機(jī)聚合物（通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠）進(jìn)行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細(xì)圖形。

曝光機(jī)的配件清單

曝光機(jī)的用途

更廣范圍（UV，DUV，NUV）的紫外光波長選擇，出射光強(qiáng)范圍： 8mW/cm2~40mW/cm2

支持恒定光強(qiáng)或恒定功率模式

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)。

常見曝光機(jī)舉例：MYCRO美國制造的恩科優(yōu)（N&Q）紫外曝光系統(tǒng)，適用于從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣范圍材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系統(tǒng)成功地應(yīng)用于半導(dǎo)體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學(xué)，微機(jī)電系統(tǒng)，凹凸或復(fù)晶設(shè)備和其他要求精細(xì)印制和精度對準(zhǔn)的應(yīng)用。

曝光機(jī)多少錢一臺

曝光機(jī)有自動和半自動之分，價格也各不一樣，以下是小編在阿里巴巴找到的關(guān)于曝光機(jī)的價格，僅供參考。