晶盛機(jī)電：8英寸碳化硅襯底片處于下游企業(yè)驗證階段

11月22日，晶盛機(jī)電公司公布最新調(diào)查機(jī)要，2017年開始碳化硅晶體生長設(shè)備和技術(shù)的研發(fā)，連續(xù)成功開發(fā)出6英寸、8英寸碳化硅晶體和襯底片。晶盛機(jī)電公司是中國為數(shù)不多的能供應(yīng)8英寸襯底片的企業(yè)。在此之前，公司已建成6-8英寸碳化硅晶體生長、切片、拋光中試線，6英寸襯底片已通過許多下游企業(yè)的檢驗，實現(xiàn)大量銷售，8英寸襯底片正處于下游企業(yè)檢驗階段。

晶盛機(jī)電指出，最近在公司舉行的每年25萬6、5為8英寸碳化硅襯底片項目合同及啟動儀式為半導(dǎo)體材料方向，加快關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，國產(chǎn)化替代這一措施標(biāo)志著晶盛機(jī)電半導(dǎo)體材料的技術(shù)實力和市場競爭力得到了進(jìn)一步提高。

半導(dǎo)體設(shè)備工作，晶盛機(jī)電公司基本上是8 - 12英寸大型設(shè)備的芯片實現(xiàn)了全體覆蓋及統(tǒng)一銷售，6英寸碳化硅外延設(shè)備的一次性銷售和快速實現(xiàn)訂單量增長了單曲，成功8英寸芯片碳化硅外延增長國際先進(jìn)水平的研究開發(fā)了設(shè)備。實現(xiàn)了成熟穩(wěn)定的8英寸硅電石外延工程。此外，他還開發(fā)了用于8至12英寸晶圓及封裝端的減薄設(shè)備、外延設(shè)備、LPCVD 設(shè)備、ALD 設(shè)備。

到2023年第三季度末為止，晶盛機(jī)電的設(shè)備訂單余額為287億50萬元人民幣，其中半導(dǎo)體設(shè)備訂單余額為33億300萬元人民幣。

在光伏裝備領(lǐng)域，晶盛機(jī)電產(chǎn)品包括硅晶片、電池和配件，并為顧客提供太陽能綜合解決方案。在電池方面，開發(fā)了兼用多種電池技術(shù)的管型裝置（PECVD、LPCVD、硼擴(kuò)散爐、退火爐等）。在零部件方面，公司開發(fā)了包括板機(jī)，板機(jī)，邊框自動供應(yīng)機(jī)，粘合檢驗機(jī)等多個工序的零部件設(shè)備生產(chǎn)線。

針對公司第五代單晶爐超導(dǎo)磁場產(chǎn)品優(yōu)勢，晶盛機(jī)電公司表示，公司推出的第五代單晶路將大幅改善n型硅晶片質(zhì)量，提高生產(chǎn)能力。公司將大力引進(jìn)在半導(dǎo)體領(lǐng)域超導(dǎo)磁場中的應(yīng)用技術(shù)在太陽能領(lǐng)域徹底進(jìn)行熱低氧n型晶體生長工藝窗口5ppm以下的超低氧制造，徹底消除穩(wěn)定增長，提高同心圓；少子壽命；擴(kuò)大有效的電阻率范圍，使n型電池效率達(dá)到極限，再根據(jù)理論進(jìn)一步為顧客減少資本，分配能量，創(chuàng)造更高的價值。