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簡(jiǎn)要分析由MEMS 工藝制成的新型微氣體傳感器陣列的原理及其優(yōu)點(diǎn),在此基礎(chǔ)上,應(yīng)用人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)對(duì)氣體傳感器陣列的輸出進(jìn)行模式分類、識(shí)別,實(shí)現(xiàn)對(duì)單一或混合氣體的有選擇性探測(cè),識(shí)別率可高達(dá)95 %。
關(guān)鍵詞: MEMS 工藝; 微氣體傳感器陣列; 人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)
Abstract : The principle and advantage of micro gas sensor array made by MEMS technology is analyzed sum2 marily , and based on it , arithmetic of BP neural network is applied to classify the electronic nose’s outputs and judge what the gases are. Not only single gas , but also mixed gases can be recognized selectively ,with a high dis2 cernment 95 %.
Key words : MEMS process ; micro gas sensor array ; artificial neural network(ANN)
關(guān)鍵詞: MEMS 工藝; 微氣體傳感器陣列; 人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)
Abstract : The principle and advantage of micro gas sensor array made by MEMS technology is analyzed sum2 marily , and based on it , arithmetic of BP neural network is applied to classify the electronic nose’s outputs and judge what the gases are. Not only single gas , but also mixed gases can be recognized selectively ,with a high dis2 cernment 95 %.
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