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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>半導體技術(shù)論文>N阱CMOS工藝流程的詳細資料說明

      N阱CMOS工藝流程的詳細資料說明

      2020-10-12 | ppt | 1.72 MB | 次下載 | 4積分

      資料介紹

      　　CMOS集成電路通常制造在盡可能重摻雜硼的P型（100）襯底上以減小襯底電阻 ，防止閂鎖效應。

      　　CMOS工藝的第一步是在襯底上生長一層輕摻雜的P型外延層，比標準雙極工藝采用的外延層薄很多。理論上CMOS工藝不需要外延層，因為MOS管可以直接在P型襯底上形成。外延工藝增加了成本，但是采用P+襯底可以提高抗閂鎖效應的能力。

      　　P型外延場區(qū)接受P型的溝道終止注入，而N阱場區(qū)接受N型溝道終止注入，這里包含大面積硼注入和選擇性磷注入

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