安徽微芯嘉定中試基地啟動(dòng)，計(jì)劃生產(chǎn)4英寸2150片；6英寸240片

1月30日，安徽微芯長(zhǎng)江半導(dǎo)體材料有限公司嘉定中試基地啟動(dòng)儀式在中科院上海硅酸鹽研究所舉行。

據(jù)悉，該基地2021年計(jì)劃目標(biāo)為生產(chǎn)4英寸2150片；6英寸240片，驗(yàn)證片150片，良率達(dá)到行業(yè)內(nèi)中上水平；完成公司級(jí)研發(fā)課題6項(xiàng)；申請(qǐng)專利20項(xiàng)。

上海申和熱磁電子有限公司/安徽微芯長(zhǎng)江半導(dǎo)體材料有限公司董事長(zhǎng)賀賢漢表示，將加速中試基地研發(fā)及工藝改善，為銅陵量產(chǎn)工廠順利導(dǎo)產(chǎn)奠定基礎(chǔ)。

去年11月，安徽微芯長(zhǎng)江半導(dǎo)體材料有限公司碳化硅項(xiàng)目開(kāi)工，項(xiàng)目投資13.5億元，以4&6英寸工藝兼容的自動(dòng)化產(chǎn)線為實(shí)施要點(diǎn)，建設(shè)工期4年，達(dá)成后預(yù)計(jì)年產(chǎn)4英寸碳化硅晶圓片3萬(wàn)片、6英寸12萬(wàn)片。該項(xiàng)目計(jì)劃2021年3季度完成廠房建設(shè)和設(shè)備安裝調(diào)試，2021年12月底完成中試并開(kāi)始試銷，達(dá)成后預(yù)計(jì)年產(chǎn)4英寸碳化硅晶圓片3萬(wàn)片、6英寸12萬(wàn)片。

上海申和熱磁電子有限公司是日本Ferrotec集團(tuán)在上海的子公司。Ferrotec（中國(guó)）始創(chuàng)于1992年，擁有上海、杭州、銀川、銅陵等多地布局。Ferrotec（中國(guó)）的產(chǎn)品重點(diǎn)集中在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的各相關(guān)領(lǐng)域，可向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體設(shè)備、半導(dǎo)體消耗品以及半導(dǎo)體零部件洗凈服務(wù)等，特別是半導(dǎo)體硅拋光片、氣相沉積碳化硅、硅部件、高純石英制品、高純陶瓷制品和半導(dǎo)體功率基板以及真空腔體等產(chǎn)品。

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