曝光機(jī)操作注意事項(xiàng)及規(guī)程

曝光機(jī)是什么

紫外線曝光機(jī)是指通過開啟燈光發(fā)出UVA波長的紫外線，將膠片或其他透明體上的圖像信息轉(zhuǎn)移到涂有感光物質(zhì)的表面上的機(jī)器設(shè)備。

曝光機(jī)工作原理

在計(jì)算機(jī)的控制下，利用聚焦電子束對有機(jī)聚合物（通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠）進(jìn)行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細(xì)圖形。

曝光機(jī)用途

更廣范圍（UV，DUV，NUV）的紫外光波長選擇，出射光強(qiáng)范圍：8mW/cm2~40mW/cm2。

支持恒定光強(qiáng)或恒定功率模式。

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)。

常見曝光機(jī)舉例：MYCRO美國制造的恩科優(yōu)（N&Q）紫外曝光系統(tǒng)，適用于從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣范圍材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系統(tǒng)成功地應(yīng)用于半導(dǎo)體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學(xué)，微機(jī)電系統(tǒng)，凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細(xì)印制和精度對準(zhǔn)的應(yīng)用。

曝光機(jī)操作注意事項(xiàng)及規(guī)程

一、開機(jī)前注意事項(xiàng)：

1、檢查氣密調(diào)壓閥﹑輔助氣缸壓力閥﹑燈頭吃氣流量計(jì)顯示器是否正常，各光電按鈕是否靈敏；

2、檢查冰水水箱水位是否在限值范圍內(nèi);水泵電源開關(guān)﹑真空電源開關(guān)的狀態(tài)是否正常；

3、檢查機(jī)器臺面﹑曝光框內(nèi)（外）﹑履帶線槽﹑傳動(dòng)皮帶是否有異物或者堵塞。

二、操作時(shí)注意事項(xiàng)：

1、開機(jī)程序：主電源燈室冰水機(jī)冷風(fēng)扇點(diǎn)燈；

2、檢查機(jī)臺開機(jī)后冰水機(jī)有無開啟，上（下）水套是否正常；

3、點(diǎn)燈達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)后，電流﹑電壓是否達(dá)到正常值；

4、若出現(xiàn)停水時(shí)，應(yīng)立即停止生產(chǎn)，將燈管熄滅，進(jìn)行維修檢查；

5、若停點(diǎn)立即關(guān)閉主電源；

6、曝光燈管出現(xiàn)異常時(shí)，必須停機(jī)短電進(jìn)行更換作業(yè)；

7、若有緊急情況發(fā)生時(shí)，按下“緊急停止按鈕”，然后關(guān)閉設(shè)備，緊急情況處理完畢后，依開機(jī)程序開啟機(jī)器；

8、新員工（無上崗證）不可單獨(dú)作業(yè)，須由輔導(dǎo)員在現(xiàn)場指導(dǎo)。

三、關(guān)機(jī)注意事項(xiàng)

1、關(guān)機(jī)前，先確認(rèn)燈管是否在熄燈狀態(tài)；

2、熄燈后不可立即關(guān)閉冰水泵，須等待15分鐘，燈管冷卻后方可關(guān)閉冰水泵；

3、確認(rèn)曝光框架是否關(guān)閉；

4、檢查機(jī)臺后方冷凝水是否已滿。并清理承接桶內(nèi)的冷凝水；

5、做好工作區(qū)域的“6S”工作。

四、維修保養(yǎng)注意事項(xiàng)：

1、進(jìn)行保養(yǎng)作業(yè)時(shí)，必須保持曝光機(jī)為停機(jī)狀態(tài)；

2、進(jìn)行維修保養(yǎng)作業(yè)時(shí)，必須穿帶必要的防護(hù)用品；

3、機(jī)器設(shè)備維修時(shí)，應(yīng)在開機(jī)按鈕處張貼“機(jī)器維修中，請勿啟動(dòng)”等標(biāo)識；

4、機(jī)器設(shè)備維修時(shí)，禁止其它人員對電腦軟件進(jìn)行操作；

5、保養(yǎng)時(shí)，檢查氣缸的壓力和密閉性，水箱是否漏水或堵塞；

6、檢查各部位滑動(dòng)軌道及滑座潤滑度；

7、檢查各部位電源配線連接有無松脫斷裂；

8、檢查燈管燈座連接是否松脫或接觸不良。