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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>基于CMOS工藝的硅基PI濕度傳感器的研制

      基于CMOS工藝的硅基PI濕度傳感器的研制

      2009-11-23 | rar | 225 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      在國內(nèi)外濕度傳感器研究的基礎(chǔ)上，基于Ｓｉ ＣＭＯＳ 工藝研制出了以聚酰亞胺（ＰＩ）為感濕介質(zhì)的電容型相對(duì)濕度傳感器。并對(duì)其結(jié)構(gòu)進(jìn)行了理論分析，仔細(xì)確定了濕度傳感器的工藝步驟和版圖設(shè)計(jì)。對(duì)其測量范圍、濕滯和響應(yīng)時(shí)間等特性參數(shù)進(jìn)行了詳細(xì)的測試。通過實(shí)驗(yàn)結(jié)果與模擬結(jié)果的對(duì)比分析，給出了該實(shí)驗(yàn)中存在的問題和改進(jìn)意見，以便在今后的研究中加強(qiáng)這方面的工作。
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