探究美泰電子RFMEMS器件

美泰電子科技有限公司

美泰電子科技有限公司是中國(guó)MEMS行業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)單位。專(zhuān)門(mén)致力于MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）器件與系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。是國(guó)內(nèi)最大的MEMS高端核心芯片、器件和系統(tǒng)產(chǎn)品供應(yīng)商，中國(guó)MEMS技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者。主要產(chǎn)品有MEMS慣性器件與系統(tǒng)、MEMS測(cè)試測(cè)量傳感器、MEMS壓力傳感器芯片、汽車(chē)MEMS傳感器、射頻（RF）MEMS器件、光MEMS器件等。

公司擁有國(guó)際先進(jìn)水平的6英寸MEMS工藝線(xiàn)和世界領(lǐng)先的產(chǎn)品測(cè)試標(biāo)定設(shè)備，是國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、科技部重大科學(xué)儀器專(zhuān)項(xiàng)資助單位。

RF MEMS 器件

全球首家推出采用高精度微納立體加工、硅圓片直接鍵合、TSV（硅通孔）等MEMS技術(shù)制作的新一代硅腔濾波器芯片，擁有超小體積與重量、多層全屏蔽、抗干擾卓越的微波性能，低損耗、高抑制、為微波毫米波系統(tǒng)小型化提供了新選擇。產(chǎn)品頻率范圍覆蓋2~50GHz，具有帶通、帶阻、窄帶、寬帶、超寬帶多個(gè)系列。廣泛應(yīng)用于雷達(dá)、微波通訊、電子系統(tǒng)等領(lǐng)域。

1、MEMS 環(huán)行器

特點(diǎn)

硅腔體結(jié)構(gòu)，體積超小

高功率容量

50Ω微帶共面波導(dǎo)輸出，鍵合使用

頻率：12~40GHz

MEMS工藝，精度高，一致性好

可按要求加工定制

環(huán)境參數(shù)

工作溫度：-55~+85°C

儲(chǔ)存溫度：-55~+125°C

典型應(yīng)用

雷達(dá)、航天航空、微波通信

2、MEMS 隔離器

特點(diǎn)：

硅腔體結(jié)構(gòu)，體積超小

高功率容量

50Ω微帶/共面波導(dǎo)輸出，鍵合使用

頻率：12～40GHz

MEMS工藝，精度高，一致性好

可按要求加工定制

環(huán)境參數(shù)

工作溫度：-55+85°C

儲(chǔ)存溫度：-55+125°C

典型應(yīng)用

雷達(dá)、航天航空，微波通信

3、MEMS 硅腔濾波器

特點(diǎn)：

硅基MEMS工藝，體積小、重量輕

頻率：2～50GHz

高性能、全屏廠、抗干擾、微波性能好

裸芯片，50Ω共面波導(dǎo)輸出，鍵合使用

帶通、帶阻、低通、高通

指標(biāo)一致性好，適合批產(chǎn)

環(huán)境參數(shù)

工作溫度：-55~+85°C

貯存溫度：-55～+125°C

平均功率：≤3W（連續(xù)波）

典型應(yīng)用

雷達(dá)、航天航空，電子系統(tǒng)

4、微集成 LC 濾波器

特點(diǎn)：

硅基MEMS微納米技術(shù)

命體積小、成本低

加厚介質(zhì)膜工藝，防靜電能力強(qiáng)、可靠性高

可鍵合、表貼使用，滿(mǎn)足用戶(hù)不同安裝要求

加工周期短，部分取代LTCC產(chǎn)品

較MMIC產(chǎn)品有更高Q值

環(huán)境參數(shù)

工作溫度：-55～+85°C

貯存溫度：-55～+125°C

平均功率：1Wmax@25°C

電性能規(guī)范

中心頻率：0.5-20GHz

健合型微集成LC法

1db分?jǐn)?shù)帶寬：10-100%

VSWR： 16.1 ：1

特性阻抗：50Ω

編輯：jq