華工科技造出我國首臺核心部件100%國產(chǎn)化的高端晶圓激光切割設(shè)備

據(jù)“中國光谷”微信公眾號消息，近期，華工科技制造出我國首臺核心部件 100% 國產(chǎn)化的高端晶圓激光切割設(shè)備，在半導(dǎo)體激光設(shè)備領(lǐng)域攻克多項中國第一。

據(jù)華工激光半導(dǎo)體產(chǎn)品總監(jiān)黃偉介紹，晶圓機械切割的熱影響和崩邊寬度約 20 微米，傳統(tǒng)激光在 10 微米左右，而經(jīng)過一年努力，華工科技的半導(dǎo)體晶圓切割技術(shù)成功實現(xiàn)升級，熱影響降為 0，崩邊尺寸降至 5 微米以內(nèi)，切割線寬可做到 10 微米以內(nèi)。

IT之家注：晶圓切割和芯片分離無論采取機械或激光方式，都會因物質(zhì)接觸和高速運動而產(chǎn)生熱影響和崩邊，從而影響芯片性能。

據(jù)透露，華工激光正在研發(fā)第三代半導(dǎo)體晶圓激光改質(zhì)切割設(shè)備，計劃今年 7 月推出新產(chǎn)品，同時也正在開發(fā)我國自主知識產(chǎn)權(quán)的第三代半導(dǎo)體晶圓激光退火設(shè)備。

華工科技官網(wǎng)顯示，華工科技產(chǎn)業(yè)股份有限公司脫胎于中國知名學(xué)府 —— 華中科技大學(xué)，是“中國激光第一股”，目前涵蓋以激光加工技術(shù)為重要支撐的智能制造裝備業(yè)務(wù)、以信息通信技術(shù)為重要支撐的光聯(lián)接、無線聯(lián)接業(yè)務(wù)，以敏感電子技術(shù)為重要支撐的傳感器業(yè)務(wù)格局，產(chǎn)業(yè)基地近 2000 畝。