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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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基于新型三明治結(jié)構(gòu)的MEMS微波功率傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
本文提出了一種新型的三明治結(jié)構(gòu)MEMS微波功率傳感器結(jié)構(gòu),與傳統(tǒng)傳感器相比,新結(jié)構(gòu)由于采用了垂直傳熱方式而具有較小的熱損耗。在輸入相同功率的情況下,模擬...
基于數(shù)字式MEMS加速度傳感器ADXL213的傾角測量應(yīng)用
本文提出一種基于數(shù)字式MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))加速度傳感器ADXL213的傾角測量裝置,該裝置采用占空比調(diào)制電路獲得相應(yīng)的數(shù)字信號。根據(jù)對實(shí)際運(yùn)動模型...
對MEMS振蕩器的已超過四十個(gè)年頭,然而最近才走向商用化,其中最大的一個(gè)障礙是開發(fā)一種經(jīng)濟(jì)并足夠純凈的密閉封裝系統(tǒng)。MEMS振蕩器必須密封于非常潔凈的環(huán)...
簡述運(yùn)動傳感器在未來蜂窩手持設(shè)備領(lǐng)域的關(guān)鍵作用
以微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)集成電路(IC)形式實(shí)現(xiàn)的運(yùn)動傳感器正在蜂窩手持設(shè)備的未來發(fā)揮關(guān)鍵作用,這些MEMS加速計(jì)使移動電話更便于使用,而且還能夠提高手...
MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀(jì)70年代末80年代初,當(dāng)時(shí)用大型蝕刻硅片結(jié)構(gòu)和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動膜在壓力下變形,會影響其表面的...
2018-01-17 標(biāo)簽:mems 1.1萬 0
Leon Foucault在1852年發(fā)明了世界首個(gè)陀螺儀,這種傳統(tǒng)的機(jī)械式陀螺儀如圖1所示。Foucault認(rèn)為,利用固定位置上的旋轉(zhuǎn)物體可以測量地球...
2018-01-17 標(biāo)簽:mems 1.7萬 0
MEMS技術(shù)如何滿足天線調(diào)諧?移動終端天線的挑戰(zhàn)
通過使用數(shù)字選擇方式的MEMS電容器件,MEMS數(shù)字可調(diào)IC提供了一種替代變?nèi)荻O管的高性能選擇。這些可調(diào)節(jié)電容器的建造開始于兩個(gè)金屬板,其中一個(gè)在硅芯...
一種測量RF、 MEMS封裝中漏氣情況的方法是Q因子提取。使用這種方法首先根據(jù)器件的電學(xué)性能計(jì)算出共振結(jié)構(gòu)的性能。當(dāng)使用這種方法進(jìn)行檢漏測試發(fā)現(xiàn)漏氣時(shí),...
傾角測量的原理 雙軸傾角設(shè)計(jì)及其應(yīng)用
MAV由于體積和負(fù)載能力極為有限,因此,減小和減輕飛控導(dǎo)航系統(tǒng)的體積及重量,就顯得尤為重要。本文基于MEMS加速度傳感器,設(shè)計(jì)一種雙軸傾角計(jì),該裝置精度...
傳統(tǒng)MEMS-IC 設(shè)計(jì)方法和驗(yàn)證的機(jī)構(gòu)化方法介紹
伴隨著傳感技術(shù)在汽車和消費(fèi)電子產(chǎn)品的迅速普及,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)在最近幾年已進(jìn)入主流。為了控制及信號調(diào)理,基于MEMS 的傳感器必然需要密切耦合的電...
什么是微機(jī)電系統(tǒng) 主要種類及相關(guān)技術(shù)介紹
微機(jī)械電子系統(tǒng)是微電子技術(shù)的拓寬和延伸,它是將微電子技術(shù)和精密機(jī)械加工技術(shù)相互融合,并將微電子與機(jī)械融為一體的系統(tǒng)。MEMS將電子系統(tǒng)和外部世界有機(jī)地聯(lián)...
MEMS諧振器的發(fā)展史 Si50x CMEMS振蕩器概述
20世紀(jì)中期以來,頻率控制的市場就是由石英晶體諧振器和石英振蕩器所主導(dǎo)的。甚至到了今天,幾乎所有的電子設(shè)備在某方面仍是依賴機(jī)械石英晶體來產(chǎn)生多種可能運(yùn)行...
MEMS和FOG技術(shù)之間的戰(zhàn)爭 誰會戰(zhàn)到最后
光纖陀螺儀(FOG)以前曾經(jīng)是環(huán)形激光陀螺儀(RLG)等其他技術(shù)的低成本替代品,現(xiàn)在該技術(shù)面臨著新的競爭。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀開始搶奪傳統(tǒng)FOG...
2018-04-14 標(biāo)簽:mems 1316 0
線性度有時(shí)被視為靈敏度的子集。把它單獨(dú)提出是有原因的。如果舉一個(gè)機(jī)器人性能與靈敏度和線性度的關(guān)系的示例,可能更有說服力。這一點(diǎn)務(wù)必請注意,因?yàn)槿绻徺I線...
如何用加速度計(jì)中斷引腳執(zhí)行喚醒和非運(yùn)動檢測
一個(gè)數(shù)字MEMS加速度計(jì)通常有一個(gè)到兩個(gè)中斷輸出引腳,可以連接外部微處理器的I/O引腳。加速度計(jì)可配置成后臺監(jiān)視加速度或運(yùn)動,同時(shí)微處理器可以處理其它任...
ADIS16355芯片MEMS陀螺儀數(shù)據(jù)采集硬件設(shè)計(jì)
DIS16355慣性測量裝置將三軸角速度感知與三軸加速度感知相結(jié)合,提供六自由度運(yùn)動感知、嵌入式校準(zhǔn)與傳感器處理以及傳感器-傳感器交叉補(bǔ)償,并大大提高信...
MEMS陀螺儀信號的處理平臺的硬件系統(tǒng)應(yīng)該包括以下幾個(gè)部分:DSP模塊,數(shù)據(jù)采集模塊,上位機(jī)通信模塊和JTAG調(diào)試接口模塊。數(shù)據(jù)采集模塊由兩部分組成:6...
掌控MEMS陀螺儀噪聲響應(yīng)的兩個(gè)重要方面
根本問題是角速率反饋環(huán)路中的噪聲可能直接影響運(yùn)動控制系統(tǒng)的關(guān)鍵性能標(biāo)準(zhǔn),因此,在設(shè)計(jì)新系統(tǒng)的過程中,應(yīng)當(dāng)盡早予以考慮。相比于僅知道需要低噪聲的人,能夠量...
2018-06-12 標(biāo)簽:mems陀螺儀數(shù)字濾波器 6195 0
在現(xiàn)代狀態(tài)監(jiān)控(CM)系統(tǒng)中,MEMS加速度計(jì)用作振動傳感器正在日趨成熟。測量范圍、帶寬和分辨率(噪聲)等性能在近期獲得的擴(kuò)展,使得新概念和系統(tǒng)架構(gòu)成為...
2018-06-12 標(biāo)簽:mems監(jiān)控系統(tǒng)振動傳感器 2435 0
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