12億美元，中芯國際訂購光刻機

中芯國際繼3月1日獲得美國成熟工藝設(shè)備供應(yīng)許可后，再次迎來好消息：中芯國際與ASML修訂了總額為12億美元（約合人民幣77.6億元）的光刻機批量采購協(xié)議。

12億美元，中芯國際訂購光刻機

3月3日晚間，中芯國際公告披露，公司于2月1日與阿斯麥（ASML）上海簽訂了經(jīng)修訂和重述的阿斯麥批量采購協(xié)議，將采購協(xié)議的期限延長一年至2021年12月31日。根據(jù)批量采購協(xié)議，公司已就購買用于生產(chǎn)晶圓的阿斯麥產(chǎn)品（即光刻機）與阿斯麥集團簽訂購買單，訂單金額12億美元。

來源：中芯國際公告 中芯國際表示，本公司為中國內(nèi)地最先進及最大的集成電路制造商。為應(yīng)對客戶的需要，本公司繼續(xù)擴大其產(chǎn)能、把握市場商機及增長。批量采購協(xié)議及阿斯麥購買單乃于本公司正常業(yè)務(wù)過程中就購置用于生產(chǎn)晶圓（為本公司主要業(yè)務(wù)）的相關(guān)機器作出。由于阿斯麥批量采購協(xié)議的期限已到期，本公司簽訂經(jīng)修訂和重述的阿斯麥批量采購協(xié)議。 合約的另一方阿斯麥（ASML）即荷蘭阿斯麥，是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備制造商之一，主要業(yè)務(wù)為光刻機的研發(fā)和生產(chǎn)，在全球處于絕對領(lǐng)先地位。具體來看，ASML在45nm以下制程的高端光刻機市場中占有85%的份額；在EUV（極紫外）光刻機領(lǐng)域則處于絕對壟斷地位，市場占有率100%。

業(yè)內(nèi)關(guān)注：是否包含EUV光刻機？

光刻機在芯片生產(chǎn)中極為關(guān)鍵。其中極紫外光刻機（EUV）僅有ASML能夠生產(chǎn)，這種設(shè)備主要用于生產(chǎn)7納米及更先進制程的芯片。 中芯國際的芯片工藝目前已發(fā)展至14nm，若想將芯片工藝進一步提升至7nm乃至3nm等先進制程，EUV光刻機設(shè)備就必不可少。那么，中芯國際此次12億美元的采購協(xié)議都有哪些類型的光刻機，包含EUV光刻機嗎？ ASML的EUV光刻機當(dāng)前主力出貨型號是3400B，價格約1.2億美元，其最新款的3600D定于2021年出貨交付。 中芯國際本次公告并未就光刻機具體型號進行披露，但本次修訂的訂單或并不包括EUV光刻機。在2020年年底，中芯國際被美國列入實體清單時，美國商務(wù)部就特別明確，將原則上拒絕向其出口EUV等支持先進制程開發(fā)的技術(shù)。美國在2021年3月1日最新宣布的中芯國際設(shè)備的供應(yīng)許可并不包括EUV光刻機。 且有業(yè)內(nèi)資深人士透露，除了EUV光刻機，中芯國際幾乎可以買到其他所有型號的光刻機，包括DUV（深紫外）光刻機。 此前，ASML的CFO在財報會議的視頻采訪中表示：如果寬泛地理解相關(guān)規(guī)則對AMSL的整體意義，ASML將能夠從荷蘭向中國客戶（包括中芯國際）提供DUV光刻系統(tǒng)，且無需出口許可證。不過，如果涉及直接從美國運往此類客戶的零件或系統(tǒng)，ASML則需要為此申請出口許可證。 在DUV光刻機方面，ASML的最新一代產(chǎn)品型號是NXT 2050i。公開資料顯示，ASML于2020年第三季度對第一臺TWINSCAN NXT 2050i進行了質(zhì)量認證，并于第四季度初發(fā)貨。由于對掩模版工作臺、晶圓工作臺、投影物鏡和曝光激光器的技術(shù)改進，NXT2050i提供了比其前身更好的套刻精度控制，具有更高的生產(chǎn)率。 公開報道顯示，ASML的上一代DUV產(chǎn)品NXT2000i光刻機，光刻精度可以達到1.9nm，遠低于5nm要求的2.4nm以及7nm的3.5nm精度。 不過，考慮到EUV光刻機對于研發(fā)和生產(chǎn)先進制程芯片的重要性，傳言中芯國際也沒有就此放棄。此前業(yè)界有消息稱，中芯國際在新任副董事長蔣尚義的"牽線下"，已經(jīng)開始對EUV設(shè)備再次進行洽談，但中芯國際并未對此作出官方回應(yīng)，具體情況如何尚不得知。可以確定的是目前美國芯片禁令雖已有所松綁，但對象僅針對成熟制程芯片技術(shù)（14納米及以上），EUV光刻機的獲取仍是敏感話題。

保持盈利，中芯國際積極擴產(chǎn)

眼下正值全球芯片緊缺之際，中芯國際在積極擴張產(chǎn)能。此前，中芯國際聯(lián)合CEO趙海軍在業(yè)績會上表示：“中芯國際會繼續(xù)滿載運行，預(yù)計一季度營收會回到10億美元以上，同時是繼續(xù)擴產(chǎn)，12英寸增加1萬片，8英寸增加不少于4萬5千片，但由于設(shè)備采購的等待時間越來越長，大部分設(shè)備都是在下半年才能到位，所以對今年的營收貢獻不大，全年營收成長預(yù)計在中到高個位數(shù)。我們希望公司28納米及以上產(chǎn)能，在未來的幾年能夠穩(wěn)步增長，在擴大產(chǎn)能的同時，保持一定的盈利水平。” 中芯國際預(yù)測，上半年收入目標(biāo)約21億美元；全年毛利率目標(biāo)為10%到20%的中部。趙海軍還說道：“如果沒有這些（外部制裁）影響，今年本應(yīng)可以保持去年一樣的快速成長態(tài)勢。但我們一定會在危機中遇新機，繼續(xù)全力自救，以服務(wù)全球客戶為我們的目標(biāo)?！? 此外，根據(jù)中芯國際最新資本開支計劃，2021年，公司計劃資本支出進一步下降至43億美元，其中大部分用于成熟工藝的擴產(chǎn)，小部分用于先進工藝（14納米及以下工藝）、北京新合資項目的土建等。 在此前中芯國際發(fā)布的2020年第四季度和全年財報中，中芯國際季內(nèi)收入為9.81億美元，環(huán)比下降9.4%，同比上升16.9%。期內(nèi)歸母利潤為2.57億美元，環(huán)、同比分別增長0.3%、189.7%，達到歷史新高。公司CFO高永崗當(dāng)時解釋稱，收入下降主要是因為先進工藝出貨下降以及整體產(chǎn)能利用率下降。 對比中芯國際在列入美國實體清單后的困境，現(xiàn)在全球芯片進一步緊缺，各晶圓廠幾乎都滿載運行，中芯國際喜迎美國14納米及以上（14納米及28等成熟工藝）設(shè)備的供應(yīng)許可后，又重新確定了與ASML的新設(shè)備訂單，中芯國際的運營前景在進一步明朗。

責(zé)任編輯：lq